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《大连理工大学》 2018年
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线位移传感器校准装置的研制

曹洁  
【摘要】:线位移传感器作为尺寸测量仪器广泛应用于航空航天、军工科研、民生基建等领域,具有响应速度快、量程范围广、测量精度高等特点。目前的检测装置存在效率低、精度差、人为因素影响大等现状,无法确保线位移传感器数据的真实可靠。本校准装置的研发,主要是利用高精度双频激光干涉仪作为长度测量基准,以稳定可靠的大理石平台作为基座,通过高精度伺服电机驱动移动工作台在基座上平稳的运行,最终实现高精度动态同步采集激光干涉数据和线位移传感数据,数据准确、可靠、公正,提高校准效率。本文课题研究方向包含硬件设计和软件编制两部分。硬件包含:购置高精度双频激光干涉仪、双通道温度测温仪、气压、湿度一体化测量仪、数字多用表、设计大理石工作台、设计气浮导轨工作台和安装夹具等,通过通讯协议串口,实现高精度、高密度点、全自动采集激光干涉仪数据和线位移传感器数据。软件部分:以软件开发环境为Microsoft Visual Studio 2010,基于C#编程语言开发,对波长设置、运动台控制、采样间隔设置、数据保存等进行定义,从而实现指令下达控制设备运行动态采集数据。与传统的手工校准手段相比,本文课题研究的校准装置具有自动采集功能,操作简单、可靠性高、测量效率高,可以实现在测量范围:(0~1000)mm内,精度可达0.02μm+1.0×10~(-6)L(k=2)(L:mm)。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TP212

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【参考文献】
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