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微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究

庞济  
【摘要】: 电容式传感器具有结构简单、灵敏度高,动态特性好、对辐射和 强烈振动等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点。但是,电容 式传感器生产时电容引线困难、输出信号受干扰和温度影响较大、输 出特性存在非线性等问题制约了电容式传感器的生产及应用。 本课题中研制了一种新型微机械加工传感器,解决了引线封装问 题;设计了一种信号调理电路,解决了微小电容变化量的精密检测和 信号放大问题;同时用单片机实现了输出信号的温度和非线性的软件 补偿。


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