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《河北大学》 2005年
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电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制

张胜坤  
【摘要】:随着时代的进步,各种新型材料的问世,用于分析材料成份、考察材料性能的各种成分分析仪器应运而生。其中辉光放电光谱技术因其能直接分析固体样品和独特的深度轮廓分析性能,在分析领域的地位逐渐显著。而射频辉光放电技术则因为可以直接分析导体和非导体样品而越来越引起人们的关注。目前,对于射频辉光光谱仪的改进基本集中在激发源的设计上。 本文研制并实验考察了3种不同结构的用于分析的射频辉光放电等离子体激发源。介绍了3种激发源(Marcus型、两种Grimm型)的设计结构。实现了3种激发源对导体和非导体样品的溅射。 通过建立校准工作曲线实验,确定了Marcus型激发源在分析导体样品上的结构设计难点。考察了氩气气压和射频功率对Marcus型激发源溅射玻璃样品的溅射率的影响。 比较了两种Grimm型激发源的结构,并通过激发导体和非导体的工作曲线建立结果和强度精密度结果,说明了激发源设计结构的重要性。通过实验考察了非导体样品的厚度对光谱强度的影响。确定了GrimmⅡ型激发源激发玻璃样品的最佳条件:70W,450Pa。提出了分析非导体样品的谱线选择建议。 本课题的研究,促进了国内用辉光放电技术直接分析非导体样品的应用,验证了射频辉光放电技术分析非导体的能力,得出了射频辉光放电激发源的结构设计的重要性,是改进辉光光谱仪激发源从而提高分析性能的有益研究。
【学位授予单位】:河北大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TH744.1

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