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高Q值音叉调制近场光学扫描显微镜研究

高明  
【摘要】:近场光学显微镜日益成为纳米检测中一种重要的手段,而使用非光学方法进行针尖样品之间距离调制成为一个热点问题。使用石英调音音叉作为驱动光纤尖的力敏感器由于具有高Q值,制造成本低,仪器结构简单,灵敏度高等优点,成为非光学调制中一种重要的方法之一。本文围绕音叉调制的原子力/近场光学显微镜(AF/PSTM)的仪器设计,详细讨论了音叉驱动的近场光学扫描显微镜原理,高Q值调音音叉/光纤尖力敏感元件设计,振幅反馈音叉驱动系统设计,并讨论了适用于所有扫描近场显微镜的针尖尺度对成像影响问题。


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