收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

非致冷红外探测器用氧化钒薄膜工艺研究

温宇峰  
【摘要】:本论文以高纯五氧化二钒和高纯金属钒分别作为蒸发源和溅射靶材,采用真空蒸发法和反应射频磁控溅射方法制备了氧化钒薄膜。在实验中主要研究了基片温度、Ar/O2比、真空热处理等条件对氧化钒薄膜性能的影响。对于蒸发镀膜,适当提高基片温度有利于形成结晶良好的薄膜,温度较低时可能形成非晶态薄膜。通过对样品热处理前后XRD和XPS分析我们可以得到真空热处理有利于VO2的形成。 反应射频磁控溅射制备的薄膜样品的电阻温度曲线呈现递减趋势,显示出负的电阻温度系数,具有良好的热敏特性,认为制备的较符合氧化钒薄膜电阻要求的样品的电阻温度系数在-2.3%/K左右;通过调整Ar/O2比,薄膜的电阻变化较大,范围在0.04657~4086KΩ,各样品的成分变化也很大;对溅射制备的部分样品进行真空热处理得到了下面的结论:在成份上,真空热处理能够促使V2O5还原向VO2转化;在电性能上,真空热处理降低了薄膜电阻,提高了电阻温度系数;在微观结构上,真空热处理使晶粒排列有序致密,缺陷消失;对于不同温度的真空热处理,较高温度有利于晶粒排列均匀,电性能更好。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 戚辉;刘爱华;姜春霞;闫齐齐;张达;曾宪顺;邓家春;印寿根;;有机场效应晶体管输出特性的衰变与恢复[J];光电子.激光;2011年07期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 曾祥斌;;真空热处理设备的泄漏率检测[A];科学发展与社会责任(A卷)——第五届沈阳科学学术年会文集[C];2008年
2 包耳;任慧远;张天强;姚凤臣;田绍洁;;商品化的真空热处理[A];首届中国热处理活动周论文集[C];2002年
3 陈柳炼;马斌;施永明;翟厚明;;氮气退火处理对氧化钒薄膜物理特性的影响[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4 叶俭;陆建明;;大型压铸模用钢及其真空热处理工艺研究[A];首届中国热处理活动周论文集[C];2002年
5 张艳;陆路;许并社;;热处理法制备碳纳米洋葱状富勒烯的研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2003年
6 吴淼;胡明;刘志刚;;直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
7 刘静安;;4cr5mosiv1钢挤压模具真空热处理工艺研究[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
8 张建国;丛培武;;特殊材料的真空热处理[A];首届中国热处理活动周论文集[C];2002年
9 顾敏;王红伟;张洁;卢金生;;多功能真空热处理专用清洗机及其应用[A];首届中国热处理活动周论文集[C];2002年
10 肖李鹏;李恩萍;熊国刚;;真空热处理对陶瓷涂层性能的影响[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王雪花;粗皮桉木材真空热处理热效应及材性作用机制研究[D];中国林业科学研究院;2012年
2 陈涛;具有相变特性的氧化钒薄膜制备与光学特性研究[D];天津大学;2011年
3 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
4 魏雄邦;氧化钒薄膜的制备、微结构与特性研究[D];电子科技大学;2008年
5 王明伟;高温合金和钛合金真空热处理及热胀形过程数值模拟[D];大连理工大学;2007年
6 吕宇强;氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究[D];天津大学;2007年
7 梁继然;微测辐射热计用氧化钒薄膜的制备及其电阻温度性能研究[D];天津大学;2007年
8 戴君;氧化钒薄膜的光电特性及其应用基础研究[D];华中科技大学;2009年
9 王宏臣;氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究[D];华中科技大学;2006年
10 罗振飞;氧化钒薄膜的制备及其电学、光学特性研究[D];电子科技大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 温宇峰;非致冷红外探测器用氧化钒薄膜工艺研究[D];天津大学;2004年
2 杨旭;磁控溅射制备氧化钒薄膜[D];西安工业大学;2010年
3 杨友华;基于交叉混合推理的刀具真空热处理专家系统[D];哈尔滨理工大学;2010年
4 后顺保;氧化钒薄膜的制备与光电特性研究[D];天津大学;2012年
5 杜明军;氧化钒薄膜的制备及其光电性能研究[D];电子科技大学;2011年
6 吴淼;真空蒸发法制备氧化钒薄膜的工艺研究[D];天津大学;2004年
7 赵佳明;智能激光防护材料:氧化钒薄膜的生长及其光电性能研究[D];大连理工大学;2012年
8 张蜀平;氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2002年
9 张倩琳;有机SOL-GEL法制备掺杂氧化钒薄膜及其电学性能研究[D];电子科技大学;2010年
10 王麒;RF-溅射制备氧化钒薄膜及其电致开关特性研究[D];天津理工大学;2012年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 鲁伟 王炳 肖颖;智能化真空热处理设备通过验收[N];科技日报;2010年
2 中国热处理协会副理事长 樊东黎;可控气氛热处理和真空热处理[N];中国机电日报;2001年
3 袁伟;一航黎阳转包生产进入快速发展期[N];中国航空报;2006年
4 中国纺织机械器材工业协会;精益求精的制造技术是产品创新的基础[N];中国纺织报;2007年
5 本报记者 郑春蕾;处理废旧电池势单利微 谁来施援手?[N];中国工业报;2006年
6 樊东黎;四大技术引领热处理发展方向[N];中国机电日报;2001年
7 何锬坡;热处理行业可望规模化[N];珠海特区报;2008年
8 张晔;为中国制造业加把“火”[N];科技日报;2004年
9 一萍;不锈钢钎焊板式换热器异军突起[N];中国机电日报;2001年
10 记者 俞家骅;世纪伟人金钻怀表成收藏热点[N];中国黄金报;2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978