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CVD方程的混合有限元解法及其数值模拟

周艳杰  
【摘要】:本文主要对化学蒸汽沉淀(CVD)过程的化学反应所涉及的方程进行研究,做了合理的近似,讨论了其广义解的存在性,半离散化和全离散化混合有限元解的存在性及其误差分析,并对全离散化的混合有限元解进行了数值模拟。 本文的内容分四部分完成: 第一部分给出化学蒸汽沉淀(CVD)反应方程的广义解的存在性,唯一性; 第二部分给出化学蒸汽沉淀(CVD)反应方程的半离散化混合元解的存在性及其误差分析,论证表明误差是最优阶的; 第三部分给出化学蒸汽沉淀(CVD)反应方程的全离散化混合元解的存在性及其误差分析,论证表明其误差也是最优阶的; 第四部分对化学蒸汽沉淀(CVD)反应方程的全离散化混合元解进行数值模拟。


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