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扫描探针显微镜的研究及应用

胡永康  
【摘要】: 原子力显微镜(AFM)是新一代的扫描探针显微镜(SPM), 不仅可适用于导体、半导体、绝缘体样品,并且不受样品是否 具周期性的限制;还可适用于各种环境,特别是各种液体环 境。本文详细阐述了原子力显微镜的基本概念和基本原理,对 原子力显微镜的系统结构进行了详尽的介绍,并用AFM系统研 究了在 SiO_2衬底上生长 GaN缓冲层的工艺。 光子扫描隧道显微镜(PSTM)是另一种扫描探针显微镜, 它可测样品的折射率,而且适合于激光微切割生物样品方面的 应用。所以研究集成原子力显微镜和光子扫描隧道显微镜与一 体的扫描探针显微镜“ AFM/PSTM”具有非常重要的意义。


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