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《大连理工大学》 2008年
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液相电化学沉积无定形金刚石薄膜

何洋洋  
【摘要】: 采用脉冲直流电源,以甲醇-添加剂混合溶液作为电解液,低温(50~60℃)常压条件下,在(100)单晶Si片上沉积了无定形金刚石薄膜。利用扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,利用拉曼光谱和透射电镜分析薄膜的结构,利用CERT微摩擦系统和纳米压痕仪测试薄膜的力学性能。 以去离子水作为添加剂,与甲醇配制成不同比例的电解液。在其它实验参数相同的情况下,去离子水含量越高,电流密度越大,成膜速度越快。沉积速率可达0.5μm/h,2 h即可获得连续致密的薄膜。薄膜不溶于乙醇、丙酮等有机溶剂,表现出良好的化学惰性。薄膜表面光滑,由球形颗粒组成,去离子水含量越高,颗粒尺寸越大。各薄膜的拉曼光谱均在1332 cm~(-1)附近出现金刚石特征峰,说明薄膜主要由金刚石微晶组成;在1596 cm~(-1)附近存在石墨特征峰,说明薄膜中含有一定量的石墨结构。当甲醇与去离子水的比例为1∶5时,薄膜中金刚石相含量最高结晶性最好,并且表现出良好的耐磨性和膜基结合强度。 在前述各比例的甲醇-去离子水混合溶液基础上加入等量的第二种添加剂六甲基二硅氧烷(C_6H_(18)OSi_2),其它实验参数不变。沉积速率略有降低,但是2 h亦可获得连续致密的薄膜,薄膜不溶于乙醇、丙酮等有机溶剂,表现出良好的化学惰性。薄膜由直径约100 nm的球形颗粒组成,表面平整光滑,粗糙度很小。各薄膜的拉曼光谱均在1332 cm~(-1)附近出现金刚石特征峰,说明薄膜主要由金刚石微晶组成;在1596 cm~(-1)附近存在石墨特征峰,说明薄膜中含有一定量的石墨结构。在甲醇与去离子水比例为1∶5的溶液中加入C_6H_(18)OSi_2后,其1331 cm~(-1)的金刚石特征峰强度增加并且半高宽减小,表明薄膜中金刚石相含量更高结晶性更好。电子衍射谱的分析结果表明薄膜中含有金刚石相和石墨相。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TB383.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张海霞,张泰华,郇勇;纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 江河清,张治军,徐洮,刘维民;液相电沉积类金刚石薄膜的研究进展[J];表面技术;2004年02期
3 黄桂芳,周灵平,李绍禄,李德意,李学谦,朱启良,王锦辉,李国希;离子束沉积类金刚石膜对钢在NaCl溶液中耐蚀性能的影响[J];材料保护;2000年06期
4 苏堤,陈本敬;金刚石薄膜的应用[J];材料导报;1995年05期
5 阎兴斌,徐洮,王博,杨生荣;电化学沉积DLC膜及其表征[J];材料科学与工程学报;2003年05期
6 阎兴斌,徐洮,杨生荣,陈淼;电化学沉积DLC薄膜的AFM研究[J];电子显微学报;2002年05期
7 毕京锋,付强,石玉龙;等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究[J];功能材料;2005年07期
8 王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;傅朝坤;李克林;康志成;;金刚石薄膜生长速度研究[J];功能材料与器件学报;2005年04期
9 张贵锋;新型红外增透膜与保护膜[J];红外技术;1995年05期
10 郭静;汪浩;严辉;;液相电化学沉积类金刚石薄膜的研究进展[J];化学通报;2007年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
2 刘刚;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];辽宁工程技术大学;2006年
3 郭建成;AFM在膜科学中的应用及Pico Plus AFM实验操作研究[D];大连理工大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋学萍;王佩红;孙兆奇;;射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2009年03期
2 康斌;DMF产品原料气的工艺改造[J];安徽化工;2001年03期
3 张继民,钟成义,骆春华;草酸的分光光度法测定[J];安徽机电学院学报(自然科学版);1997年04期
4 吕涤非;;计算机模拟技术在丙烯腈脱氰塔中的应用[J];安庆科技;2007年03期
5 王琰;理论联系实际 提高学生学习兴趣——《有机化学》教学方法探讨[J];安阳大学学报;2003年02期
6 刘国龙;关巍;高远;;TCO玻璃的应用及制备方法[J];安阳工学院学报;2010年02期
7 王广海;于晓艳;李国新;焦清介;;Effect of Substrate Surface Roughness on Properties of Ni-Cr Alloy Thin Film[J];Journal of China Ordnance;2012年01期
8 郭大刚,刘正堂,宋健全,耿东生;工艺参数对磁控溅射磷化镓(GaP)薄膜沉积速率的影响[J];兵器材料科学与工程;2002年03期
9 刘刚;刘忆;;热丝法CVD生长金刚石薄膜的简化工艺研究[J];半导体技术;2006年07期
10 冯信华,何笑明,陈丽,尹盛,周海云,赵宁,李忠,王敬义;冷等离子体对硅粉薄层的提纯研究[J];半导体技术;1998年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴小丽;熊长新;李钱陶;何光宗;;ZnS基底红外双波段保护膜研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 王珺;贾金平;张卫;;高掺杂的掺硼金刚石薄膜电极的性质[A];第六届全国环境化学大会暨环境科学仪器与分析仪器展览会摘要集[C];2011年
3 黎涛;冯自平;宋文吉;黄冲;何世辉;;氯化钠反复相变后的性能变化[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
4 贾临芳;赵建庄;王春娜;吴昆明;魏朝俊;;北京市精品课程——有机化学建设目标[A];都市型高等农业教育教学改革论文专辑[C];2007年
5 李远;汪建华;谢鹏;熊礼威;刘长林;;类金刚石涂层微型钻头的制备研究[A];“第十四届全国微波能应用学术会议”暨“2009年微波创造美的生活高峰论坛”论文集[C];2009年
6 高明;罗国强;沈强;张联盟;;W粉表面改性和W/EP复合材料制备的研究[A];节能环保 和谐发展——2007中国科协年会论文集(一)[C];2007年
7 苗树翻;严一心;;3Cr13不锈钢基底上DLC膜牢固度的研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
8 王庆芳;吴晓春;邬天荣;;热作模具钢H13低温渗硼的研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
9 刘平;赵学全;关丽;梁禄生;陈土华;童真;邓文基;;新型有机电致变色材料的制备及其性能[A];低碳技术与材料产业发展研讨会论文集[C];2010年
10 孙金坛;李垚;;溅射法制作Si_3N_4-AlN陶瓷薄膜材料[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 丁芳;高气压直流辉光等离子体放电物理及技术应用研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
3 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
4 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
5 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
6 马传军;基于掺硼金刚石膜电极的COD在线分析仪的研制与复合传感器的制备[D];大连理工大学;2011年
7 岳红云;柔性衬底薄膜光伏电池相关材料制备及性能[D];大连理工大学;2011年
8 王义飞;新型照明显示器件用铝酸盐荧光粉的优化研究[D];中国科学技术大学;2011年
9 闫小兵;过渡金属氧化物阻变存储器的制备及其开关机制研究[D];南京大学;2011年
10 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周书刚;真空阴极弧制备纳米复合Zr-C-N薄膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
3 陈庆友;稀土掺杂新型镀膜材料的研究[D];长春理工大学;2010年
4 张凇铭;电弧离子镀过程中脉冲偏压对TiCN薄膜的影响[D];长春理工大学;2010年
5 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
6 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
7 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
8 孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
9 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
10 王坤;CVD金刚石膜化学机械抛光工艺研究[D];大连理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏;直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J];半导体光电;1999年06期
2 周灵平,靳九成,李绍禄,王长河;金刚石薄膜半导体研究进展及其应用前景[J];半导体技术;1997年04期
3 陈光华,蔡让岐,宋雪梅,贺德衍;多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备及其场电子发射[J];半导体学报;2004年03期
4 胡晓君,李荣斌,沈荷生,戴永兵,何贤昶;低电阻率硼硫共掺杂金刚石薄膜的制备[J];半导体学报;2004年08期
5 程翔,陈朝,徐富春,刘铁林;掺氮类金刚石薄膜的电化学C-V研究[J];半导体学报;2004年10期
6 翁端,李西峰,马春来;离子束辅助沉积技术在腐蚀与防护中的应用[J];材料保护;1998年02期
7 周灵平,靳九成,李绍禄;金刚石薄膜涂层刀具基底材料的选择[J];材料导报;1997年02期
8 孙增辉,乔学亮,程宇航;一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜[J];材料导报;2002年05期
9 陈广超,黄荣芳,闻立时;分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜[J];材料研究学报;1997年03期
10 徐军,邓新绿,张家良,陆文棋,马腾才;双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术[J];大连理工大学学报;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘敬明;大面积化学气相沉积金刚石自支撑膜氧化性能的研究[D];北京科技大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 徐超;CVD金刚石厚膜焊接工艺的研究[D];哈尔滨理工大学;2003年
2 吕志勇;活性涂层钎料的制备及其钎焊金刚石膜的研究[D];河北工业大学;2004年
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中国期刊全文数据库 前10条
1 杜勇慧;张铁臣;张伟森;;用不同合成体系制备黑色立方氮化硼的研究[J];高压物理学报;2011年03期
2 吴喆;柳建龙;陈涛;朱锦峰;刘兴翀;;电化学沉积自组织生成的多晶银枝[J];电子科技大学学报;2011年02期
3 杜景永;张贵锋;何洋洋;李国卿;侯晓多;;液相电化学法在不锈钢上沉积类金刚石薄膜[J];材料热处理学报;2007年05期
4 陶菲菲;徐正;;枝状晶体铜的电化学制备[J];材料工程;2008年10期
5 黄立业,憨勇,徐可为;电化学沉积-水热合成法制备羟基磷灰石生物涂层的工艺研究[J];硅酸盐学报;1998年01期
6 李超,曹传宝,吕强,张家涛,项顼,朱鹤孙;氮化碳薄膜的电化学沉积及其电阻率研究[J];功能材料与器件学报;2004年01期
7 马臣;曲立杰;王颖慧;尹树春;;电化学沉积仿生羟基磷灰石涂层的研究现状与展望[J];佳木斯大学学报(自然科学版);2006年01期
8 张海明;余俊杰;李晓洁;胡国锋;李育洁;黄伯贤;;多孔氧化铝模板电沉积法制备ZnO纳米结构阵列的研究[J];人工晶体学报;2008年05期
9 胡海宁,陈京兰,吴光恒,陈丽婕,刘何燕,李养贤,曲静萍;电化学沉积Fe与FePd纳米线阵列的磁性[J];物理学报;2005年09期
10 吴宇剑;宗兆存;;电化学沉积制备一维纳米材料方面的进展[J];科技信息;2011年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赖钧灼;王桂文;黄庶识;刘斌;姚辉路;黄曦;;光镊拉曼光谱对单个酵母细胞动态发酵的分析[A];第十一次中国生物物理学术大会暨第九届全国会员代表大会摘要集[C];2009年
2 寿晶晶;金成锋;张韫宏;;不同结晶态溶菌酶失水过程的拉曼光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
3 李现常;李伟;沈爱国;周晓东;莫育俊;胡继明;;单个金属原子和胞嘧啶分子复合物的拉曼光谱研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
4 金少青;范峰滔;郭美玲;张莹;冯兆池;李灿;;深紫外拉曼光谱在催化材料和宽禁带半导体材料研究中的应用[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
5 林居强;蔡长美;李永增;陈荣;黄瑞香;冯尚源;;三种白血病细胞系的拉曼光谱[A];中国遗传学会第十届全国激光生物学学术会议论文摘要集[C];2009年
6 刘红波;吕培茹;杨小淦;朱姿英;胡林林;宁淑芳;左二伟;陆阳清;卢晟盛;卢克焕;;服务于精子载体法转基因相关研究的猪精子人工智能识别与预测平台的建立[A];中国畜牧兽医学会动物繁殖学分会第十五届学术研讨会论文集(上册)[C];2010年
7 王吉有;邹兆贵;刘宾;李南征;孔乐;;木糖醇的红外光谱和拉曼光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
8 王吉有;王俊玲;何洪;江少林;侯碧辉;;La_(0.8)Sr_(0.2)CoO_3的拉曼光谱特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
9 伍向阳;段体玉;杨伟;孙樯;黄为清;张永;;合成甲烷水合物的拉曼光谱及其弹性波速度[A];中国地震学会第十次学术大会论文摘要专集[C];2004年
10 汪磊;尤静林;王媛媛;马兰;赵婷;;Ca_2P_2O_7温致相变的拉曼光谱研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 特约记者 张一峰;锦州石化添加剂产销创新纪录[N];中国石油报;2006年
2 记者谢玲;中国添加剂代表团将赴日举办“中国日”活动[N];中国食品报;2010年
3 吕纪增;用添加剂喂猪三注意[N];中国畜牧兽医报;2006年
4 安部司李波;猪肉+黏性材料+添加剂=廉价火腿[N];中国医药报;2007年
5 安部司李波;用良心把无添加剂食品做好[N];中国医药报;2007年
6 吕纪增;添加剂喂猪注意点[N];云南科技报;2006年
7 ;鸡常用饲料:营养性添加剂[N];中国畜牧兽医报;2009年
8 本报记者 罗兵;不是添加剂惹的祸[N];中国质量报;2010年
9 杨宁昱;欧盟对非法添加剂联盟开上亿罚单[N];粮油市场报;2010年
10 靖博;添加剂,想说爱你不容易[N];中国包装报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 仝秋红;基于智能技术的内燃机油添加剂优选及配伍研究[D];长安大学;2004年
2 胡伟跃;锂离子电池非水电解液的行为研究[D];中南大学;2005年
3 常晶晶;古代壁画中颜料及染料的拉曼光谱研究[D];吉林大学;2010年
4 张鑫;深海环境及深海沉积物拉曼光谱原位定量探测技术研究[D];中国海洋大学;2009年
5 董鹍;纳米银增强基底制备及分子的拉曼光谱解析[D];昆明理工大学;2011年
6 贾丽华;共振拉曼光谱方法探测水溶液中生物分子的研究[D];吉林大学;2011年
7 林珂;液体醇、水及其混合物的微观结构和动力力学研究[D];中国科学技术大学;2010年
8 欧阳顺利;溶液中类胡萝卜素的结构与光谱性质研究[D];吉林大学;2011年
9 范雅;高压和低温下不饱和脂肪酸相变的原位拉曼谱研究[D];吉林大学;2011年
10 吴雷;基于表面增强拉曼散射(SERS)技术的核酸(脱氧核酶)研究[D];吉林大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何洋洋;液相电化学沉积无定形金刚石薄膜[D];大连理工大学;2008年
2 刘天飞;PbWO_4晶体拉曼光谱的研究[D];北京工业大学;2000年
3 李争明;激光光镊拉曼系统中高葡萄糖对NIT-1细胞凋亡影响的研究[D];广西医科大学;2011年
4 管思阳;乙醇—水溶液的拉曼光谱与分子结构分析研究[D];南京理工大学;2010年
5 李成彧;β-胡萝卜素在液芯光纤中的共振吸收拉曼散射[D];长春理工大学;2010年
6 苏斌;I_2和Cr~(3+)液芯光纤中的共振吸收拉曼散射光谱研究[D];长春理工大学;2010年
7 谭恩忠;表面增强拉曼光谱与紫外拉曼光谱研究[D];首都师范大学;2002年
8 陈柳;拉曼光谱系统设计及基于遗传算法的光谱数据分析研究[D];华中师范大学;2004年
9 曲业飞;SO_4~(2-)与CO_3~(2-)拉曼光谱的群论分析[D];中国海洋大学;2010年
10 徐宝华;动脉粥样硬化斑块稳定性的生化及微区拉曼光谱研究[D];吉林大学;2006年
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