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声表面波器件中声波传播特性的研究

徐贺华  
【摘要】: 声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来无论是在科学研究领域还是实际应用领域都有了很大的发展。声表面波器件种类繁多,主要有表面波滤波器、无线传感器、谐振器、延迟线、匹配滤波器、振荡器、表面波卷积器等。由于声表面波器件具有小型、可靠性高、一致性好、多功能以及设计灵活等优点,所以它在现代无线通讯领域、光纤通讯网络、空中交通管制、电子战、无损检测、声纳以及电视技术中得到了广泛的应用。 声表面波器件的制造离不开对声表面波在器件所使用的压电材料中的传播特性的研究,本文做的正是这方面的工作。因为薄膜材料的应用是声表面波器件的一个重要的发展方向,所以我选择了声表面波在分层介质中的传播特性作为研究内容。第一章,我们介绍了声表面波在分层介质中传播特性的基本研究方法。第二章,利用第一章所讲的理论对声表面波在器件制造中常用的压电材料LiNbO_3和石英中的传播特性进行了研究,并且研究了声表面波在覆盖了金属、硅或石英薄膜后的X切Y传LiNbO_3中的传播特性。第三章,我们对声表面波在几种分层介质中的传播特性进行了研究,并结合声波导的知识进行了新型声波导的设计,还研究了声表面波在声慢/声快双层介质结构中的传播特性。第四章,我们结合已有的计算结果,对集成光学声光可调谐滤波器(AOTF)的核心元件—模转换器的结构进行了新的设计。


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