收藏本站
《大连理工大学》 2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

尘埃等离子体中有两种尘埃粒子时的空洞形成

宋岩  
【摘要】: 带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室的等离子体装置中和材料等离子体加工等环境中。近年来,人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加工质量的关键问题,尘埃与等离子体的相互作用形成的尘埃等离子体已经成为等离子体物理学的重要分支之一。尘埃等离子体空洞是尘埃等离子体中具有厘米尺寸的无尘埃区域,和周围等离子体有陡峭的边界。在大量的实验室实验和工业材料的微电子加工中,都观察到尘埃空洞的自发形成。为了降低尘埃粒子对工业材料的污染,保证微电子加工的有效进行,必须对等离子体中尘埃空洞形成机理进行研究,尤其是与实际更为接近的包含有多种尺寸尘埃粒子的情况。 本文以等离子体中含有两种不同尺寸尘埃粒子作为系统包含多种尘埃粒子的代表,在一维柱坐标系下对整个系统不稳定性的非线性演化阶段进行了数值模拟研究。研究表明,小尘埃粒子先形成尘埃空洞,形成过程与只有一种尺寸尘埃粒子的情形相同。当小尘埃的空洞达到饱和时,整个系统接近达到稳态,而大尘埃粒子继续向外运动,最终被排出去,与小尘埃粒子分开。本文工作主要分为以下三部分: 第一章主要介绍了等离子体的概念、分类以及尘埃等离子体的研究进展和研究方法等。 第二章主要介绍了尘埃等离子体空洞的概念,尘埃粒子的受力情况,以及前人所做的与尘埃尘埃空洞形成有关的理论工作和实验工作。 第三章首先在一维柱坐标系下,在轴对称的假设下建立了系统包含两种不同尺寸尘埃粒子的不稳定性非线性演化的近似模型,继而给出了数值模拟方法,得到了相应的数值结果,用得到的数值结果分析了尘埃空洞形成的机制。
【学位授予单位】:大连理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:O531

手机知网App
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨磊;;太阳系尘埃等离子体波的研究[A];中国天文学会2011年学术年会手册[C];2011年
2 石雁祥;吴健;葛德彪;;中层大气中尘埃等离子体的介电常数和电导率[A];第十一届全国日地空间物理学术讨论会论文摘要集[C];2005年
3 吴振森;李海英;;等离子体中尘埃粒子的电磁传输特性MC仿真[A];第十二届全国日地空间物理学术讨论会论文摘要集[C];2007年
4 李中元;李嘉巍;陈耀;段素平;石志东;;空间尘埃等离子体的某些数值计算和特征分析[A];第十届全国日地空间物理学术讨论会论文摘要集[C];2003年
5 段萍;宫野;刘金远;刘悦;王晓钢;张宇;;束缚鞘层中的三维尘埃晶格的研究[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
6 胡祖权;郑聚高;彭海鸥;黄凤;时桂芬;陈银华;;含负离子的尘埃空洞的形成[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
7 蒋成进;李芳;;空间尘埃等离子体的重力波特性[A];第十一届全国日地空间物理学术讨论会论文摘要集[C];2005年
8 甘宝霞;陈银华;;负电性尘埃等离子体中尘埃空穴的稳态结构[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
9 李阳芳;马锦秀;李经菊;谢锦林;王俊;汪海;万树德;俞昌旋;;尘埃双等离子体实验装置:放电与测量[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年
10 李中元;李嘉巍;陈耀;石志东;;空间尘埃等离子体动力学的某些特征讨论[A];第十一届全国日地空间物理学术讨论会论文摘要集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 侯璐景;射频鞘层中尘埃粒子的运动过程及尘埃晶格形成机理的研究[D];大连理工大学;2005年
2 孙爱萍;低温等离子体应用中的几个理论问题[D];核工业西南物理研究院;2000年
3 李阳芳;非均匀(尘埃)等离子体中离子声波的激发和传播[D];中国科学技术大学;2006年
4 甘宝霞;电负性尘埃等离子体中尘埃颗粒的振荡、晶格波和稳态尘埃空洞[D];中国科学技术大学;2008年
5 李海龙;极区中层夏季回波特性研究[D];西安电子科技大学;2009年
6 吴静;射频SiH_4/C_2H_4/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究[D];大连理工大学;2009年
7 肖德龙;栅网附近离子波动模式激发机理和尘埃离子声波非线性演化的研究[D];中国科学技术大学;2006年
8 段萍;等离子体鞘层及尘埃在鞘层中的特性研究[D];大连理工大学;2007年
9 李娟;基于计算机符号计算的若干变系数非线性模型可积性质的研究[D];北京邮电大学;2008年
10 任海骏;磁化等离子体中热交换与旋转不稳定性的理论研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋岩;尘埃等离子体中有两种尘埃粒子时的空洞形成[D];大连理工大学;2008年
2 张宇;尘埃等离子体的数值模拟研究[D];大连理工大学;2005年
3 赵捷;尘埃等离子体的电磁波散射研究及双探针实验[D];中国科学院电子学研究所;2000年
4 毛松涛;尘埃等离子体中尘埃空洞形成的非线性理论[D];大连理工大学;2007年
5 刘金宁;地球空间尘埃等离子体的轨道运动研究[D];兰州大学;2008年
6 陈建宏;磁化尘埃等离子体中波的不稳定性研究[D];西北师范大学;2007年
7 林麦麦;尘埃颗粒大小分布对尘埃等离子体集体行为影响的研究[D];西北师范大学;2005年
8 王菊;火箭喷焰对微波信号衰减的研究[D];西安电子科技大学;2007年
9 郭志荣;碰撞热尘埃等离子体中重力激发的孤立声波[D];西北师范大学;2007年
10 王悦悦;尘埃等离子体中非线性波的研究[D];浙江师范大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026