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《大连理工大学》 2000年
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高压脉冲电晕放电N_2、N_2+O_2等离子体的分子束质谱诊断研究

唐书凯  
【摘要】: 以具有三级差分抽气系统的分子束质谱为检测手段,通过加强仪器 的接地和屏蔽保护,并采用数字示波器强大的累加平均功能消除强烈的 电磁干扰从而提高信噪比,对线板式高压脉冲电晕放电N_2等离子体和 N_2+O_2等离子体阴极板区的正离子成份进行了诊断研究。实验结果表明: 1)两种消除强电磁干扰的措施保障了四极质谱仪的正常运行并明显提 高了信号的信噪比,证明由纳秒级高压脉冲产生的强电磁干扰是可以克 服的。2)对于高压脉冲电晕放电N_2等离子体,在放电反应室N_2压力 (10-25)×133Pa,峰值电压4-10kV及放电重复频率10-100Hz范围内, N~+流强大于N_2~+流强2-8倍,N~+及N_2~+流强随脉冲峰值电压、放电重复频 率升高而增大,随放电气压变化则存在一极值。3)对于高压脉冲电晕 放电N_2+O_2等离子体,在放电反应室N_2压力(10-25)×133Pa,峰值电 压4-10kV及放电重复频率10-100Hz范围内,N~+流强约为N_2~+或O~+流强 的1-10倍,N_2~+和O~+流强基本相当,没有检测到O_2~+。N~+、N_2~+和O~+流强 随脉冲峰值电压、放电重复频率的升高而增大,放电气压的影响则存在 一极值。在对该体系进行实验研究的同时进行了初步模拟计算,模拟结 果和实验结果一致。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2000
【分类号】:TH843

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【引证文献】
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