收藏本站
《辽宁工程技术大学》 2002年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

类金刚石膜的制备与特性研究

吴志猛  
【摘要】: 本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜。对所制备的薄膜采用拉曼光谱、傅立叶红外透射光谱、原子力显微镜等方法进行了研究。 研究结果表明:在全方位离子注入技术中,不同的偏压、频率、气体流量都对薄膜中sp~3键比例有所影响,文中对具体的影响进行了分析,发现偏压的增加、频率的降低和适中的气体流量可以制备出sp~3键比例高的类金刚石膜;在等离子增强化学气相沉积技术中,对偏压对sp~3键比例的影响也进行了简单分析。
【学位授予单位】:辽宁工程技术大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:TB43

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱方芳;;类金刚石碳膜的制备及其机械性能和应用[J];职业;2011年21期
2 谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郭延龙;王淑云;杨雪;朱孟真;程勇;王会升;;掺硅类金刚石膜的研究进展[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 刘璨;兰惠清;王洋;;含硅类金刚石膜的研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
3 洪伟;宋洪君;季一勤;李谨;;类金刚石膜的应用和发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 郭延龙;陆益敏;吴杰;黄国俊;王淑云;程勇;王会升;万强;;激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 童洪辉;陈庆川;霍岩峰;王珂;穆莉兰;冯铁民;赵军;严兵;耿漫;;全方位离子注入及增强沉积工业机及应用[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
6 俞世吉;;感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
7 杨云志;冉均国;郑昌琼;;磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的结构特征[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
8 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
9 周灵平;李绍禄;黄桂芳;李德意;朱启良;;钢表面离子束类金刚石涂层耐磨耐蚀性能[A];第四届全国表面工程学术交流大会论文集[C];2001年
10 俞世吉;丁振峰;马腾才;;沉积气氛对ICPECVD制备硬质类金刚石膜的影响[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 刘艳红;介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
3 尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
4 王静;铜基体上Ti/Ti_xC_y/DLC功能梯度材料的制备及性能的研究[D];大连理工大学;2009年
5 李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
6 沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
7 李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
8 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
2 吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
3 毛羽宏;剃须刀片刃口上镀类金刚石膜的实验研究[D];东北大学;2008年
4 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
5 于玥;用PECVD制备类金刚石膜的研究[D];长春理工大学;2010年
6 李建;He(或Ar)+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究[D];大连理工大学;2004年
7 王凤;聚碳酸酯(PC)上沉积类金刚石膜的性能研究[D];东北大学;2008年
8 刘璨;含硅类金刚石膜的力学性能研究[D];北京交通大学;2011年
9 郭武超;物理气相沉积DLC和TiN系列超硬膜的研究[D];中南大学;2004年
10 陈小锰;硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断[D];大连理工大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026