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《天津大学》 2014年
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高精度平面反射镜的制作方法研究

吴德兴  
【摘要】:在反射镜家族中,平面反射镜属于结构比较简单的光学元件,但其应用却非常地广泛,在平面反射镜的诸多参数中,本论文主要对其面形指标的检测,抛光面形的控制以及镀膜前后面形的变化影响展开研究。 首先,在反射镜面形的检测方面,目前国内外厂商首选的检测仪器是Zygo激光干涉仪,本论文主要对传统检测手段既样板检测与Zygo干涉仪检测的相关性展开分析,重点研究了POWER、PV、SAG、IRR与N、△N的关系。 其次,在平面反射镜的抛光工艺选择方面,考虑到工艺成熟性、稳定性与成本的因素,重点研究了古典抛光手法在反射镜抛光中的应用,这里面主要分压制抛光磨具、选择抛光剂、抛光及清洗、脱模等步骤展开讨论,并针对各种抛光面形的情况下不同修刮模手法进行了详细说明。 最后,对镀膜前后反射镜面形的变化进行了研究,影响镀膜前后面形变化的因素很多,本文主要从以下4个方面进行探讨: 1)薄膜残余应力使反射镜的基底面形发生变化,提出了利用不同的基片面形与不同的镀膜机台进行配对来解决面形变化的影响,同时提出在背面镀SiO2来调整面形变化量; 2)对膜系设计方面的缺陷使镀后面形测量值无法代表真实的面形情况进行研究,并通过实验修改膜系设计来消除此类影响; 3)研究了镀膜夹具档边对面形产生影响,并提出了增加基片长度和修改镀膜夹具的解决方案; 4)其它因素主要讨论基片在夹具的摆放位置对面形造成的影响。
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1 吴德兴;高精度平面反射镜的制作方法研究[D];天津大学;2014年
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