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《大连理工大学》 2003年
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应用于微机电系统上的类金刚石膜制备

马国佳  
【摘要】: 本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜(工作气体为甲烷)的方法,并将两种方法相结合制备了性能良好(表面形貌光滑、膜基结合力强)的类金刚石膜,这种方法在世界上是一种新颖的制备手段,论文也描述了设备控制原理,分析了类金刚石成膜机理,并对所制备的薄膜采用拉曼光谱、傅立叶红外透射谱、原子力显微镜等方法进行了研究。 研究结果表明: (1)用全方位离子注入技术能够制备出类金刚石膜。在全方位离子注入技术中,不同的偏压、频率、气体流量都对薄膜中sp~3键比例有所影响,文中对具体的影响进行了分析,发现偏压增加、频率降低和适中的气体流量可以制备出含sp~3键较多的类金刚石膜;同时发现用全方位离子注入技术制备的类金刚石膜含有大量的SiC成份,这对薄膜的性能(例如硬度)影响很大;用全方位离子注入制备的薄膜其结合力得到增强,但薄膜的表面形貌差。 (2)用等离子体增强化学气象沉积技术也能制备类金刚石膜。优点是用这种方法制备的薄膜表面形貌得到了一定的改善,但内应力较大,通过加入适量的氮气可以改善一些。 (3)通过全方位离子注入和等离子体增强化学气相沉积相结合,发现制备出的类金刚石薄膜既改善了表面形貌又增强了结合力,因此证明了这是一种较好的制备方法。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:O484

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 何洋洋;张贵锋;李国卿;侯晓多;李春燕;姜辛;;液相法电沉积类金刚石薄膜的结构分析[J];电子显微学报;2007年05期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 刘成龙;医用金属材料表面惰性涂层改性研究[D];大连理工大学;2006年
2 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
3 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
4 李明;利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究[D];东北大学;2008年
5 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
6 凌晓;碳基薄膜的摩擦学性能及应用研究[D];兰州理工大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 杜景永;液相电化学沉积超硬碳膜[D];大连理工大学;2006年
2 刘喜亮;NiTi合金等离子体表面改性技术制备生物医用薄膜研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
3 何洋洋;液相电化学沉积无定形金刚石薄膜[D];大连理工大学;2008年
4 张鹏;聚酰亚胺基碳膜的制备及其等离子镀制类金刚石薄膜的研究[D];北京化工大学;2008年
5 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
6 牛芳;Si,Ni,Ti掺杂类金刚石薄膜的制备及摩擦学性能研究[D];河南大学;2013年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏;直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J];半导体光电;1999年06期
2 徐军,邓新绿,张家良,陆文棋,马腾才;双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术[J];大连理工大学学报;2001年03期
3 程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮,谢长生,孙育斌;类金刚石膜结构的红外分析[J];硅酸盐学报;1998年04期
4 刘仲阳,孙官清,张大忠,陈剑宣,钟光武;电子回旋共振等离子体源的特性[J];核技术;2000年10期
5 石瑞英,杜开瑛,谢茂浓,张敏,廖伟;衬底材料对直接光化学汽相淀积类金刚石碳膜成膜初期的影响[J];四川大学学报(自然科学版);1999年01期
6 居建华,夏义本,张伟丽,王林军,史为民,黄志明,李志锋,郑国珍,汤定元;氮对类金刚石薄膜的微观结构内应力与附着力的影响[J];物理学报;2000年11期
7 谢存毅;纳米压痕技术在材料科学中的应用[J];物理;2001年07期
8 李刘合,夏立芳;阴极弧离子镀磁过滤器[J];真空;1999年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张明高,谢茂浓,郑光平;直接光CVDSiO_2膜的沉积动力学[J];半导体光电;2000年01期
2 张俊宝;杨晓萍;王秀芳;史弼;宋洪伟;;精细退火GCr15钢各相微观组织纳米压痕表征[J];宝钢技术;2008年02期
3 朱建勇,李力,柴欣,董学斌;微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜[J];玻璃与搪瓷;2002年05期
4 孙洪福,汤华娟,王承遇,陶瑛,邓新绿;用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积法在玻璃上镀膜[J];玻璃与搪瓷;2004年02期
5 陈灵,刘正义,邱万奇,黄元盛;类金刚石膜的制备及其影响因素[J];中国表面工程;2002年01期
6 董世运,徐滨士,Beake B D,朱胜,胡振峰,王红美;纳米硬度计测定电刷镀纳米颗粒复合镀层的弹性模量[J];中国表面工程;2003年04期
7 王瑜,张广秋,葛袁静,陈强;类金钢石膜的性能、制备及在印刷包装领域的应用[J];北京印刷学院学报;2004年04期
8 张跃飞,张广秋,葛袁静,陈光良,王瑜;射频等离子体沉积非晶碳氢薄膜及其阻隔性能[J];包装工程;2004年04期
9 桑利军;陈强;;ECR-RF双功率源等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜的研究[J];包装工程;2008年10期
10 付亚波;桑立军;常龙龙;许文才;;DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征[J];包装工程;2008年12期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 邓静;吴兰鹰;;光驱头悬丝的结构成分和力学性能分析[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
2 孙洪福;汤华娟;王承遇;陶瑛;邓新绿;;用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积法在玻璃上镀膜[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
3 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
4 阴生毅;张永清;陈光华;;MWECR-CVD系统新型磁场结构的研究[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
5 金杰;过骐千;徐志潜;李刘合;;模拟等离子体在方形90°弯曲磁过滤器内传输[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
6 张锡义;涂苏龙;樊康旗;;纳米接触问题的连续方法建模与计算[A];第七届青年学术会议论文集[C];2005年
7 杨帆;徐滨士;王海斗;朱丽娜;;应用于表面涂层纳米压痕试验数据的可视化算法[A];第八届全国表面工程学术会议暨第三届青年表面工程学术论坛论文集(二)[C];2010年
8 李华一;李国禄;王海斗;徐滨士;;纳米压痕技术在涂层性能检测中的应用[A];第八届全国表面工程学术会议暨第三届青年表面工程学术论坛论文集(二)[C];2010年
9 李景;田修波;巩春志;杨士勤;;聚酯筒内表面DLC薄膜组成、性能及失效行为研究[A];第八届全国表面工程学术会议暨第三届青年表面工程学术论坛论文集(三)[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张双燕;化学成分对木材细胞壁力学性能影响的研究[D];中国林业科学研究院;2011年
2 李景;聚酯圆筒内表面阻隔DLC薄膜制备及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 韩宪越;新型CaB_4晶体的生长与物理性质研究[D];燕山大学;2011年
4 余雁;人工林杉木管胞的纵向力学性质及其主要影响因子研究[D];中国林业科学研究院;2003年
5 刘传胜;氮化碳纳米复合涂层摩擦磨损和耐水蚀研究[D];武汉大学;2004年
6 郭颖杰;哺乳动物角蛋白材料力学及摩擦学行为研究[D];吉林大学;2005年
7 刘立华;硼碳氮薄膜的制备及性质研究[D];吉林大学;2006年
8 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
9 高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
10 安涛;TiN/SiN_x纳米多层膜的制备、表征及其断裂行为研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王建军;镍钛合金堵闭器钽镀层的制备与性能研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 管昌雨;反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜[D];大连理工大学;2010年
3 刘鑫;PVD制备超硬多层复合薄膜材料工艺与性能研究[D];长春工业大学;2010年
4 马敏伟;金属薄膜流变力学性能研究[D];中南林业科技大学;2009年
5 汪华磊;脉冲阴极弧电源的设计[D];东华大学;2011年
6 李国锋;偏压对超薄DLC保护膜结构和热稳定性的影响[D];华南理工大学;2011年
7 郑直;HF酸刻蚀熔石英材料研究[D];电子科技大学;2011年
8 王洪友;仿生法制备磷灰石及其应用性研究[D];山东大学;2011年
9 郐晛;铝合金类金刚石多层薄膜表面改性及其机械性能研究[D];西南交通大学;2011年
10 程献宝;初期褐腐对杉木宏观和组织力学性能的影响[D];中国林业科学研究院;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘声雷,郑惟彬;DLC膜化工设备防腐材料的研究[J];安徽化工;1999年06期
2 杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏;直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J];半导体光电;1999年06期
3 张伟丽,夏义本,居建华,王林军,方志军,张明龙;不同掺氮量的类金刚石薄膜的电导性能[J];半导体光电;2003年01期
4 周宏,赖建军,赵悦,柯才军,张坤,易新建;SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究[J];半导体技术;2005年06期
5 余国彬,姚汉民,胡松,陈兴俊;深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用[J];微纳电子技术;2002年04期
6 李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐;脉冲激光MEMS加工技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
7 张海霞,张泰华,郇勇;纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 李和委;硅的湿法化学腐蚀机理[J];半导体情报;1997年02期
9 张国炳,郝一龙,田大宇,刘诗美,王铁松,武国英;多晶硅薄膜应力特性研究[J];半导体学报;1999年06期
10 唐任寰;论生物体内的生物元素图谱[J];北京大学学报(自然科学版);1996年06期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
3 蒋书文;钛合金基类金刚石梯度薄膜材料制备及其生物摩擦学性能和血液相容性的研究[D];四川大学;2002年
4 崔振铎;生物医学用镍钛形状记忆合金激光表面改性的研究[D];天津大学;2003年
5 沈大可;新颖液晶光阀及紫外光电二极管阵列的研究[D];浙江大学;2003年
6 沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
7 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
8 何智兵;有机/无机多层复合膜的制备及光电性能研究[D];浙江大学;2004年
9 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
10 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑芳;脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究[D];河北大学;2000年
2 陈俊英;CH4/H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究[D];河北大学;2000年
3 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
4 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
5 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
6 李敬财;真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究[D];广东工业大学;2004年
7 张茹芝;氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究[D];大连理工大学;2004年
8 刘成龙;医用316L不锈钢表面类金刚石薄膜改性研究[D];大连理工大学;2004年
9 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
10 陈光良;高阻隔非晶炭氢膜制备及性能研究[D];北京印刷学院;2004年
【二级引证文献】
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1 李德伟;蔡微;商广义;朱传凤;姚骏恩;;多种形貌纳米银的电化学制备及其表面增强拉曼光谱研究[J];电子显微学报;2011年01期
2 杨玉卫;杨坚;古宏伟;刘慧舟;张华;金薇;;类金刚石膜的性能、制备及其应用[J];硅酸盐通报;2008年01期
3 郑锦华;李聪慧;张冲;晁云峰;;不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性[J];光学精密工程;2013年06期
4 李明;蔺增;巴德纯;张海鸣;;不锈钢基体预处理对合成类金刚石碳膜的影响[J];真空;2006年05期
5 陈胜龙;杨建广;高亮;刘小文;吴玉山;杨济豪;;“牺牲”阳极法直接电化学合成5-二乙基胺钽[J];中南大学学报(自然科学版);2011年11期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 张洪亮;几种光电材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2011年
2 李喆;表面等离子体增强碳基薄膜发光性能[D];浙江大学;2012年
3 信运昌;医用镁合金在生理环境中降解机理及其表面改性研究[D];清华大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郑越青;箔片轴承固体润滑用类金刚石薄膜的设计、制备和性能研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 李玮玮;RF-PECVD法制备碳纳米管的工艺研究[D];天津理工大学;2010年
3 盛松科;PECVD多功能沉积系统制备氢化非晶硅、碳薄膜的工艺研究[D];大连理工大学;2011年
4 陈胜龙;电化学合成五—二乙基胺钽研究[D];中南大学;2011年
5 吴云峰;生物可降解肝素涂层的制备及其性能研究[D];大连理工大学;2007年
6 刘兴华;高光洁度类金刚石碳膜的制备与性能研究[D];重庆大学;2008年
7 蔡言凯;泵体柱塞表面涂层技术研究[D];长春理工大学;2009年
8 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
9 尚旭敬;熔盐中不锈钢表面电化学沉积碳膜[D];东北大学;2011年
10 李扬;阴极模式/阳极模式制备无定型碳膜[D];大连理工大学;2013年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 杜开瑛;用真空紫外光直接光CVD法进行a-Si膜的快速生长[J];半导体学报;1988年03期
2 杜开英,陈义;真空紫外光直接光CVD法低温生长SiO_2薄膜及其性质[J];半导体学报;1995年04期
3 袁镇海,邓其森,罗广南,谢致薇,郑健红;类金刚石膜的制备、性能和应用[J];材料科学与工程;1994年04期
【相似文献】
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1 程世昌,张辉,付德君;类金刚石膜的制备及其物理性质[J];真空科学与技术;1987年05期
2 王益军,严诚;RFCVD法沉积类金刚石膜的研究[J];咸阳师范专科学校学报;1999年06期
3 邹友生,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时;气体介质对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响[J];人工晶体学报;2003年06期
4 杨伟毅;类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究[J];真空科学与技术;1992年06期
5 刘心田,刘兴海,陆惠秀,余榕,汤定元,余丙鲲;YBCO 膜上形成类金刚石膜研究[J];上海交通大学学报;1997年10期
6 卫中山,左敦稳;类金刚石膜的制备及应用[J];航空精密制造技术;2004年01期
7 袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强;真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究[J];广东有色金属学报;1997年02期
8 徐均琪,刘梦夏,弥谦;确定薄膜光学常数的一种新方法[J];应用光学;2001年03期
9 王雪敏;吴卫东;李盛印;白黎;唐永建;王锋;;类金刚石膜在ICF研究中的潜在应用[J];激光与光电子学进展;2009年01期
10 姚合宝,贺庆丽,徐蓉,于明湘;KCl透镜上的类金刚石碳膜红外透射特性研究[J];光子学报;2002年09期
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1 郭延龙;王淑云;杨雪;朱孟真;程勇;王会升;;掺硅类金刚石膜的研究进展[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 刘璨;兰惠清;王洋;;含硅类金刚石膜的研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
3 洪伟;宋洪君;季一勤;李谨;;类金刚石膜的应用和发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 郭延龙;陆益敏;吴杰;黄国俊;王淑云;程勇;王会升;万强;;激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 俞世吉;;感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
6 杨云志;冉均国;郑昌琼;;磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的结构特征[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
7 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
8 俞世吉;丁振峰;马腾才;;沉积气氛对ICPECVD制备硬质类金刚石膜的影响[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
9 周灵平;李绍禄;黄桂芳;李德意;朱启良;;钢表面离子束类金刚石涂层耐磨耐蚀性能[A];第四届全国表面工程学术交流大会论文集[C];2001年
10 杨莉;陈强;;PECVD法沉积类金刚石膜的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘艳红;介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
3 尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
4 王静;铜基体上Ti/Ti_xC_y/DLC功能梯度材料的制备及性能的研究[D];大连理工大学;2009年
5 李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
6 沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
7 刘敏;等离子表面改性技术在刀具材料中的应用[D];中国科学技术大学;2012年
8 黄世友;类金刚石膜应用于正畸托槽及弓丝生物学及摩擦性能的实验研究[D];第四军医大学;2013年
9 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
10 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
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1 毛羽宏;剃须刀片刃口上镀类金刚石膜的实验研究[D];东北大学;2008年
2 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
3 于玥;用PECVD制备类金刚石膜的研究[D];长春理工大学;2010年
4 李建;He(或Ar)+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究[D];大连理工大学;2004年
5 王凤;聚碳酸酯(PC)上沉积类金刚石膜的性能研究[D];东北大学;2008年
6 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
7 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
8 刘璨;含硅类金刚石膜的力学性能研究[D];北京交通大学;2011年
9 郭武超;物理气相沉积DLC和TiN系列超硬膜的研究[D];中南大学;2004年
10 陈小锰;硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断[D];大连理工大学;2005年
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