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《大连理工大学》 2002年
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掺铒光波导薄膜的制备与特性研究

高菘  
【摘要】: 随着光纤通信和集成光电子学的发展,人们越来越多的关注掺铒光波导放大器的研究。光波导放大器的开发需要光波导薄膜材料的研制。 本文探讨了Er~(3+)-SiOx光波导薄膜制备的离子束增强沉积工艺和Er~(3+)-SiO_2、Er~(3+)-Al_2O_3薄膜制备的电子束蒸发工艺。 对离子束增强沉积工艺制备的薄膜,采用RBS、EDX和XRD进行成分分析和微观结构分析,测定了薄膜在1535nm处的光致荧光,总结了薄膜的特性和性能与制备工艺的关系。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:O484.41

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 尹洪杰;Yb:Er共掺材料光致发光特性理论与应用研究[D];辽宁师范大学;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田跃生;;溅射环境下影响硅薄膜晶化的因素[J];表面技术;2011年03期
2 付亚波;陈强;张跃飞;张广秋;;用CF_4等离子体制备无水胶印版材斥墨层[J];北京印刷学院学报;2006年01期
3 岳蕾;周美丽;付亚波;霍纯青;陈强;;生物功能材料PEO的制备及其发展方向[J];北京印刷学院学报;2007年04期
4 岳蕾;谢芬艳;陈强;翁静;;射频等离子体聚合类聚乙烯氧抗菌功能材料的研究[J];包装工程;2007年08期
5 谢芬艳;胡文娟;陈强;翁静;;DBD等离子体制备类-PEO生物功能薄膜及其生物相容性研究[J];包装工程;2008年01期
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7 黎刚,杨海强,王俊,崔明启;Mo沉积成膜质量与磁控溅射条件间关系的STM研究[J];电子显微学报;1997年04期
8 胡征;等离子体化学基础[J];化工时刊;2000年08期
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1 胡文娟;谢芬艳;付亚波;陈强;翁静;;RF-PECVD聚合类聚乙烯氧(PEO-like)薄膜的蛋白质吸附性研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
2 谢芬艳;胡文娟;翁静;陈强;;等离子体聚合胺基功能薄膜及其细胞吸附性研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
3 岳蕾;谢芬艳;陈强;翁静;;射频等离子体聚合类聚乙烯氧抗菌功能材料的研究[A];第十一届全国包装工程学术会议论文集(一)[C];2007年
4 张受业;王正铎;陈强;刘忠伟;刘福平;;磁增强等离子体化学气相沉积法Roll-to-Roll制备SiOx高阻隔薄膜[A];第十三届全国包装工程学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 宋雪梅;化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究[D];北京工业大学;2003年
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8 刘艳红;介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
9 齐雪莲;会切场约束ICP增强非平衡磁控溅射放电及应用研究[D];大连理工大学;2008年
10 吴晓晨;等离子体辅助模板沉积纳米点阵的数值模拟研究[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
2 袁渊明;磁约束磁控溅射源的关键技术研究[D];西安工业大学;2011年
3 张娇;脉冲调制射频容性耦合SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱诊断[D];大连理工大学;2011年
4 曹智雄;空间粉尘高速撞击光学玻璃及PET等离子体和发光效应研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
6 俞波;硅基薄膜材料的发光特性[D];汕头大学;2002年
7 刘维;CVD制备碳基宽带隙半导体材料及其特性研究[D];北京工业大学;2003年
8 庞华;连续和脉冲射频PCVD制备低表面能薄膜的研究[D];北京印刷学院;2004年
9 王国菊;CVD制备碳基材料及其特性研究[D];北京工业大学;2004年
10 罗飞;用激光沉积法在金刚石颗粒表面制备金属薄膜[D];华中科技大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田招兵;张永刚;李爱珍;顾溢;;气态源分子束外延8元In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP光伏探测器阵列[J];半导体光电;2006年05期
2 陈维德,梁建军,王永谦;掺铒a-Si∶H,O薄膜1.54μm光致发光和微结构[J];半导体学报;2000年10期
3 邓文渊,张家骅,马少杰,孔祥贵,宋宏伟,许武;a-SiN_xO_y∶Er~(3+)薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年04期
4 雷红兵,杨沁清,王启明,周必忠,肖方方,吴名枋;离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究[J];半导体学报;1998年05期
5 雷红兵,杨沁清,朱家廉,王红杰,高俊华,王启明;掺铒富硅氧化硅薄膜的光致发光[J];半导体学报;1999年01期
6 谢凤宽;陈晓磊;庄书娟;李超;;液相沉积法表面包覆改性纳米陶瓷微粒及机理研究进展[J];材料导报;2006年S1期
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8 洪自若,梁春军,赵丹,李锐钢,李文连;铒配合物的红外有机电致发光[J];发光学报;2000年03期
9 毛艳丽,邓佩珍,干福熹,戴世勋,杨海峰,沈文忠;掺镱磷酸盐玻璃的光谱特性[J];发光学报;2002年02期
10 杨建虎,戴世勋,李顺光,胡丽丽,姜中宏;掺铒碲酸盐玻璃的光谱性质和能量传递[J];发光学报;2002年05期
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2 李成仁;掺铒Al_2O_3薄膜制备工艺、光波导增益特性的理论与实验研究[D];大连理工大学;2004年
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2 李建勇;镱铒共掺光波导材料发光特性研究及放大器优化设计[D];大连理工大学;2006年
【二级引证文献】
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2 闫玲玲;稀土掺杂温敏漆的制备及温度猝灭性能研究[D];长春理工大学;2012年
3 过靖;Er:YbGG与YbGG激光材料的制备及其光谱性能的研究[D];长春理工大学;2012年
4 李晶晶;试验优化设计制备稀土掺杂钼酸盐上转换荧光粉的研究[D];大连海事大学;2013年
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6 刘丹敏;刘星;吉元;周美玲;;{011}<uvw>取向银基带的再结晶织构研究[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
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8 魏征;氧化锡系低辐射薄膜玻璃的制备及性能研究[D];西安理工大学;2006年
9 王刚;柔性薄膜涂敷装置运动控制系统研究与设计[D];武汉理工大学;2010年
10 郜展;ZnO薄膜的合成与特性的研究[D];北京交通大学;2011年
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