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《沈阳工业大学》 2002年
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生物检测芯片的研制

孟丽囡  
【摘要】: 微电子技术与生物技术紧密结合的以DNA芯片为代表的生物工程芯片将是21世纪微电子领域的一个新的热点。本文介绍了在对DNA溶液进行流动注射分析中所应用的一种半导体芯片。这种芯片是用半导体集成电路工艺设计制作的,它包含由七支光电三极管组成的阵列光电检测器,一个电阻加热器和两支测温二极管。 在光电管的设计中尽量增大受光面积,引线电极尽量小;工艺上要使BC结为浅结扩散,以增强检测波长光的敏感性。加热电阻设计为浓硼扩散电阻,可将被测溶液加热到70℃以上。测温二极管采用的是CB短接三极管结构。 在芯片表面淀积有SiO_2-TiO_2交替50层的复合干涉滤光膜。刻蚀滤光膜用等离子刻蚀工艺,多次涂胶多次刻蚀。为了保护硅层不被刻蚀,采用了先制作铝电极后淀积滤光膜等工艺,这都是本课题研制中的特点。文中列出了芯片测试结果,芯片参数符合设计要求。现正在应用中。 最后,论文对本课题继续深入进行时应注意的问题提出了几点建议。
【学位授予单位】:沈阳工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:TN405

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