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《大连理工大学》 2004年
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大气压等离子体射流的产生机理

李德君  
【摘要】:本文首先回顾了各种能够产生大体积、高气压非平衡等离子体源的方法,以及正在高速发展的大气压非平衡等离子体源。着重介绍了一种大气压非平衡等离子体源——等离子体射流的发展过程。建立一个大气压下非平衡等离子体放电的理论模型,来研究大气压等离子子体射流内部的电子和离子的空间和时间分布。这个理论模型主要是由电子离子的连续性方程和等离子体空间内泊松方程构成的。本文采用差分的方法来解这组方程,而对积累在介质阻挡层上的面电荷密度,这里采用一个均匀分布的体电荷密度来代替。结果,计算了不同的电源频率和电压下,等离子体内部电子和离子随着时间和空间演化规律。 在实验上分析和比较了不同的放电气流、不同的放电气体、不同的放电电压以及不同的外电极和不同的放电电源频率下的所得到的放电现象。和理论模拟的结果相比较得出的主要结论为:高频电源放电达到平衡时产生的等离子体密度分布是非常不均匀的,并且这个密度分布和初始的本底密度大小无关,但是增加电源电压可以提高等离子体密度,然而密度的增加幅度并不明显。射频电源放电需要一个比较高的本底密度(本底密度过低不能够形成自持放电),达到放电平衡时产生的等离子子体密度分布比较均匀,增加电源电压可以显著的提高等离子体密度。放电气体的流动对放电有增强作用。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:O539

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