类金刚石膜的制备与特性研究

【摘要】： 本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜。对所制备的薄膜采用拉曼光谱、傅立叶红外透射光谱、原子力显微镜等方法进行了研究。 研究结果表明：在全方位离子注入技术中，不同的偏压、频率、气体流量都对薄膜中sp~3键比例有所影响，文中对具体的影响进行了分析，发现偏压的增加、频率的降低和适中的气体流量可以制备出sp~3键比例高的类金刚石膜；在等离子增强化学气相沉积技术中，对偏压对sp~3键比例的影响也进行了简单分析。