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《北京理工大学》 2015年
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激光差动共焦传感器传感特性研究

路晓明  
【摘要】:共焦显微术因其具有独特的光学层析能力和卓越的横向分辨力而在微机电、工业精密检测、生物医学和材料工程等领域的基础理论研究和工业应用中有着极其重要的作用。但是现有共焦显微技术存在如下缺点:采用焦点逐层扫描方式,成像效率低;利用轴向响应曲线响应灵敏度最低的峰值探测焦点,轴向分辨力低。上述缺点使共焦显微镜无法满足快速和高空间分辨力轮廓成像需求。本课题的研究内容来源于国家重大科学仪器设备开发项目“激光差动共焦扫描成像与检测仪器研发及其应该用研究”(No.2011YQ040136)。本课题主要通过分析激光差动成像原理,进行激光差动共焦传感器的设计,其中包括激光差动共焦光路设计、观察光路设计和三维扫描机构设计,然后对差动共焦传感器的传感特性进行分析。通过设计的激光差动共焦传感器,验证对传感特性理论的研究。本论文的主要研究内容包括:一、在傅里叶光学理论的基础上,通过薄透镜的傅里叶光学性质分析共焦成像原理,分析了共焦技术和差动共焦技术的成像原理,并分析了探测器轴向偏移对系统传感特性的影响,为差动共焦显微成像方法与技术提供了理论基础;二、对激光差动共焦传感特性进行理论分析,其中包括对系统放大率、分辨率、噪声和传感特性等的分析,为系统的硬件设计提供理论基础;三、设计激光差动共焦传感器,包括激光差动共焦光路、普通光源观察光路,三维扫描系统;四、针对搭建的激光差动共焦传感器的传感特性进行研究,并通过实验对激光差动共焦传感器的稳定性、轴向分辨率、横向分辨率和传感特性进行验证和研究;
【学位授予单位】:北京理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2015
【分类号】:TP212

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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