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《大连理工大学》 2000年
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介质薄膜热导率测试研究

胡靖  
【摘要】: 热导率是表征物质导热能力的参数。传统方法都是根据Fourier定律 来测量热导率,但在测量中由于受黑体辐射影响,导致测量的热导率值 产生误差;此外,由于对于厚度较薄的薄膜样品,温度梯度和热通量矢 量都很难准确测出,所以传统的方法已不适用于介质薄膜热导率的测 量,本文采用了3ω法。 3ω法可广泛用于各种材料,不同厚度薄膜垂直于热流方向热导率 的测量,能有效降低黑体辐射对热导率测量影响,此外,相对其它方法 的烦琐的数学公式和复杂的实验装置,该方法实验装置简单,能比较容 易准确地得出材料的热导率。 本文首先讨论微尺度热传导的基本概念,然后给出3ω法的基本原 理和测量装置,再根据该方法对不同材料、不同厚度薄膜热导率进行测 量;最后,根据微尺度理论的基本概念以及热附加边界热阻抗模型,对 测量结果进行分析,进而得出热导率与材料膜厚的关系。 本论文是国家自然科学基金重大项目《微传感器中微尺度热特性的 研究》的一部分。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2000
【分类号】:O484.5

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