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《东北大学》 2004年
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利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究

蔺增  
【摘要】: 本文采用射频PECVD方法,以C4H10(或CH4)和Ar为气源在不锈钢、玻璃和硅片等基底上制备出大面积类金刚石薄膜。使用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、激光拉曼光谱(Raman)和付立叶变换红外光谱(FT-IR)等研究手段对样品形貌和结构进行了表征;利用显微硬度计、划痕仪和摩擦磨损试验机等对DLC薄膜的机械和摩擦学特性进行了研究,得到了摩擦性能随沉积参数和实验条件的变化规律,对DLC膜的自润滑机制和磨损机理进行了探索。 在电容耦合的射频PECVD系统中,等离子体鞘层作用的结果会在阴极板上产生自偏压,有利于碳离子沉积形成类金刚石膜;借助所设计的中间过渡层Ti/TiN/TiC,在不锈钢上成功沉积了一定厚度的DLC膜,膜与基底的结合力较好;通过优化工艺参数,可以成功地在玻璃、硅片等基底上沉积DLC膜,扩大用射频PECVD工艺沉积类金刚石膜的适用范围。 对不锈钢上沉积的DLC膜作SEM分析,发现薄膜由均匀的颗粒组成,粒径大约为400nm左右;X射线衍射分析表明,所镀DLC膜为非晶碳膜,在XRD谱图中出现了TiN、TiC的衍射峰,说明薄膜表面可能会有微小的缺陷;样品的SEM侧面形貌分析表明,薄膜与基体结合良好,没有出现开裂、分离的情况;AFM分析发现DLC膜明显比基底平整,亮区增加了,岛状颗粒数目明显增多,薄膜的致密性增强,说明了非晶膜的生长机制是大量非晶纳米相结构的聚集,证实了类金刚石薄膜沉积时大颗粒活性粒子的关键作用。 对硅片、玻璃上所沉积DLC膜作FT-IR光谱分析,表明薄膜样品的碳原子主要以sp~3的组态存在;XPS全谱分析表明膜的主要组成元素为碳,还含有少量的氧及微量的Ni和N。
【学位授予单位】:东北大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:O613.71

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【引证文献】
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1 杨玉卫;杨坚;古宏伟;刘慧舟;张华;金薇;;类金刚石膜的性能、制备及其应用[J];硅酸盐通报;2008年01期
2 李明;蔺增;巴德纯;张海鸣;;不锈钢基体预处理对合成类金刚石碳膜的影响[J];真空;2006年05期
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3 盛松科;PECVD多功能沉积系统制备氢化非晶硅、碳薄膜的工艺研究[D];大连理工大学;2011年
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【参考文献】
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1 刘仲阳,孙官清,张大忠,陈剑宣,钟光武;电子回旋共振等离子体源的特性[J];核技术;2000年10期
2 陈光华,卢阳华;不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜的硬度[J];无机材料学报;1996年04期
3 梁风,严学俭;类金刚石薄膜的性质、应用及制备[J];物理学报;1999年06期
4 蔺增,巴德纯,刘铁林,程翔;常温生长类金刚石薄膜的实验研究[J];真空;2004年04期
5 李刘合,夏立芳;阴极弧离子镀磁过滤器[J];真空;1999年03期
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1 蒋书文;钛合金基类金刚石梯度薄膜材料制备及其生物摩擦学性能和血液相容性的研究[D];四川大学;2002年
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1 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
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1 戚学贵,陈则韶,陈莉;CVD金刚石膜制备方法及其应用[J];半导体技术;2001年06期
2 赵东军,鲁安怀,王丽娟,郑喜坤,刘瑞,郭延军;广西下雷锰矿床中锰钾矿的矿物学特征[J];北京大学学报(自然科学版);2005年06期
3 胡钢,许淳淳,张新生;304不锈钢在闭塞区溶液中钝化膜组成和结构性能[J];北京化工大学学报(自然科学版);2003年01期
4 徐瑞芬,许淳淳,欧阳维真,姜宝文;奥氏体不锈钢的马氏体相变对耐蚀性的影响[J];北京化工大学学报(自然科学版);1998年02期
5 胡军,宋剑华,胡军,胡永平,王淀佐;浮选药剂BET在煤与黄铁矿表面作用的ESCA分析[J];北京科技大学学报;2002年05期
6 郑兆佳,胡缙昌;玻璃表面改性的XPS研究[J];表面技术;1999年05期
7 张敏;程发良;姚海军;;类金刚石膜的性质和制备及应用[J];表面技术;2006年02期
8 王瑜,张广秋,葛袁静,陈强;类金钢石膜的性能、制备及在印刷包装领域的应用[J];北京印刷学院学报;2004年04期
9 付亚波;桑立军;常龙龙;许文才;;DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征[J];包装工程;2008年12期
10 邱兆明,穰玫,邱隆伟;黄铁矿及毒砂中负氧化数金的发现及判定[J];长春地质学院学报;1994年02期
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1 王玉江;马欣新;唐光泽;徐滨士;;等离子体基离子注入电压对碳膜化学结构及摩擦学性能的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
2 关铭;高祀建;朱永昌;刘峻;;含Sm硼硅酸盐玻璃XPS结构研究[A];2005中国硅酸盐学会特种玻璃分会学术研讨会会议论文集[C];2005年
3 董良旭;张跃飞;陈强;;大气压等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
4 陈智勇;施雯;吴成鸿;徐润翔;;Ti6Al4V低温氧化处理对摩擦性能的影响[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
5 阴生毅;张永清;陈光华;;MWECR-CVD系统新型磁场结构的研究[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
6 金杰;过骐千;徐志潜;李刘合;;模拟等离子体在方形90°弯曲磁过滤器内传输[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
7 桑利军;陈强;;基台脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
8 汤文杰;张跃飞;陈强;葛袁静;;大气压下等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9 田修波;李景;杨士勤;;塑料瓶壁体等离子体增阻技术[A];真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2007年
10 舒畅;袁照华;王日杰;张健;;乙硫醇合成催化剂Co-Mo/γ-Al_2O_3的研究[A];第九届全国工业催化技术及应用年会论文集[C];2012年
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5 杨平;常压等离子体聚合共轭聚合物荧光纳米颗粒的研究[D];东华大学;2010年
6 张新卫;直接乙醇燃料电池新型阳极催化剂的研究[D];北京交通大学;2011年
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8 陈达;3C-SiC/Si异质外延生长与肖特基二极管伏安特性的研究[D];西安电子科技大学;2011年
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1 管昌雨;反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜[D];大连理工大学;2010年
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4 师雁;低温微氧条件下PH_3和H_2S的净化处理研究[D];昆明理工大学;2009年
5 杨番;含硅丙烯酸酯核/壳乳液的制备及其共混膜梯度结构的研究[D];武汉理工大学;2008年
6 汪华磊;脉冲阴极弧电源的设计[D];东华大学;2011年
7 张俊萍;OLED用喹啉类金属配合物发光材料表面改性研究[D];太原理工大学;2011年
8 郭忠杰;硅基InN单晶薄膜的RF-MBE生长及其特性研究[D];吉林大学;2011年
9 吴雷;WC-Co基体金刚石薄膜涂层刀具的制备及切削试验研究[D];河南理工大学;2011年
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1 刘声雷,郑惟彬;DLC膜化工设备防腐材料的研究[J];安徽化工;1999年06期
2 杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏;直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J];半导体光电;1999年06期
3 张伟丽,夏义本,居建华,王林军,方志军,张明龙;不同掺氮量的类金刚石薄膜的电导性能[J];半导体光电;2003年01期
4 彭建国;骆素珍;袁敏;;304奥氏体不锈钢高温氧化行为研究[J];宝钢技术;2007年04期
5 易树,尹光福,郑昌琼;类金刚石薄膜表面界面特性表征方法以及检测技术[J];北京生物医学工程;2004年02期
6 廖钟亮;等离子镀TiN膜前处理工艺[J];表面技术;1994年06期
7 黄桂芳,周灵平,李绍禄,李德意,赵立华,王巧玲;类金刚石(DLC)膜对2Crl3不锈钢耐蚀性能的影响[J];表面技术;2002年01期
8 张敏;程发良;姚海军;;类金刚石膜的性质和制备及应用[J];表面技术;2006年02期
9 常同钦;;类金刚石膜的物理特性及应用[J];表面技术;2006年05期
10 黄桂芳,周灵平,李绍禄,李德意,李学谦,朱启良,王锦辉,李国希;离子束沉积类金刚石膜对钢在NaCl溶液中耐蚀性能的影响[J];材料保护;2000年06期
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1 沈大可;新颖液晶光阀及紫外光电二极管阵列的研究[D];浙江大学;2003年
2 何智兵;有机/无机多层复合膜的制备及光电性能研究[D];浙江大学;2004年
3 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
4 张翼英;等离子体CVD法制备a-Si_(1-x)C_x:H薄膜及其微结构和性能研究[D];浙江大学;2007年
5 毛明;射频感应耦合等离子体源的动力学模拟及实验诊断[D];大连理工大学;2007年
6 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
7 曲江英;化学气相沉积法可控制备碳纳米管组装体[D];大连理工大学;2009年
8 廖乃镘;氢化非晶硅薄膜制备及其微结构和光电性能研究[D];电子科技大学;2009年
9 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
10 程培红;金属表面等离子体增强硅基半导体材料发光[D];浙江大学;2009年
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1 任常瑞;表面等离激元增强氮化硅基MIS器件的电致发光[D];浙江大学;2011年
2 邱毅娇;非晶碳及非晶碳化硅薄膜的制备及光学性能研究[D];电子科技大学;2011年
3 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
4 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
5 张茹芝;氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究[D];大连理工大学;2004年
6 陈光良;高阻隔非晶炭氢膜制备及性能研究[D];北京印刷学院;2004年
7 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
8 王立达;不锈钢表面掺硅类金刚石膜的制备、结构及性能[D];大连理工大学;2005年
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10 李飞;利用DBD-PECVD方法制备碳纳米管的研究[D];长春理工大学;2004年
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1 陈兴峰;左敦稳;卢文壮;徐锋;;Ti/BDD涂层电极的制备及其电化学性能研究[J];硅酸盐通报;2010年04期
2 王淑云;郭延龙;刘旭;曹海源;王会升;程勇;;飞秒激光制备硅窗口增透保护类金刚石膜[J];强激光与粒子束;2010年08期
3 梁小伟;孔蕊弘;李浩源;;高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面不同DLC处理后的性能探讨[J];上海金属;2009年06期
4 吴慎将;施卫;苏俊宏;;激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响[J];西安理工大学学报;2012年01期
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1 王玉江;马欣新;唐光泽;徐滨士;;等离子体基离子注入电压对碳膜化学结构及摩擦学性能的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
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1 曹宁;表面改性医用碳/碳复合材料及其性能研究[D];山东大学;2010年
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1 张伟;铬含量及摩擦条件对掺铬DLC膜摩擦磨损性能的影响[D];中国地质大学(北京);2011年
2 陈新春;多层碳基硬质固体润滑薄膜研究[D];中国地质大学(北京);2011年
3 张赜文;压头曲率半径对单晶硅和氮化碳薄膜径向纳动损伤的影响[D];西南交通大学;2010年
4 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
5 周兰;悬臂式箔片气体动压轴承的稳定性分析[D];山东理工大学;2011年
6 林铁源;DLC薄膜力学响应的有限元分析[D];东北大学;2009年
7 李军利;非晶硅热成像敏感薄膜制备技术研究[D];西安工业大学;2013年
8 陈林林;类金刚石薄膜制备工艺与特性研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2013年
9 宋东亮;钢领的组织结构与高性能研究[D];东华大学;2013年
10 邢朝阳;熔盐电化学方法在钽表面沉积碳膜的研究[D];东北大学;2012年
【二级参考文献】
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1 杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏;直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J];半导体光电;1999年06期
2 战德松,杨彦昌,周兴泰,邹健梧;钛表面涂覆类金刚石碳膜的生物相容性研究[J];材料研究学报;1999年04期
3 徐军,邓新绿,张家良,陆文棋,马腾才;双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术[J];大连理工大学学报;2001年03期
4 冷永祥,黄楠,杨萍,曾晓兰;氮化钽薄膜的制备及其血液相容性研究[J];功能材料;1998年06期
5 陈俊英,杨萍,冷永祥,孙鸿,黄楠;掺杂氧化钛薄膜的制备与血液相容性研究[J];功能材料;2000年02期
6 程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮,谢长生,孙育斌;类金刚石膜结构的红外分析[J];硅酸盐学报;1998年04期
7 刘仲阳,孙官清,张大忠,陈剑宣,钟光武;电子回旋共振等离子体源的特性[J];核技术;2000年10期
8 李成贵,董申;三维表面形貌的分形维数计算方法[J];航空精密制造技术;2000年04期
9 张人佶,林子为,崔周平,宋期;CVD TiC-TiN多层涂层与TiC及TiN单层涂层摩擦学性能的比较[J];摩擦学学报;1992年02期
10 贺林,朱均;粗糙表面接触分形模型的提出与发展[J];摩擦学学报;1996年04期
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8 冯炜光;刘翔;储清梅;张鹏翔;;PECVD法制备硅太阳电池SiN薄膜工艺研究进展[J];云南冶金;2009年03期
9 卢志安;迟晓红;赵国华;;非晶硅薄膜太阳能电池生产简述[J];玻璃;2008年12期
10 席彩萍;王六定;王小冬;李昭宁;;沉积温度对PECVD制备碳纳米管形貌的影响[J];人工晶体学报;2011年04期
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1 徐翔;冯杰;王友年;;中性气体流动对PECVD放电过程的影响[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
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4 陈小锰;徐军;邓新绿;朴勇;高鹏;董闯;;Si掺杂对DLC薄膜结构和性能的影响[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
5 高尚;连洁;宋平;马铮;王晓;吴仕梁;;衬底温度对PECVD法生长SiO2薄膜性能影响的研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
6 王瑞春;沈鸽;袁骏;张溪文;赵高凌;翁文剑;韩高荣;杜丕一;;Al金属诱导氢化非晶硅(a-Si:H)晶化的研究[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
7 刘洪伶;木易;王明月;董婧;苑进社;;PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
8 刁宏伟;徐艳月;张世斌;王永谦;廖显伯;;PECVD非晶硅膜的均匀性[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
9 杨莉;陈强;;PECVD法沉积类金刚石膜的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
10 杨莉;付亚波;陈强;张跃飞;;PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
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1 静蓉;AKT第七代PECVD预计明年中出货三星[N];电子资讯时报;2003年
2 记者 郝晓明;我国首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂[N];科技日报;2011年
3 记者 王冠/北京;全球七代线扩厂拉开序幕[N];电子资讯时报;2004年
4 吴昊;成功研制光伏核心装备[N];中国航天报;2009年
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2 杨光敏;碳纳米管、纳米金刚石、空心碳球及其复合物的PECVD制备和特性研究[D];吉林大学;2010年
3 王玫;β-SiC薄膜的低温沉积及特性研究[D];北京工业大学;2002年
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6 许英敏;等离子体增强化学气相沉积制备碳素/氧化锌复合材料及其特性的研究[D];吉林大学;2009年
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10 王淑敏;石墨烯及石墨烯基铜/碳核壳结构材料的制备和场发射性能的研究[D];吉林大学;2013年
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1 赵晶晶;非晶硅薄膜太阳能电池材料PECVD关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
2 刘洋;平板式PECVD设备布气系统的分析和优化[D];东北大学;2009年
3 杜文强;PECVD设备加热系统分析及优化[D];东北大学;2009年
4 姜伟民;PECVD工艺条件对器件合格率的影响及其优化[D];复旦大学;2010年
5 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
6 邓兴汉;非晶硅锗薄膜PECVD法制备与特性研究[D];暨南大学;2010年
7 张会娟;PECVD多晶硅薄膜制备工艺和性能的研究[D];河北工业大学;2010年
8 柳聪;PECVD工艺参数及退火对氮化硅薄膜性能的影响[D];电子科技大学;2012年
9 殷官超;PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究[D];武汉理工大学;2011年
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