收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

金属表面结构对表面等离子体干涉光刻法分辨率的影响

赵鹏  
【摘要】: 光刻技术是当前半导体元器件加工业应用最为广泛的一项技术。随着大规模集成电路和微结构光子学元器件的迅速发展,对光刻技术的精度和分辨率要求越来越高,但是由于光学衍射极限的存在,传统光刻技术的分辨率存在无法突破的极限。为了突破这一极限,许多新型的光刻技术涌现出来,例如远紫外激光光刻法、电子束刻蚀法等等。但是这类光刻技术成本过高,无法应用到成规模的工业生产中。 表面等离子体激元具有近场局域增强和纳米聚焦的突出特性,这为高分辨率的光刻技术开辟了一条新的途径。基于表面等离子体激元的光刻技术已成为一个热点研究方向。表面等离子体干涉光刻法利用波长436纳米的紫外光已经将光刻的分辨率提高到了50纳米。 根据这一光刻技术的原理,在金属光栅的狭缝两侧加入对称分布的沟槽结构,可以进一步提高光刻分辨率。同时,还可通过对沟槽结构几何参数的改变,达到对光刻胶中光场进行精细调节的目的。 本文利用时域有限差分方法对沟槽结构光刻法的刻录过程进行了数值模拟,并分析了沟槽结构的几何参数与光刻胶中的电场分布之间的关系。通过调节这些几何参数可以做到对电场分布进行精细调节,这为进一步提高光刻分辨率提供了一条新途径。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 汪毅;周治平;;基于表面等离子体激元的硅基激光器[J];激光与光电子学进展;2008年02期
2 陈燕坤;韩伟华;李小明;杜彦东;杨富华;;突破衍射极限的表面等离子体激元[J];光电技术应用;2011年04期
3 赵光跃;蔡祥宝;刘耀辉;;基于表面等离子激元谐振环的滤波特性分析[J];电子元器件应用;2011年09期
4 汪国平;;表面等离子体激元纳米集成光子器件[J];物理;2006年06期
5 李继军;吴耀德;宋明玉;陈海燕;;金属纳米波导阵列的成像效应研究[J];长江大学学报(自然科学版)理工卷;2008年04期
6 林文魁;李海军;朱贺;付思齐;吕佳楠;张宝顺;;基于表面等离子体激元效应的可调制滤波器[J];应用光学;2010年02期
7 丁佩;梁二军;;太赫兹波段电磁超介质的应用及研究进展[J];激光与光电子学进展;2011年07期
8 章蓓,栾峰,徐军,金艳波,徐万劲,张会珍,钱怡,马骁宇,朱恪,刘玉龙;基于二维表面等离子体激元的微结构[J];固体电子学研究与进展;2002年04期
9 沈云;范定寰;傅继武;于国萍;;加入增益介质的表面等离子体激元耦合共振波导传输特性理论研究[J];物理学报;2011年11期
10 俞建华,孙承休,刘柯林,高中林,王启明;硅基MIS隧道二极管的研究[J];发光学报;1999年01期
11 朱明轩;李海华;王庆康;;表面等离子体透射增强提高光刻分辨率的模拟[J];微纳电子技术;2010年04期
12 文明;王新林;罗虎;朱诗佳;易陈林;;色散金属的时域有限差分方法[J];光电技术应用;2010年05期
13 易明芳;王沛;王小蕾;温晓镭;鲁拥华;;微纳结构增强的三阶光学非线性及其全光调控研究进展[J];量子电子学报;2010年06期
14 张建伟;蔡祥宝;连艳杰;聂兵;;基于表面等离子体激元的金属光栅波导分析[J];电子元器件应用;2011年01期
15 俞建华 ,高中林 ,刘柯林 ,蔡益民 ,孙承烋;表面等离子体激元和极化激元在MIM隧道结发光中的地位及负阻现象讨论[J];电子器件;1992年02期
16 肖玉梅;马君显;娄淑慧;;梯形通道等离子体激元亚波长光波导结构[J];科技创新导报;2008年30期
17 李海军;林文魁;张晓东;査强;王媛;朱贺;付思齐;张宝顺;;应用于高密度近场光存储技术的亚波长纳米孔[J];半导体光电;2010年03期
18 芳芳;;用纳米晶材料制作光电子器件的研究[J];光机电信息;2006年03期
19 ;研究进展[J];激光与光电子学进展;2007年09期
20 郑宇;王景全;李敏;牛晓云;杜惊雷;;SPPs光刻曝光显影模拟研究[J];光子学报;2010年05期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 黄茜;张晓丹;孙建;赵颖;熊绍珍;;功能光学薄膜材料:纳米Ag颗粒的制备及其特性研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
2 许小亮;徐鑫;金西;杨振声;周向明;;基于表面等离子体激元增强效应的高效白光LED[A];第十二届全国LED产业研讨与学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 韩德专;表面等离子体激元在周期结构中的能带及传播性质[D];复旦大学;2006年
2 陈红艺;SQUID左手材料特性及各向异性左手材料性质研究[D];清华大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵鹏;金属表面结构对表面等离子体干涉光刻法分辨率的影响[D];首都师范大学;2007年
2 谭玉贵;纳米结构近场光波的时域有限差分法研究[D];山东师范大学;2008年
3 孟阔;太赫兹波段金属狭缝结构透射特性研究[D];首都师范大学;2008年
4 梁以资;表面波等离子体的实验研究[D];复旦大学;2008年
5 王跃科;基于倏逝波耦合等离子体共振波导的理论研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 刘琼;周期性结构的表面等离子体共振性能研究[D];中南大学;2009年
7 孔俊杰;微纳光子器件设计及飞秒激光制备研究[D];江苏大学;2008年
8 胡传飞;金属纳米谐振腔中共振特性的研究[D];北京交通大学;2008年
9 张美娜;飞秒脉冲在纳米金属光栅的传输特性研究[D];山东师范大学;2009年
10 胡滨;亚波长结构金属光学元器件局域场增强和散射特性的研究[D];北京交通大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978