收藏本站
《大连理工大学》 2004年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究

张茹芝  
【摘要】:本文尝试了以CHF_3、CH_4/CHF_3和C_2H_2/CHF_3为源气体,利用微波ECR等离子体源离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备氟化类金刚石膜的方法,并对DLC薄膜和FDLC薄膜的结构和性能进行了分析和比较。 研究了源气体的种类及流量比、微波功率、高压脉冲宽度、工作时间、工作温度、沉积偏压和不同基体等工艺参数对薄膜的结构和性能的影响,在此基础上,将PSⅡ和CVD两种工艺相结合,选择CH_4/CHF_3为源气体,同时采用等离子体源离子注入技术,以CH_4为源气体,制备类金刚石膜作为薄膜与不锈钢基体之间的过渡层,制备了综合性能良好的氟化类金刚石膜,这种工艺是相对最优的制备氟化类金刚石膜的方法。 论文采用傅立叶变换红外吸收光谱、拉曼光谱、俄歇电子光谱、电子能谱和原子力显微镜等方法对所制备薄膜的结构和表面形貌进行了分析,分析结果表明:(1)实验所得的氟化类金刚石薄膜是非晶态膜,具有典型的类金刚石结构,表面粗糙度要低于类金刚石膜。(2)氟化类金刚石膜主要由-CH,-CH_2,-CF,-CF_2,-CF_3及少量的C=C、-CF_x组成。(3)源气体种类和流量不同,制备的薄膜结构不同。(4)不锈钢基体上制备的薄膜内部F浓度最大,而硅片上制备的薄膜表面F浓度最大。 论文还通过测量薄膜与水的接触角来研究薄膜的憎水性能;用划痕法、摩擦磨损测试对薄膜结合力进行评估;通过动电位扫描法测极化曲线法来考察薄膜的耐蚀性能。研究结果表明:(1)CH_4/CHF_3流量比为1:3时,薄膜接触角最大,远远高于同流量比下C_2H_2/CHF_3制备的薄膜的接触角;薄膜的接触角还随着微波功率、高压脉冲宽度、沉积偏压、工作时间的增大和基体温度的降低而增大。(2)氟化类金刚石膜具有结合力强、硬度高、耐蚀性能好的优点。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TQ164

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张怀;赵纪峥;张景利;;碳酰氟的制备研究进展[J];化学推进剂与高分子材料;2011年04期
2 ;2011年1~4月部分化工矿产品累计进出口情况[J];化工矿物与加工;2011年07期
3 ;2011年1~5月部分化工矿产品累计进出口情况[J];化工矿物与加工;2011年08期
4 ;2011年1~6月部分化工矿产品累计进出口情况[J];化工矿物与加工;2011年09期
5 石慧英;李晓燕;荆彬;侯晓伟;熊兴泉;程琳;;用于选择性检测氟离子的新型含氟聚二氮杂萘酮醚噁二唑合成(英文)[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2011年02期
6 秦九红;;燃料电池用质子交换膜的选择[J];河南化工;2011年09期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘贵昌;王立达;张茹芝;邓新绿;;PSⅡ+PECVD制备氟化类金刚石膜的结构和性能研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
2 汪新智;朱嘉琦;何玉荣;王天宇;胡彦伟;刘星;;类金刚石应用于非晶硅薄膜太阳电池的研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第6分册)[C];2010年
3 刘灰礼;史迅;陈立东;;CuInSe_2新型类金刚石结构化合物的热电性能研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 郭延龙;陆益敏;吴杰;黄国俊;王淑云;程勇;王会升;万强;;硫化锌衬底类金刚石复合增透保护膜系制备研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 王旭;陈一;张鹏;罗龙波;庞雨微;刘向阳;;直接氟化对PI-C6BB型聚酰亚胺薄膜性能的影响研究[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
6 温斌;李廷举;张兴国;董闯;姚山;曹志强;王德和;季首华;金俊泽;;碳黑催化法制备纳米新金刚石的研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
7 杨经绥;白文吉;方青松;颜秉刚;;锇铱矿中发现金刚石:来自地幔深部的矿物[A];中国矿物岩石地球化学学会第十届学术年会论文集[C];2005年
8 刘金章;闫鹏勋;;低压电化学沉积类金刚石[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9 刘金章;闫鹏勋;;低压电化学沉积类金刚石[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
10 江晓红;陆路德;杨绪杰;汪信;Struk V.A.;Skaskevich A.A.;;纳米类金刚石聚合物基复合材料的力学和摩擦学性能[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 张林霞;一个氟化厂毁了一片完园[N];中国环境报;2000年
2 本报记者 陈建平;发挥萤石资源优势 做大做强氟化工业[N];郴州日报;2009年
3 张永闻 施黎明;巨化氟化公司完成排污管网改造[N];中国化工报;2010年
4 王江;智用爆炸造“金刚”[N];科技日报;2004年
5 李峻;氟化公司用新技术节能治污[N];中国化工报;2007年
6 胜华;氟化有机硅树脂涂料[N];科技日报;2005年
7 张林霞;德安氟化总厂所有污染物竟直接排放[N];中国化工报;2000年
8 张永闻;巨化股份氟化铁腕治尾气[N];中国企业报;2008年
9 刘国杰 李嘉 罗洋;氟化有机硅树脂涂料开发动向[N];中国化工报;2005年
10 樊华 周洁;空调无氟化进入倒计时[N];江苏经济报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谭鸿;新型生物医用聚氨酯的合成、结构与性能研究[D];四川大学;2004年
2 蒋书文;钛合金基类金刚石梯度薄膜材料制备及其生物摩擦学性能和血液相容性的研究[D];四川大学;2002年
3 张颖;氟化物对骨形成中成骨细胞影响的实验研究[D];中国医科大学;2003年
4 王哲;氟化物对人体胸椎黄韧带骨化的细胞学行为特性的影响及相关实验研究[D];第四军医大学;2002年
5 苗收谋;强流脉冲离子束辐照材料表面烧蚀作用研究[D];大连理工大学;2006年
6 程小芳;提高三氧化钨和二氧化钛光(电)催化活性的研究[D];浙江大学;2008年
7 齐庆杰;煤中氟赋存形态、燃烧转化与污染控制的基础和试验研究[D];浙江大学;2002年
8 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
9 罗军;微波促进卤素交换氟化反应研究[D];南京理工大学;2003年
10 姜锋;Al-Mg-Sc中间合金制备及其应用研究[D];中南大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张茹芝;氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究[D];大连理工大学;2004年
2 杨祥宇;2,3,5-三氯吡啶及2,3-二氟-5-氯吡啶的合成研究[D];天津大学;2003年
3 路丹花;溶剂热电化学合成类金刚石物质[D];山东大学;2010年
4 姚志强;氟化非晶态碳膜的制备及其性能研究[D];西南交通大学;2004年
5 朱昞;天然药物五倍子与氟化物防龋效果的比较研究[D];四川大学;2003年
6 王敬;氟化微量元素防龋作用的实验研究[D];第四军医大学;2004年
7 张文革;五氟丙烷合成研究[D];浙江大学;2004年
8 郐晛;铝合金类金刚石多层薄膜表面改性及其机械性能研究[D];西南交通大学;2011年
9 杨涛;含氟类金刚石薄膜制备及其摩擦学性能研究[D];兰州理工大学;2012年
10 李雪刚;N-硝基苯基脲衍生物的合成及其初步生物活性测定[D];华中农业大学;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026