收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

非制冷红外微测辐射热计多孔硅绝热层热学与力学研究

许路加  
【摘要】:非制冷热成像探测器在世界范围内被广泛研究,其在军事和民用方面有很大的潜力和应用价值。目前微测辐射热计是研究和运用最广的一类非制冷红外探测器中。本人实验室基于绝热性、机械稳定性以及硅工艺兼容性的考虑提出了以多孔硅作为绝热层的新型微测辐射热计结构。 本文的研究内容是对多孔硅绝热层的热学和力学性质进行理论建模研究,分析和解释孔洞存在方式、孔洞分布情况以及膜厚对于多孔硅绝热层力学和热学性能的影响。通过将建模结果与之前测得的实验数据进行对比,验证所建立理论模型的有效性。并使用ANSYS有限元仿真的方法进一步验证理论模型的正确性。 本文所采用的建模方法是将多孔硅热导率和杨氏模量的影响机制更表观地归结到孔洞的存在和分布等结构因素上,把整个多孔硅视为由硅连续材料介质和孔洞连续介质通过串联和并联组合成的复合微机构,给予其热导率和杨氏模量一个更为易于理解和简化的等效解释,并且进一步把孔隙率对等效热导率和等效杨氏模量的影响分解为两个不同的部分,即纵向部分和横向部分,半定量的指出不同的孔洞结构和分布下,孔隙率与等效热导率和等效杨氏模量的关系。 通过本文的理论和仿真分析,可以清楚的了解多孔硅绝热层热学和力学性质与多孔硅孔洞结构的关系,有针对性的完善和补充现有的理论。为实验室制备符合要求的多孔硅绝热层提供理论指导。对于完善和研究新的制备方法具有重要的实际意义。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 汪涛,刘成康,袁祥辉;非制冷微测辐射热计的热平衡分析[J];红外与激光工程;2001年03期
2 孟丽娅,袁祥辉;微测辐射热计的建模与仿真[J];激光与红外;2005年02期
3 苏吉儒,魏建华,庄继胜;赴向21世纪的非制冷热成像技术[J];红外与激光工程;1999年03期
4 阳启明,张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地;MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用[J];半导体技术;2004年10期
5 顾文韵,皮德富,周士源;非制冷微测辐射热计热成像[J];红外与激光工程;2000年02期
6 ;非制冷红外焦平面热像仪[J];军民两用技术与产品;2002年01期
7 高;;采用原位微真空传感器的微测辐射热计红外焦平面列阵[J];红外;2008年12期
8 刘西钉,江美玲,冯晓梅,丁爱娣,梁平治,沈学础;非制冷红外微测辐射热计的研制[J];红外与毫米波学报;1997年06期
9 ;微型飞行器用非制冷红外传感器[J];军民两用技术与产品;2001年02期
10 高国龙;;美国研制出采用微测辐射热计的红外斯托克斯成像偏振仪[J];红外;2010年06期
11 张维力;欧洲非制冷焦平面红外热像仪组件进入中国市场[J];激光与红外;2001年01期
12 黄宗升,秦石乔,王省书;雷神公司的非制冷红外焦平面阵列的特性参数分析[J];红外技术;2004年03期
13 王玮冰;陈大鹏;明安杰;欧文;刘战峰;;二极管原理非制冷红外焦平面阵列的集成设计[J];红外与激光工程;2011年06期
14 杜玉杰;非制冷红外焦平面阵列最新进展[J];滨州师专学报;2003年02期
15 ;上海技物所承担的非制冷红外焦平面热像仪项目通过验收[J];红外;2001年07期
16 高国龙;非制冷热成像的进展与高通过量真空封装的需要[J];红外;2002年03期
17 甄德根,蒋亚东,吴志明,杨砚;基于Wiener滤波理论的非制冷红外焦平面非均匀校正新算法[J];红外技术;2005年04期
18 刘铮,李兰,邹德恕,杨道虹,徐晨,沈光地;新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制[J];红外与激光工程;2003年05期
19 甄志成;胡明;杨海波;吕宇强;;非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建[J];微纳电子技术;2007年Z1期
20 高国龙;;美国研制出光谱特性可调的长波红外微测辐射热计[J];红外;2010年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 程正喜;马斌;张学敏;翟厚明;施永明;;热导可变的高速微测辐射热计[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(上册)[C];2010年
2 甄志成;胡明;杨海波;吕宇强;;非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
3 钱芸生;张俊举;孙恋君;邢素霞;常本康;;非制冷红外焦平面非均匀性测试技术研究[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
4 李升才;肖顺旺;徐宗昌;;非制冷红外焦平面技术、应用及其发展[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
5 郭良贤;王海涛;;非制冷长波红外变焦光学系统设计[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
6 张良;;非制冷高变倍比连续变焦光学系统的设计[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
7 何少伟;黄鹰;戴君;赖建军;王兴治;易新建;;基于纳米/微米VO_2红外探测器光电响应对比研究[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
8 陈兢;刘理天;李志坚;;基于多孔硅技术的电容式微麦克风的分析与设计[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
9 蔡毅;;非制冷红外成像技术及其应用[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
10 李毅;蒋群杰;武斌;张天序;;非制冷980nm泵浦激光器封装技术[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(C 激光技术与应用专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
2 王彬;高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究[D];华中科技大学;2012年
3 孟丽娅;微测辐射热计非均匀性及新型校正读出电路研究[D];重庆大学;2005年
4 隋修宝;非制冷凝视热像仪成像理论以及关键技术研究[D];南京理工大学;2009年
5 陈西曲;非致冷红外焦平面的读出电路及测试系统研究[D];华中科技大学;2007年
6 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
7 梁继然;微测辐射热计用氧化钒薄膜的制备及其电阻温度性能研究[D];天津大学;2007年
8 李世彬;氢化硅薄膜的制备、特性及器件研究[D];电子科技大学;2008年
9 何少伟;微纳VO_2薄膜特性及其应用研究[D];华中科技大学;2008年
10 王宏臣;氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 许路加;非制冷红外微测辐射热计多孔硅绝热层热学与力学研究[D];天津大学;2010年
2 赵赫男;基于可动反射面的双波段微测辐射热计研究[D];电子科技大学;2011年
3 杨卓;新型双层微测辐射热计结构优化设计[D];电子科技大学;2012年
4 杨海波;面向MEMS非制冷红外探测器的多孔硅绝热层及力学性能研究[D];天津大学;2007年
5 马婷婷;表面沉积铜薄膜多孔硅的制备及其发光特性研究[D];昆明理工大学;2009年
6 唐鹿;多孔硅的制备及发光机理的研究[D];南昌大学;2012年
7 傅俊威;基于非晶硅薄膜的红外吸收层膜系设计、仿真与实验研究[D];电子科技大学;2011年
8 黎文模;氧化钒非致冷红外探测器阵列读出电路结构研究[D];西南交通大学;2006年
9 李陈发;多孔硅的电化学制备与光致发光[D];南昌大学;2011年
10 于磊;多孔硅电极的光电功能及其应用研究[D];山东师范大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 龙跃;大立科技(002214)[N];中国证券报;2008年
2 大时代投资 王瞬;新股最佳申购策略[N];证券日报;2008年
3 华北光电技术研究所 陈苗海 所洪涛;红外热成像市场高速增长 核心器件成瓶颈[N];中国电子报;2006年
4 广发证券 惠毓伦;大立科技 红外热像仪行业领先[N];证券时报;2008年
5 中国光学光电子行业协会 韩建忠 王琳 吕玉华;我国光电子产业发展方兴未艾[N];中国电子报;2004年
6 湖南农业大学食品科技学院教授 谭兴和;柑橘储藏国家标准(GB/T 10547-89)[N];湖南科技报;2007年
7 记者 王才忠、通讯员 任新贤;武汉·中国光谷近期有大动作[N];湖北日报;2000年
8 本报记者 宋晓华本报实习生 殷晓宇;揭秘“太阳能空调”[N];新华日报;2007年
9 李健勇;新钢成功实施炉顶红外热图像仪技术[N];中国冶金报;2008年
10 马兰;大包装的SG550[N];中国国防报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978