收藏本站
《北京工业大学》 2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

用PLD法沉积YBCO超导薄膜的研究

高菲  
【摘要】: 本文采用准分子激光法(PLD)在不同取向的单晶和多晶织构的基底上沉积了YBCO薄膜,系统的研究了不同工艺参数,如基片温度、基片与靶材的距离、激光脉冲频率、激光能量、沉积气压、薄膜厚度、薄膜的后处理等对YBCO薄膜的影响,得出了沉积薄膜的最佳工艺。 由于银与YBCO超导薄膜不发生反应,用准分子激光法在(100),(110),(111)织构的单晶银基带上沉积YBCO超导薄膜的研究,得出YBCO薄膜在三种单晶银基带上的外延规律主要是[100]YBCO或[010]YBCO//100Ag,或者是[100]YBCO或[010]YBCO//110Ag,沉积的薄膜(00L)面都平行于银带的表面。在(100)和(111)取向单晶上沉积的YBCO薄膜,虽然都具有一定的面外取向,但是其面内取向杂乱,呈丝织构。(110)取向的银单晶沉积的YBCO薄膜不仅具有强立方织构,而且面内取向集中,(110)取向的银单晶更适合YBCO薄膜的生长。 采用PLD方法在{100}100,{110}111,{110}211和{110}011双轴织构的多晶银基带上也直接沉积了YBCO超导薄膜,得出不同织构的多晶Ag上薄膜的外延规律,分析了不同薄膜与基底的微应变。经研究,{110}110织构的双轴织构多晶银基带沉积薄膜后,薄膜的双轴取向较强,基底与薄膜的应变相对其他织构的多晶银带较小,比较适合外延YBCO超导薄膜。 最后,在(100)取向的STO单晶和镀有{100}110织构的CeO2缓冲层的NiW合金基带上沉积了YBCO薄膜,研究了薄膜的外延规律以及在不同基底上薄膜的微观形貌、表面微应变等等。经研究,在这两种基底上沉积的薄膜,织构强度明显大于银带上沉积的薄膜,薄膜与基底的微应变也小于银带与薄膜之间的微应变。
【学位授予单位】:北京工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TB383.2;TM26

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 周岳亮,赵维义;脉冲激光淀积高温超导薄膜的几个技术问题[J];低温物理学报;1999年01期
2 刘黎明;杨培志;黄宗坦;;高温超导线(带)材的研究进展[J];低温与超导;2006年01期
3 刘敏,董杰,赵跃,刘丹敏,周美玲;Ag基底织构和表面状况对YBCO薄膜性能的影响[J];无机材料学报;2005年05期
4 陈正豪;薄膜物理及其应用讲座第八讲激光分子束外延──一种研制薄膜的先进方法[J];物理;1995年12期
5 周岳亮;脉冲激光淀积高温超导薄膜[J];物理;1998年03期
6 梁素平,蒋毅坚;脉冲激光溅射沉积YBCO超导薄膜[J];应用激光;2002年02期
7 刘阿利;超导体的特性与高温超导[J];中学物理教学参考;2004年07期
8 刘丹敏,周美玲,郭汉生,胡延槽,左铁镛;高温超导Ag基带的织构研究[J];中国有色金属学报;2000年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 侯思普;PLD中等离子体屏蔽效应与烧蚀机理的研究[D];华中科技大学;2004年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 伍军,刘鹏,吴潘,张昭;超声波场中硫酸氧钛的水解研究[J];四川有色金属;2003年03期
2 徐政;杨秀英;宋世庚;周拴虎;聂圣哲;;Y-Ba-Cu-O高Tc氧化物的超导电性[J];安徽大学学报(自然科学版);1988年01期
3 周玲;;Bi-Pb-Sb-Sr-Ca-Cu-O掺入Mg的超导特性[J];安徽师大学报(自然科学版);1991年02期
4 李建丰;李东仓;欧谷平;张福甲;;有机半导体材料蒽薄膜的生长[J];半导体光电;2008年05期
5 林炜;马瑞新;;高温超导YBCO薄膜及其制备[J];微纳电子技术;2006年08期
6 吴玉庭;朱建坤;张丽娜;马重芳;;高温熔盐的制备及实验研究[J];北京工业大学学报;2007年01期
7 公衍生,王传彬,沈强,张联盟;氧化物功能薄膜材料的研究新进展[J];中国表面工程;2004年04期
8 李文亚;;冷喷涂粒子碰撞行为三维有限元热力耦合分析[J];中国表面工程;2009年03期
9 戴洪斌,王国斌;氨基磺酸盐镀铁镍合金组织结构的研究[J];表面技术;1996年01期
10 佟富强,陈岗,于文学;Fe_(50)Cu_(50)合金的X射线衍射分析[J];包装工程;2002年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 牛方;磷酸酯粘结剂诱导生成羟基磷灰石晶体的实验研究[D];郑州大学;2010年
2 孟威;薄膜集成磁件结构拓扑优化与制备工艺研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
3 于亚芹;钒酸铋光催化材料的制备及其光催化性能的研究[D];中国海洋大学;2010年
4 陈强;热循环条件下热障涂层断裂韧性和残余应力的测试分析[D];湘潭大学;2010年
5 吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
6 高良秋;溶胶—凝胶法制备NiCuZn铁氧体薄膜和粉体的研究[D];兰州大学;2010年
7 李亚东;基板表面状态对合金化热镀锌板镀层组织和性能的影响[D];昆明理工大学;2010年
8 许振领;高温超导带材交流传输损耗及失超传播特性研究[D];解放军信息工程大学;2010年
9 吴敏;预备热处理—冷轧变形材料组织遗传演化规律研究[D];武汉理工大学;2010年
10 于淼;MOCVD工艺沉积YBCO超导层实验研究[D];电子科技大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 马昆,王会生,吕惠宾,崔大复,周岳亮,陈正豪,胡文斐,陈莺飞,李林,杨国桢;激光分子束外延制备的BaTiO_3及c取向YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的生长模式[J];低温物理学报;1999年05期
2 张端明,public.wuhan.cngb.com,李智华,黄明涛,张美军,关丽,邹明清,钟志成;脉冲激光烧蚀块状靶材的双动态界面研究[J];物理学报;2001年05期
3 陈正豪;薄膜物理及其应用讲座第八讲激光分子束外延──一种研制薄膜的先进方法[J];物理;1995年12期
4 张新明;J.Hirsch;K.Lücke;;用取向分布函数研究铜及铜锌合金的变形非均匀性[J];中南矿冶学院学报;1988年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黎夏生,熊予莹,杨世祺,黄景清,唐振方,钟红海,谭石慈;激光扫描淀积原位生长高Tc超导薄膜[J];华南师范大学学报(自然科学版);1996年03期
2 刘丹敏,李尔东,胡言槽,赵丽丽,肖卫强,周美玲;改善YBCO高温超导银基带的织构[J];低温物理学报;2003年S1期
3 陈家俊,陶伯万,邓新武,刘兴钊,李德红,张鹰,何世明,李言荣,羊恺,张其劭;3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究[J];低温物理学报;2003年S1期
4 渠涌;大面积单/双YBCO高温超导薄膜的研制[J];电子科技大学学报;2002年05期
5 谢义元,袁凤池,程彬吉,陈继平,钟勇,崔炳燊;动态MOCVD连续制备YBCO/Ag超导带的微观结构[J];低温与超导;1994年01期
6 刘丹敏;刘星;郝斐;高菲;吉元;戴琳;周美玲;;银基带再结晶织构的EBSD分析[J];低温物理学报;2005年S1期
7 张子生;孙宏丽;李庆;赵庆勋;闫正;刘保亭;;外延Pb-Zr-Ti-O/Y-Ba-Cu-O异质结的制备研究[J];河北大学学报(自然科学版);2006年05期
8 傅瑶;杜国平;叶志清;张兴娇;;高温超导氧化物YBCO掺锆酸钡薄膜的制备及其结构分析[J];低温物理学报;2009年01期
9 潘军;阳运国;陈莺飞;徐小平;田海燕;林德华;郑东宁;;2英寸双面Tl2212高温超导薄膜的制备与研究[J];低温物理学报;2008年01期
10 周岳亮,赵维义;脉冲激光淀积高温超导薄膜的几个技术问题[J];低温物理学报;1999年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周萍;张永彬;黄火根;蒋春丽;;PLD在SrTiO_3(100)晶面沉积YBCO薄膜性能分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
2 季红;季勇;周萍;郑鹉;王艾玲;姜宏伟;;退火对NiCo薄膜各向异性磁电阻(AMR)的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 覃继宁;张荻;张国定;王文龙;Jae-Chul Lee;;SiC颗粒增强6061铝基复合材料ECAP过程的织构研究[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
4 卢建树;邹金桥;陈先学;;电沉积法制备织构化镍基材的研究进展[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
5 覃继宁;张荻;张国定;王文龙;Jae-chul Lee;;SiC颗粒增强6061铝基复合材料ECAP过程的织构研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
6 郭汉生;周美玲;史佳新;;为YBCO超导带材的研究和应用开发新的织构基带[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
7 胡广勇;马瑞新;王超群;;Mo基片上钨镀层织构的研究[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
8 严峰;赵敏;吴昆;;SiC_w/MB15镁基复合材料超塑性变形过程中的织构分析[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
9 李慧峰;辛宪诚;张文康;;中间退火温度对高牌号无取向电工钢组织、织构及性能的影响[A];2010第11届中国电工钢专业学术年会论文集[C];2010年
10 孙晶;李建利;朱忠丽;关效贤;刘景和;李国桢;黄宗坦;曾德群;李丹;黄江平;;YBCO高温超导薄膜及3mm波段响应特性研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘其丕;铊系高温超导薄膜项目摘硕果[N];中国有色金属报;2004年
2 唐诗全;攀钢一项应用性基础研究课题通过鉴定[N];世界金属导报;2003年
3 文宇;不断突破:PLD发展主旋律[N];中国电子报;2001年
4 本报记者 王小庆;PLD在半导体市场“飞奔”[N];中国电子报;2001年
5 本报记者 王小庆;保持领先 不断创新[N];中国电子报;2000年
6 ;PLD产业市场持续扩大加速替代ASIC[N];中国电子报;2009年
7 本报记者 王小庆;逐步渗透ASIC与DSP市场 PLD厂商寻找新商机[N];中国电子报;2001年
8 陈昌云;厂务公开用机制做保障[N];中国矿业报;2004年
9 李京成;热轧薄板的生产技术[N];世界金属导报;2000年
10 本报记者 王小庆;PLD厂商“热炒”SOPC[N];中国电子报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘娟秀;YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学/辐照特性研究[D];电子科技大学;2010年
2 高锋;化学溶液法制备YBCO超导层及钙钛矿结构导电缓冲层的研究[D];东北大学;2009年
3 刘慧舟;实用化YBCO高温超导带材制备与性能研究[D];北京有色金属研究总院;2012年
4 陈江博;PLD制备InGaZnO薄膜及其物理性质研究[D];北京工业大学;2012年
5 蔡衍卿;高温超导材料液相外延生长过程中的取向控制以及热稳定性能的研究[D];上海交通大学;2008年
6 李英楠;YBaCuO膜及其金属基带和缓冲层的制备与研究[D];东北大学;2010年
7 张黄莉;钇钡铜氧超导薄膜及其微细图形化新方法研究[D];西安理工大学;2009年
8 曾成;镜像法测试高温超导薄膜微波表面电阻的研究[D];电子科技大学;2009年
9 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
10 王琳;低维ZnO材料的外场制备、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高菲;用PLD法沉积YBCO超导薄膜的研究[D];北京工业大学;2006年
2 傅瑶;掺锆酸钡的高温超导氧化物YBCO薄膜的制备及超导性能研究[D];南昌大学;2008年
3 罗安;双面YBCO高温超导薄膜的研制及在微波谐振器中的应用[D];电子科技大学;2001年
4 戴邵康;液相源金属有机物化学气相法制备YBCO高温超导薄膜[D];电子科技大学;2010年
5 朱东亮;原位外延生长YBCO薄膜及取向控制[D];苏州大学;2010年
6 范俊;脉冲激光沉积制备YBCO薄膜:激光诱生大颗粒的消除以及c轴择优外延生长研究[D];苏州大学;2011年
7 陈军;c-轴择优YBCO薄膜的面内取向生长机理及控制[D];苏州大学;2011年
8 黄扬;YBCO超导薄膜快速制备工艺研究[D];西南交通大学;2012年
9 潘军;高温超导薄膜的制备及相关特性的研究[D];重庆大学;2008年
10 李德红;STO/YBCO集成薄膜的脉冲激光沉积及性能研究[D];电子科技大学;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026