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《天津轻工业学院》 2000年
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氧化物镀膜包装材料的加工技术及性能研究

朱庆荣  
【摘要】: 论文主要研究新型高阻隔性包装材料——氧化物镀膜包装材 料的生产技术及性能,分析镀膜工艺中各种技术条件对氧化物镀 膜包装材料的性能的影响。 实验中采用物理气相蒸镀法(PVD:Physical Vapor Deposition) 和等离子体强化化学蒸镀法(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)制取SiOx及其它氧化物镀膜包装材料。研究分 析了基材表面预处理、引进反应气体、等离子体强化、控制蒸镀 速率等工艺条件对氧化物膜层的物理化学结构、氧化物膜层与基 材之间的附着牢度以及镀膜包装材料的阻隔性能影响,揭示了它 们之间的相互关系。 经研究分析,氧化物膜层与塑料薄膜之间的附着牢度主要取 决于膜层与基材之间的化学键作用。基材表面等离子体预处理可 以清洁表面,同时改变基材的表面形态,降低粗糙度,等离子体 强化蒸镀使得氧化物与基材形成牢固的化学连接。阻隔性能不仅 受基材的表面形态的影响,还与膜层的厚度、蒸镀功率、氧化物 膜层的化学物理结构有关系。通过控制蒸镀功率、等离子体强化 等方法可以提高氧化物膜层与基材之间的附着牢度和阻隔性能, 通过复合蒸镀、混合蒸镀等工艺方法,来进一步控制膜层结构和 稳定氧化物镀膜包装材料的性能。
【学位授予单位】:天津轻工业学院
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2000
【分类号】:TB484.3

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