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《大连理工大学》 2010年
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电热微夹钳的性能测试

王文静  
【摘要】: 微机电系统(MEMS)测试的功能主要是为科学研究与产品开发中的每个环节提供数据反馈。随着MEMS技术的发展,对微机电系统器件的结构、材料和运动等性能的检测成为急需解决的问题。 微夹钳是MEMS领域的一个重要的执行器,应用于微小目标的夹持、移动和组装等动作。研究和开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳,近年来已成为微纳米技术研究领域的一个重要方面。本文以微夹钳为研究对象,对微夹钳的输出位移、温度分布进行了测试研究,为微夹钳的设计与应用提供依据。 本文首先完成了微夹钳位移测试系统硬件和软件设计,进行了微夹钳的位移测试实验。通过LabVIEW图像化编程软件完成了系统的软件设计,功能包括图像采集,图像处理,位移测量,图像定标等功能。在进行位移测试时,可以在图像上标注尺寸大小,并显示标尺;通过TS-M1台式测微尺实现图像定标,系统测量分辨率最小为0.33μm,测量误差为±1μm。通过位移测试实验,总结出微夹钳输出位移的变化规律,并对微夹钳输出位移大小的影响因素进行了分析比较。 根据微夹钳自身尺寸比较小的特点,选用红外热像仪进行温度测试实验。由微夹钳的电极结构,通过双温度法求出SU-8胶的发射率。分析得出镍和SU-8胶两种材料微夹钳的温度分布及变化趋势,通过温度测试实验,验证了SU-8胶材料降低了微夹钳表面的温度,满足了设计要求。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TH703

【参考文献】
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