收藏本站
《天津大学》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

双光路激光干涉测长仪及其在三坐标机上的使用

刘宁  
【摘要】:在科研和生产各个领域,随着高精度的尺寸测量以及应用在柔性定位跟踪系统等各种的需要,激光干涉仪因为其突出的性能和特点,已经在越来越多的领域广泛使用。 本文在臧艳芬、刘海宁博士工作的基础上,对新型的双光路激光干涉测长仪进行了研究,着力于使其产品化,更便于实际应用。 论文的主要工作包括: 1.论述了这种新型激光干涉测长仪的工作原理及特点。在测量中测头能从工件的一端移到另一端而不丢光;光路上能补偿因测头系统发生倾斜而造成的阿贝误差。 2.设计制作了所有需要的光学器件,并研究了这些光学器件因加工及装配上的误差给测量结果带来的影响,以及调试上可能出现的困难。 3.设计加工出一整套安装光学器件的机械装置,它具有结构简单可靠,对需调整的光学器件各有其独立的微调结构,能够方便地对光学器件的三个角自由度做出相应的调整。当调试完成后,可组装为一体,以后测量时只需整体调整就可使用,不必对其内部的光学器件做单独的调整。整个机械结构尺寸小,重量轻。触发测头采用接触式触发,通过平行片簧悬吊测杆、测球及测量镜,使用电涡流位移传感器拾取测头触发信号。 4.为使这种激光干涉测长仪能方便地应用于三坐标机,设计一套能实际使用的触发电路,拾取当三坐标机运行时,测头接触工件时发出的信号,触发激光干涉仪读取触发时的信号并记录数据,并且此触发信号还能使三坐标机停机,以避免三坐标机的继续运行而损坏测头或工件。确定了电涡流位移传感器的发讯值,实现微测量接触力发讯,以减小测球及测杆在力的作用下接触变形和弯曲变形。 5.在三坐标测量机上完成了激光干涉测长仪的性能实验。在三坐标测量机运行中,将激光干涉测长仪的测量数据与三坐标示值机进行比对,并通过测量8mm石英标准具,进行了比对,分析了测量的不确定度。
【学位授予单位】:

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;应用小型激光干涉仪接长感应同步器[J];机床与液压;1977年05期
2 陈铁君;;JG-Ⅱ型自动补偿激光干涉仪[J];仪表技术与传感器;1980年02期
3 B.A.Ханов;魏和荣;;用激光干涉仪的测量方法的分析[J];国外计量;1981年01期
4 陆伯印,赵美蓉,徐燕申,周胜;带有三维激光干涉仪和压电位移执行器的新型主动隔振系统[J];仪器仪表学报;1996年02期
5 廖澄清,朱小平,王蔚晨,杜华;激光干涉仪测长精度校准方法的研究[J];现代测量与实验室管理;2005年01期
6 韩大勇;;数控机床线性轴定位与重复定位精度的检测[J];计测技术;2008年04期
7 ;测角度的激光干涉仪[J];光学精密工程;1978年05期
8 顺;;组合式激光干涉仪[J];应用光学;1993年02期
9 周星;用激光干涉仪测量数控机床回转轴精度[J];工具技术;1997年02期
10 张虎,周云飞,陈吉红,师汉民;数控机床补偿误差的激光干涉仪识别技术[J];华中科技大学学报(自然科学版);2001年12期
11 宋波;;大尺寸石英玻璃光学均匀性的测量[J];中国建材科技;2006年01期
12 于迎红;;激光干涉仪线性光束准直的快速调整方法[J];计量技术;2006年09期
13 曹永洁;万军;傅建中;张孝三;;激光干涉仪在机床定位精度测量中的误差分析[J];机床与液压;2007年04期
14 蒋秀兰;祝逸庆;马建敏;傅云霞;蔡明钢;葛爱明;王青;陈磊;;双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施[J];上海计量测试;2010年06期
15 陈洪芳;林虎;殷建杰;;数字式测高仪定位误差的测量及补偿[J];机电工程;2011年02期
16 刘丽君;;JG-Ⅱ型自动补偿激光干涉仪鉴定会[J];仪表技术与传感器;1979年06期
17 高木信雄;张耀宏;;使用激光干涉仪的直线度、超高分辨率系统[J];国外计量;1987年04期
18 ;GLI-100型量块激光干涉仪研制成功[J];计量学报;1992年03期
19 范志刚,浦昭邦,徐进;量块检定用激光干涉仪[J];应用激光;1996年01期
20 茅振华,王鹏翔,裘越;激光干涉仪在测长机检定中的应用[J];计量技术;1999年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 方明;;激光干涉仪在水平仪检定器检定中的运用[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
2 陈烨;;高速数控机床技术[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
3 梁甲兴;张玉华;林立;;方丝弓系列矫治器的机械结构研究与Free—edge矫正器的设计[A];第四军医大学口腔医院2004第七届全国口腔正畸学术会议论文汇编[C];2004年
4 曹利波;;计量保证方案在国防计量中的应用[A];2007年度中国航空学会计量技术专业委员会计量与质量专题学术交流会论文集[C];2007年
5 曹利波;;利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
6 王广宇;洪延姬;叶继飞;;激光干涉仪测微冲量原理[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
7 夏瑞雪;陈晓怀;;纳米三坐标测量机误差检定方法研究[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
8 周罡;王瑞;;指示类量具检定仪示值误差校准方法的探讨[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
9 王云飞;魏华春;;机械结构多因素可靠性分析工程应用[A];2004年全国机械可靠性学术交流会论文集[C];2004年
10 田海波;方宗德;寇发荣;;一种六轮行星探测车的结构及其准静态分析[A];中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 石珊珊;电气设备机械行业实现跨越发展[N];机电商报;2008年
2 ;日本机械结构用高功能特殊钢[N];世界金属导报;2010年
3 CN23773432Y;流体电子灌装阀的机械结构[N];中国包装报;2000年
4 ;流体电子灌装阀的机械结构[N];中国包装报;2003年
5 ;流体电子灌装阀的机械结构[N];中国包装报;2004年
6 江苏 陈化南;未来的汽车新科技——NVH[N];电子报;2006年
7 高宏适;日本机械结构用高功能特殊钢[N];世界金属导报;2010年
8 中国缝制机械协会;缝制机械结构调整“十二五”进入攻坚期[N];中国工业报;2011年
9 海波;新型喷气织机通过鉴定[N];中国纺织报;2006年
10 记者 王唯先;潜心执著三十年 声称发现新能源[N];牡丹江日报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 周忠海;基于激光干涉原理的海洋灾害预警关键技术研究[D];中国海洋大学;2009年
2 杨姝;复杂机械结构拓扑优化若干问题研究[D];大连理工大学;2007年
3 高思田;计量型原子力显微镜的研究[D];天津大学;2007年
4 贺向东;机械结构可靠性稳健设计若干关键问题的研究[D];吉林大学;2005年
5 张学玲;基于广义模块化设计的机械结构静、动态特性分析及优化设计[D];天津大学;2004年
6 张纪平;基于三维仿真与模型参数监测的机械结构局部损伤诊断方法[D];太原理工大学;2010年
7 丁金华;机械结构有限元动力优化设计的逆摄动方法研究[D];大连理工大学;2000年
8 田红亮;机械结构固定结合部动力学建模[D];华中科技大学;2011年
9 袁涛;机械结构参数相关性与串并联体系可靠性灵敏度设计与应用[D];吉林大学;2007年
10 路英杰;大射电望远镜馈源支撑系统定位与指向控制研究[D];清华大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘宁;双光路激光干涉测长仪及其在三坐标机上的使用[D];天津大学;2005年
2 于乃昭;激光干涉仪在低频微小振动测量中的应用[D];哈尔滨工程大学;2011年
3 来展;激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究[D];中国计量科学研究院;2011年
4 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 张让莘;自动化炊事锅监控系统及机械结构研制与开发[D];大连理工大学;2003年
6 李强;三轴仿真转台设计及动力学研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
7 李世民;浅海域海底静力触探测试系统机械结构研究[D];吉林大学;2005年
8 邹建忠;激光干涉仪跟踪式无导轨测量的研究[D];西安理工大学;2001年
9 刘法泉;Canon KrF扫描光刻机套准精度的改进方法研究[D];上海交通大学;2008年
10 梁铨;智能电动执行机构的研究[D];哈尔滨理工大学;2008年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978