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《东北大学》 2015年
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某型罗茨真空泵的振动噪声探究

于敏  
【摘要】:罗茨真空泵作为真空泵的一种,被广泛应用于半导体行业、平板显示产业等IC装备行业以及薄膜、化工、生物、制药等领域,这些领域对工作环境都要求清洁、无油、耐腐蚀和能够抽除颗粒物质等。当前,我国生产的罗茨真空泵和国外生产的罗茨真空泵的主要差距主要还是反映在罗茨真空泵的使用可靠性要求上,罗茨真空泵存在振动大、噪声大的问题并且故障率较高。而国外罗茨真空泵可以十几年不用检修。所以对真空泵的振动、噪声控制就显得尤为重要了。本文的主要工作如下:本文针对罗茨真空泵罗茨转子系统的机械结构特点,简化了该型罗茨转子的数学模型。然后根据转子动力学的基础理论知识,建立了双盘转子系统的运动微分方程,并考虑了不同的支承情况。当转子系统为刚性支承时,可列出8自由度的运动学方程;当转子系统为挠性支承时,可列出12自由度的运动学方程。分别对不同支承情况时的运动学方程求解,解得不同支撑情况时的固有频率。利用丹麦BK振动测试设备,对罗茨转子进行固有频率测试,并与解得的结果相对比,验证解得结果的正确性。探究找罗茨真空泵振动异常的原因。利用丹麦BK振动噪声测试设备,通过等间隔的连续升降频实验得到罗茨真空泵振动响应的特征及规律,初步怀疑不随时间变化的亮线带为固有频率;通过实验模态分析得到了罗茨真空泵的固有频率、模态振型等特征,确定了是因为共振引起振动异常;最后,在稳定工作状态,通过利用振动噪声源识别方法确定了振动噪声源的位置与特征,验证了结构共振是该型罗茨泵振动过大的主要原因。
【学位授予单位】:东北大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2015
【分类号】:TB752

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