CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究

【摘要】：本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD, Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法，制备CVD曲面多晶金刚石膜和单晶金刚石，研究了其生长特性及性质。在石墨及钼衬底上沉积高质量的自支撑曲面多晶金刚石膜，讨论了不同实验条件及衬底对其性质的影响；在CVD曲面多晶金刚石膜上用水热法生长TiO2纳米管，研究了其对光催化的影响。CVD单晶金刚石生长方面，讨论了加入N2(O2）及混合气体、CO：和N2O对单晶金刚石生长的影响，同时优化条件，生长出大尺寸高质量透明单晶金刚石，并研究了等离子体退火处理对单晶金刚石的影响，制备了CUD单晶金刚石刀具。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	王蜀霞;Si(100)上异质外延金刚石膜生长及其应用研究[J];稀有金属材料与工程;2001年06期
2	郭世斌;姜春生;吕反修;唐伟忠;李成明;;直流电弧等离子体CVD金刚石膜中氢杂质研究[J];人工晶体学报;2010年01期
3	王少岩,郭辉,孙振路,吴晓波,王志娜,刁习刚,刘秀军,蔡云虹,胡红彦,姜龙,李国华;直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究[J];河北省科学院学报;2000年01期
4	施惠德;CVD金刚石膜[J];广东科技;1997年05期
5	欧阳晓平;王兰;范如玉;张忠兵;王伟;吕反修;唐伟忠;陈广超;;金刚石膜探测器研制[J];物理学报;2006年05期
6	罗廷礼,何奇宇,王志娜,崔文秀,蔡云虹,刁习刚,刘秀军;用金刚石膜的X射线衍射谱估算其热导率[J];河北省科学院学报;1999年02期
7	廖克俊，王万录;直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究[J];物理学报;1994年09期
8	刘敬明,唐伟忠,吕反修;高质量CVD金刚石膜的氧化损伤[J];人工晶体学报;2001年02期
9	梁继然,常明,潘鹏;热丝CVD法制备金刚石膜[J];天津理工学院学报;2005年01期
10	于三,金曾孙,吕宪义,邹广田;金刚石膜的生长特性及界面结构研究[J];科学通报;1991年03期
11	宋雪梅,王波,张兴旺,张生俊,陈光华,严辉;HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法(英文)[J];人工晶体学报;2000年03期
12	;美科学家研究出用C_（60）生产金刚石膜新技术[J];科技导报;1994年11期
13	庞国锋，石成儒，韩惠雯;低压等离子体结合热解法制备金刚石膜[J];科技通报;1995年01期
14	吕反修;CVD金刚石膜研究近期进展与应用[J];物理;1995年10期
15	李哲奎;金刚石膜的拉曼光谱研究[J];延边大学学报(自然科学版);2000年04期
16	孔春阳,王万录,廖克俊,马勇,王蜀霞,方亮;金刚石膜磁阻效应[J];重庆大学学报(自然科学版);2001年04期
17	张继华,李敬起,孙亦宁,郭晚土,高欣,雷青松,王曦,柳湘怀;化学气相沉积金刚石膜的光学性质[J];兰州大学学报(自然科学版);2003年02期
18	戚学贵,陈则韶,王冠中,廖源;C-H-O和C-H-N体系生长金刚石膜的气相化学模拟[J];无机材料学报;2004年02期
19	杨胶溪,李成明,陈广超,吕反修,唐伟忠,宋建华,佟玉梅;直流电弧等离子体喷射化学气相沉积高质量金刚石膜残余应力分布的拉曼谱分析(英文)[J];人工晶体学报;2004年04期
20	王东胜;王志勇;董耀华;;金刚石合成技术与研究现状简介[J];科技风;2010年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	翁国峰;马志斌;;高气压CVD化学气相沉积金刚石膜的发射光谱研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
2	马国欣;向鹏;邱胜宝;邬纪泽;;CVD金刚石膜制备技术及应用进展[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
3	尹龙承;黄海亮;何宪阳;王丹;彭鸿雁;陈玉强;;沉积温度对直流等离子体CVD法在硬质合金表面制备金刚石薄膜的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第4分册）[C];2010年
4	温广武;于洪明;黄小萧;;气压辅助CVD法大量合成碳微米管[A];第22届炭—石墨材料学术会论文集[C];2010年
5	王贤保;;石墨烯的CVD制备、修饰及其复合材料的研制[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年
6	吕反修;;化学气相沉积(CVD)金刚石大单晶研发现状及应用前景[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第7分册）[C];2010年
7	王启亮;吕宪义;成绍恒;李红东;邹广田;;高速生长CVD金刚石单晶及应用[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
8	苑执中;彭明生;李勋贵;;CVD合成宝石级钻石的研究进展与特征[A];中国矿物岩石地球化学学会第12届学术年会论文集[C];2009年
9	邵继红;俞黎黎;徐璐;徐继承;李东野;沈霞;王琨;;代谢综合征组分聚集及其在CVD事件中风险预测的评估[A];中国营养学会老年营养分会第七次全国营养学术交流会“营养与成功老龄化”暨国家级继续教育项目“神经系统疾病医学营养治疗”资料汇编[C];2010年
10	;Cardiovascular disease(CVD) risk,Insulin resistance andβ-cell function in prehypertension population of China[A];中华医学会第十次全国内分泌学学术会议论文汇编[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年
2	魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
3	卢文壮;CVD金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究[D];南京航空航天大学;2008年
4	王兰;电流型CVD金刚石探测器研制[D];清华大学;2008年
5	成绍恒;CVD金刚石单晶生长及金刚石晶体管的研究[D];吉林大学;2012年
6	梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
7	黄海宾;热丝CVD法制备硅基薄膜材料及相关太阳电池模拟研究[D];南京航空航天大学;2010年
8	周建;微波等离子体化学气相沉积法制备高质量金刚石膜研究[D];武汉理工大学;2002年
9	姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
10	马兴伟;高速摩擦抛光金刚石膜用FeAl基合金抛光盘的制备及性能研究[D];大连理工大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘昌龙;CVD金刚石膜残余应力的数值模拟[D];西南交通大学;2012年
2	陈振环;热丝CVD大面积金刚石厚膜的制备研究[D];湖南大学;2011年
3	王坤;CVD金刚石膜化学机械抛光工艺研究[D];大连理工大学;2010年
4	林欢庆;整体硬质合金CVD金刚石涂层立铣刀的应用基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
5	黄自强;制备CVD金刚石涂层硬质合金刀具中间层的研究[D];大连理工大学;2012年
6	苏颖;一氧化二氮对CVD金刚石单晶生长的影响[D];吉林大学;2012年
7	陶隆凤;化学气相沉淀（CVD）法合成单晶体金刚石的技术探索[D];石家庄经济学院;2010年
8	王健;铌基CVD金刚石薄膜的制备、掺杂及其电化学性能的研究[D];中南大学;2011年
9	刘鹏飞;微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响[D];武汉工程大学;2012年
10	王凡;CVD法制备ZnS材料的数值模拟研究[D];北京有色金属研究总院;2012年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	本报记者王雪敏;老年CVD患者临床用药要领[N];医药经济报;2010年
2	北京科技大学吕反修;金刚石膜：带起一个产业群[N];科技日报;2001年
3	剑坤;金刚石膜——我国新材料产业的新突破[N];科技日报;2000年
4	本报记者;超级VCD标准尘埃落定[N];中国电子报;2000年
5	蒋占华;金刚石膜制备及应用开发项目获重大进展[N];中国建材报;2001年
6	雨同;商机到底在哪里？[N];山西日报;2003年
7	记者吴曼;雷地科技获航天专家赞誉[N];证券时报;2004年
8	见习记者廖继锋本报记者华雪;欲上创业板公司大点兵之六[N];证券时报;2000年
9	;开拓创新的河北省科学院[N];科技日报;2003年
10	;做产品的四大绝招[N];经理日报;2005年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南