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《辽宁大学》 2011年
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功率半导体器件版图拼接技术研究

刘德军  
【摘要】:功率半导体器件版图拼接是图像拼接在微电子领域的具体应用,本文在详细分析现阶段拼接技术的基础上,针对版图图像的特殊性,提出一种适合版图显微图像拼接的方法。本文目标就是把在显微镜下采集到的大量的版图显微图像拼接成一幅全整的版图,并且在自动配准和拼接上做一些努力和尝试,从而为以后的测量和设计等应用做出铺垫。 本文主要做了以下工作: (1)版图显微图像的配准。由于版图显微图像的特殊性,一般的空间域的配准算法很难达到较好的匹配效果。本文采用了频率域的基于相位相关的POC算法进行配准。针对图像光照不均匀,重合区域小等误匹配,本文在原有POC算法基础上,加入差影检测和特征块提取模块,有效减少了误匹配提升了配准精度。 (2)大量版图显微图像整体拼接。主要综合分析目前常用的全局拼接算法以及消除误差累积存在的困难和问题。为了克服图显微图像全局拼接的误差累积问题,本文在帧到全景图frame-to-mosaic全局拼接方式基础上进行改进,利用二路归并排序算法的思想,实现金字塔式的全局最优的拼接策略。该方法减小了配准误差的向下传递,降低了frame-to-mosaic全局拼接算法的复杂度和计算量。 (3)版图显微图像的融合。主要分析现有的图像融合技术,针对版图显微图像拼接的特点,对加权平滑法权值的计算进行了改进,通过实验对比显示该方法基本满足了版图显微图像的拼缝消除要求。 本文在现有图像拼接技术基础上,为了验证本文方法的有效性我们进行了一些实验,实现了版图显微图像的拼接,表明了上述研究的正确性。
【学位授予单位】:辽宁大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TP391.41;TN303

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