收藏本站
《北京工业大学》 2003年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究

巩锋  
【摘要】: ZnO薄膜是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族直接宽带隙化合物半导体材料。室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能为60meV,具备了室温下发射紫外光的必要条件,在紫外探测器、LED、LD等领域有着巨大的发展潜力;ZnO薄膜以其优良的压电性能、透明导电性能等使其在太阳能电池、压电器件、表面声波器件、气敏元件等诸多领域得到广泛应用。 本文采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺在普通Na-Ca-Si玻璃基片上成功地制备出Al~(3+)掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶是以乙二醇甲醚为溶剂,醋酸锌为前驱体,乙醇胺为稳定剂反应制得,用浸渍提拉法在基体上镀膜,经烘烤、预烧、退火,最后形成均匀、透明的多晶ZnO薄膜。采用L9(34)正交实验对制备工艺参数进行优化,通过分析得较优的制备工艺参数;摸索出一整套独特的基片清洗、干燥方法—洗涤剂清洗、红外灯烘干法。通过DTA分析,探讨了溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的化学机理。 利用XRD、SEM以及UVS光谱仪等分析方法对薄膜进行了研究,结果显示,所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构,具有高C轴择优取向性;表面均匀、致密,薄膜材料由许多星状晶粒组成,晶粒尺寸大约为10-30nm左右;薄膜可见光透过率平均可达90%;对薄膜厚度以及电学性能进行了测定后发现:单次镀膜厚度约为75-240nm,Al~(3+)离子掺杂型氧化锌薄膜的电阻率在3.015×102-3.96×103Ω·cm范围内;分别研究了掺杂浓度、提拉速度、预烧温度、退火温度等工艺参数对薄膜厚度和电阻率的影响。
【学位授予单位】:北京工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TB43

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 唐悦;张红平;;锌银电池辅助隔膜的制备和性能研究[J];中国造纸;2011年06期
2 张建操;许涛;;基于CFD技术的柴油机气道性能研究[J];内燃机;2011年03期
3 代化;林立;张华民;;聚苯并咪唑在高温PEMFC中的应用研究进展[J];船电技术;2011年08期
4 杨春保;朱春启;陈贤树;;粉煤灰基多元复合胶结剂的生产及性能研究[J];粉煤灰;2011年04期
5 黄建功;施勇;李生平;邓大勇;;Ni-20Cr-10Mo-10Co高温合金的高温疲劳性能研究[J];青海电力;2011年02期
6 汪小小;夏齐萍;吕建国;宋学萍;孙兆奇;;氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响[J];真空科学与技术学报;2011年04期
7 赵勇;俞进;于鹏;侯硕;梁晓军;方利广;盛广沪;;退火温度对ZnO薄膜结构和内应变的影响[J];南昌大学学报(理科版);2011年03期
8 马捷;魏建忠;王从曾;范爱玲;;化学气相沉积法制备钨管性能研究[J];兵工学报;2011年06期
9 朱江;佟帅;高德文;张志乾;颜炳嘉;孙凯;武光明;;注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究[J];北京石油化工学院学报;2011年02期
10 沈燕华;朱春江;贾谊;;炉底干渣的性能研究[J];粉煤灰;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈红玲;郭燕莹;张银喜;;磁性磨料研磨性能研究[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
2 刘云圻;王贤保;朱道本;;二维及三维阵列碳纳米管的制备及性能研究[A];2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集[C];2001年
3 李倩倩;叶成;李振;秦金贵;;新型基于吲哚二阶非线性光学聚合物的合成及性能研究[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年
4 王磊;冷杉;王波;黄安平;李小换;朱满康;严辉;;AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
5 袁国栋;叶志镇;黄靖云;曾昱嘉;吕建国;汪雷;赵炳辉;;Al、N共掺方法生长p型ZnO薄膜及其特性研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
6 张新民;苏锵;;Ba_(2-x)ZnS_3:xEu~(2+)的合成和发光性能研究[A];第五届全国稀土发光材料学术研讨会论文摘要集[C];2005年
7 黄文;周元鑫;夏源明;;玻璃纤维在低温下的性能研究[A];复合材料的现状与发展——第十一届全国复合材料学术会议论文集[C];2000年
8 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
9 刘春艳;;金属与半导体复合纳微米材料结构与性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
10 王海平;吴卫东;卢铁城;王雪敏;葛芳芳;曹林洪;白黎;;Li-B-H薄膜的制备和性能研究[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 孟庆丰;高速公路长期性能研究探寻道路长寿之策[N];中国交通报;2008年
2 邢忠;介观层次材料设计制备和性能研究取得重要进展[N];中国有色金属报;2004年
3 刘云方刘海龙;岩沥青资源开发与路用性能研究通过鉴定验收[N];兵团日报(汉);2008年
4 山风;北京地区聚羧酸系高性能减水剂制备技术与性能研究取得重要突破[N];中国建材报;2007年
5 慧文;环氧沥青低温性能研究受重视[N];中国建材报;2007年
6 郑强平;福建:水泥砼路面结构与技术性能研究取得进展[N];中国交通报;2007年
7 殷萍;海藻复合抗菌纤维开发及性能研究通过鉴定[N];中国纺织报;2008年
8 吴文坤;紧抓灾区重建机会 提升行业技术含量[N];中国工业报;2008年
9 本版编辑李秦卫 郑清风 柳刚;士官领衔“唱大戏”[N];解放军报;2008年
10 李静 刘超 王经武;纸张上光油新探索[N];中国包装报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
2 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
3 赵佰军;声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究[D];吉林大学;2004年
4 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
5 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
6 吴莉莉;纳米氧化锌的制备及其光学性能研究[D];山东大学;2005年
7 王旭;强流脉冲离子束辐照316L不锈钢结构及性能研究[D];大连理工大学;2007年
8 刘健敏;CVD金刚石薄膜在光电器件中的应用研究[D];上海大学;2007年
9 张萌;离子液体中CuO及配合物Cu(N-MeIm)_4(BF_4)_2的合成及性能研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
10 毛红艳;多吡啶、多羧酸构筑的功能性配合物的结构和性能研究[D];东北师范大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
2 赵杰;热氧化法与PLD法制备ZnO薄膜及其特性[D];大连理工大学;2005年
3 贾小龙;直流磁控溅射制备ZnO光电薄膜的研究[D];华中科技大学;2004年
4 任思雨;射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备、改性及光催化性能研究[D];暨南大学;2005年
5 巩锋;溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2003年
6 赵跃智;用脉冲激光沉积法制备半导体薄膜及性能研究[D];西北工业大学;2006年
7 叶志高;PLD(脉冲激光沉积法)制备ZnO基稀磁半导体薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2008年
8 谷建峰;ZnO薄膜生长行为和光学性能研究[D];大连理工大学;2007年
9 王兆阳;PLD方法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能分析[D];大连理工大学;2005年
10 陈文;Li和Mn掺杂ZnO压电薄膜的制备及性能研究[D];大连理工大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026