收藏本站
《吉林大学》 2012年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

组份比例及衬底材料影响YBCO外延膜的光辅助MOCVD法生长特性研究

李善文  
【摘要】:高温超导体YBCO具有高的超导转变温度、低的表面电阻、高的极限电流密度且在磁场下能有很好的超导特性,因而YBCO在超导应用领域被广泛的关注。如将其制备在单晶衬底上可以用来制作超导微波滤波器、SQUID、MRI等器件;如将其制备在金属基带上可以制作成第二代高温超导导线,应用在超导马达、超导限流器等方面。目前制备高温超导材料YBCO外延膜的方法有很多,包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、多源共蒸发法、金属有机物沉积法(MOD)、金属有机化学气相沉积法(MOCVD)等。其中MOCVD法与其他方法相比具有沉积速度快、沉积面积大、制备YBCO外延膜晶体质量高等特点,因而最适合工业化生产。而在光辅助MOCVD法制备YBCO外延膜时,由于光的激化作用,又有本身的特点。其一是以光辅助MOCVD法生长YBCO外延膜的生长速度可以达到0.5μm/min,而传统MOCVD法的生长速度约在0.02-0.2μm/min之间;其二是以光辅助MOCVD法制备的YBCO外延膜具有更高的晶体质量,并且随着膜厚度的增加晶体质量能够保持。本文则围绕光辅助MOCVD法生长YBCO外延膜方面存在的一些问题展开了研究,研究内容主要包括三个方面。首先研究了有机源比例变化对光辅助MOCVD法制备的YBCO外延膜的晶体质量及超导性质的影响。其次研究了光辅助方法退火对YBCO外延膜吸氧及脱氧过程的影响。最后初步研究了在双轴织构Ni带衬底上YBCO外延膜的光辅助MOCVD生长工艺,及衬底材料对光辅助MOCVD法生长YBCO外延膜的影响。 在光辅助MOCVD法制备YBCO外延膜时有机源组份变化影响YBCO外延膜的晶体性质及超导性质研究中。主要讨论了Cu源比例变化对YBCO外延膜晶体及超导性质的影响。发现对于以光辅助MOCVD法制备c轴取向的YBCO外延膜而言,在适当的有机源挥发量比例范围内,适当减少Cu源在挥发混合源中的比例,即(Cu/Y)_(mol),可有利于抑制外延膜表面颗粒的出现。但是过少的Cu源挥发量比例会给YBCO外延膜表面及内部引入孔洞,使膜质量变差。最终发现在Ba源过量(3(Ba/Y)_(mol)5)的情况下(Cu/Y)_(mol)约为2.3时,生长的YBCO外延膜表面平整并且体内整体比较致密。 对样品进行Jc分析发现,随着Cu源比例的变小,YBCO外延膜的Jc值也有变小的趋势。分析其原因,主要因为Cu源比例的变小造成了YBCO外延膜体内的孔洞及其他缺陷变多,非YBCO的杂相增多及微观晶体结构变差,这些因素都会导致YBCO外延膜的Jc降低。总体来看,表面颗粒非常稀少,且膜内部孔洞较少的样品(如A03),其(Cu/Y)_(mol)为2.3,J_c值为2.6MA/cm~2(0T,77K);而(Cu/Y)_(mol)更小表面没有颗粒但是膜内部孔洞很多的样品A04、A05,J_c值则降至1.8MA/cm~2。在本文讨论的5个样品中,(Cu/Y)_(mol)值最高的样品(如样品A01,为3.55),其Jc值也最高(3.4MA/cm~2),而此样品表面颗粒在种类、数量及尺寸大小等方面也最多、最大。由此可见,如何以外延膜生长参数优化所制备的膜的质量,需视对所生长的膜的需要而定。 在光照退火影响YBCO外延膜脱氧及吸氧特性的研究中。讨论了光照退火及热退火方法对YBCO外延膜脱氧及吸氧速度的影响,以及平衡态氧含量的影响。 首先对YBCO外延膜在460oC和550oC的退火温度下,分别使用光照退火和热退火方法进行吸氧及脱氧退火处理,研究了两种退火方法对YBCO外延膜吸氧及脱氧速度的影响。发现光照对YBCO外延膜的吸氧起到促进的作用,即在光照条件下YBCO外延膜的吸氧速度比无光照条件下的吸氧速度快很多;但是对YBCO外延膜的脱氧起到抑制的作用,即在光照条件下YBCO外延膜的脱氧速度比无光照条件下的脱氧速度慢很多。本论文通过YBCO外延膜吸氧及脱氧过程中光照对氧分子O_2分解成氧原子O的化学反应的影响合理地解释了这两种现象,认为在光照退火时卤钨灯辐射出来的高能光子加速了氧分子O_2分解成氧原子O的化学反应,从而解释了以上实验结果。另外通过比较不同温度及氧分压下退火处理后YBCO外延膜达到平衡状态的氧含量,发现YBCO外延膜在热力学平衡状态时的氧含量只与退火温度T及氧分压P_(O2)等热力学状态函数有关,与是否使用光照退火和吸氧及脱氧速度无关。这也说明光处理电子材料时,光照的作用只会影响反应的速度,而对反应的热力学稳定态不会产生影响。 同时在该部分还讨论了使用XRD测试的方法确定YBCO外延膜氧含量的可行性。这种确定YBCO外延膜氧含量相对变化的方法主要依据是由YBCO粉末材料的XRD-2θ测试和碘滴定法以确定的c轴晶格长度和O含量的线性关系。但是相对于粉末材料,在薄膜材料中,会存在衬底与外延膜的晶格失配、热缺陷、相纯度及界面态等因素,很明显这些因素会影响YBCO外延膜的晶格常数。因此相同氧含量下YBCO外延膜的晶格常数会与YBCO粉末材料的有所差别,所以YBCO外延膜的氧含量与c轴晶格长度的关系与粉末材料所确定的关系会有所差别。在本文的研究中为了排除掉外延膜中晶格失配、热缺陷、相纯度及界面态等因素对c轴晶格长度带来的影响,使用相同生长条件下制备的YBCO外延膜样品进行氧含量的比较。并且由氧含量为6.0及6.9的YBCO外延膜样品所对应的c轴晶格长度确定了实验中所使用的外延膜样品的c轴晶格长度和O含量的线性关系,利用该线性关系计算同类YBCO外延膜样品中氧含量的相对变化。认为该方法虽然不能直接确定YBCO外延膜的绝对氧含量,但是可以较精确地确定YBCO外延膜氧含量的相对变化。 最后在围绕使用光辅助MOCVD法在双轴织构Ni带衬底上生长YBCO外延膜初步研究中,讨论了卤钨灯光照加热方法对Ni带衬底温度的影响。通过比较Ni带衬底与LAO衬底上生长的YBCO外延膜讨论了衬底的热导率对YBCO外延膜生长速度的影响。同时还从热力学角度分析了YBCO外延膜a轴取向及c轴取向生长的原因。 通过对c轴取向YBCO外延膜的生长温度区间的实验发现在Ni带衬底上生长c轴取向YBCO外延膜的最佳设定温度约为770oC,而在LAO衬底上生长c轴取向YBCO外延膜的最佳设定温度在800oC左右。其主要原因有两点,其一是在卤钨灯光照加热衬底时,由于Ni带衬底与LAO衬底的透光特性不同,而造成了衬底与托盘之间的导热特性不同。对于LAO衬底而言,其加热方式为衬底托盘对LAO导热进行加热;而对于Ni衬底而言,则是被卤钨灯直接加热,并且还需衬底托盘与其有良好的接触来进行均匀散热。这一区别造成了相同设定温度下Ni衬底的实际温度远高于LAO衬底的实际温度。其二是因为Ni是一种良好的导体,而LAO是一种介电材料,Ni衬底的导热性能比LAO要高很多。因此分别以两种材料为衬底生长YBCO外延膜时,在相同的设定生长温度下,Ni衬底表面的反应物原子具有更高的活性,因而更容易形成c轴取向生长。 同时发现在Ni带衬底上c轴取向YBCO外延膜的生长速度远大于LAO衬底上的生长速度。通过两种衬底的热导率不同分析了生长速度不同的原因,认为就Ni衬底及LAO衬底而言,由于其热导率不同,因而表面吸附分子的迁移及反应速度也会不同。Ni相对于LAO具有更强的导热能力,因此更容易给表面吸附分子传递能量。所以在Ni衬底表面,被吸附源分子的迁移及反应速度也更快,从而导致在Ni衬底上的YBCO外延膜生长速度更快。 另外本论文从热力学角度分析了YBCO外延膜a轴取向及c轴取向生长的原因,认为YBCO外延膜的c轴取向和a轴取向生长为两种不同的热力学稳定态。a轴取向YBCO外延膜生长所需的生长温度低于c轴生长温度这一现象表示形成a轴取向YBCO外延膜所需要克服的激活能低于c轴取向生长所需要克服的激活能。然而在a轴取向YBCO外延膜的高温退火实验中也发现,长时间的高温退火可以导致a轴取向外延膜向c轴取向转变,但是c轴取向外延膜不会向a轴取向转变,这一现象说明YBCO的c轴取向比a轴取向具有更低的自由能。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TM262

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 左然,张红,刘祥林;径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟[J];半导体学报;2005年05期
2 胡倾宇;路荣涛;郭玉良;;用三源热共蒸法制备的二十厘米长涂层导体及其显微结构[J];低温物理学报;2005年S1期
3 杨德林,孟令启,李志成,胡行,郭益群,高之爽;YBa_2Cu_3O_(7-x)的高温氧呼吸特性[J];低温与超导;2001年01期
4 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清;Ba-Y-Cu氧化物液氮温区的超导电性[J];科学通报;1987年06期
5 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,倪泳明,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清,王昌庆;液氮温区的新氧化物超导体[J];科学通报;1987年11期
6 唐有祺,吴念祖,桂琳琳,林炳雄,郑香苗,刘振义,尹道乐,吴克,张文斌,温庆哲;利用XPS研究Y-Ba-Cu-O超导体(Ⅱ)[J];物理化学学报;1988年02期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 方秀军;采用光辅助MOCVD方法生长YBCO薄膜和厚膜及其特性研究[D];吉林大学;2008年
2 李国兴;以光辅助MOCVD法制备大面积YBa_2Cu_3O_(7-x)高质量高温超导外延膜的初步研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 彭新村;中红外InAsSb材料的MOCVD生长特性研究[D];吉林大学;2007年
2 李善文;光辅助MOCVD法制备大面积高质量YBa_2Cu_3O_(6.9)高温超导膜[D];吉林大学;2009年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 方天申;;LC串联电路非共振固有振荡与数学描述[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年01期
2 聂宇宏;刘勇;姚寿广;;径向三重流MOCVD反应器壁面温度的数值模拟[J];半导体学报;2007年01期
3 刘勇;聂宇宏;姚寿广;;壁面特性对径向三重流MOCVD反应器壁面温度分布的影响[J];半导体学报;2007年06期
4 左然;李晖;;MOCVD反应器的最佳输运过程及其优化设计[J];半导体学报;2008年06期
5 李弋可;王文兴;颜国正;;消化道胶囊内窥镜的磁引导驱动[J];北京生物医学工程;2008年04期
6 李继军;陈海燕;;无限大界面处表面等离子激元特性研究[J];江西师范大学学报(自然科学版);2009年04期
7 何锡武,刘晓明,代义军;高温超导磁体的测量和控制系统[J];船电技术;2002年06期
8 韩跃,张丰元,陈浩树,张超骥,任瑛;紧凑型两维超导磁体[J];船电技术;2004年02期
9 徐建中;冯遵安;;超导磁体技术在电力系统中的应用[J];长春理工大学学报(自然科学版);2009年03期
10 漆汉宏,魏艳君,王天生,田永君;硅双晶结高温超导直流量子干涉器件[J];传感器技术;2001年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 李建宝;汪越胜;;声带隙材料能带结构的有限元分析[A];北京力学会第14届学术年会论文集[C];2008年
2 唐文彬;代义军;;传导冷却的高温超导磁体电流引线数值优化设计[A];湖北省电工技术学会2004年学术年会论文集[C];2004年
3 彭楠;熊联友;刘立强;陆文海;张亮;;3T超导螺线管标准磁铁的研制[A];第八届全国低温工程大会暨中国航天低温专业信息网2007年度学术交流会论文集[C];2007年
4 刘英亮;王建平;;非线性光谱中几个易混淆的概念[A];第十六届全国分子光谱学学术会议论文集[C];2010年
5 俞志毅;叶红娟;陆卫;沈学础;;多晶γ(Sr_xBa_(1-x))_2Ca_3O_(3-y)的远红外光谱研究[A];全国第五届分子光谱学术报告会文集[C];1988年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈阳;驻极体中空间电荷新型测量方法研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 岳宏卫;高温超导约瑟夫森结及阵列毫米波特性研究[D];南开大学;2010年
3 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
4 刘娟秀;YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学/辐照特性研究[D];电子科技大学;2010年
5 肖波;纳米管反应机理和石墨烯分子设计的理论研究[D];吉林大学;2011年
6 唐军;半导体和氧化物表面石墨烯的生长和结构表征及锰掺杂碳化硅稀磁半导体研究[D];中国科学技术大学;2011年
7 赵宏伟;基于Bogoliubov-de Gennes理论的高温超导涡旋态相变研究[D];上海大学;2011年
8 钟树泉;MOCVD设备工艺优化理论与低温InP/Si晶片键合机理的研究[D];北京邮电大学;2010年
9 刘璐;YBCO块材组合在永磁轨道上方的动态性能实验研究[D];西南交通大学;2011年
10 李婧;扁平型三相绕组上方高温超导磁体力学性能研究[D];西南交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨志文;纳米氧化锌和金刚石的导电性第一性原理研究[D];大连理工大学;2010年
2 袁洪亮;聚硅烷电子输运性质的理论研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
3 肖国华;微分求积方法在厚板振动分析中的应用[D];北京交通大学;2011年
4 张志刚;约瑟夫森结电流特性的研究[D];烟台大学;2010年
5 王璐;自洽平均场理论在一维亚铁磁链中的应用[D];杭州师范大学;2010年
6 于淼;MOCVD工艺沉积YBCO超导层实验研究[D];电子科技大学;2011年
7 冷利;单壁碳纳米管的电子结构理论计算与分析[D];沈阳工业大学;2010年
8 李祖娟;Fe_(1.05-x)Cu_xSe_(0.5)Te_(0.5)系统的Cu替代效应研究[D];浙江大学;2011年
9 郭忠杰;硅基InN单晶薄膜的RF-MBE生长及其特性研究[D];吉林大学;2011年
10 黄爱群;铁磁畴壁附近稀少巡游电子的结构研究[D];南京大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张佳文,高鸿楷,张济康,杨永;MOCVD过程中回流现象的数值模拟[J];半导体学报;1994年04期
2 何文俊,曹必松,张晓平,魏斌,朱美红,张国勇,姚克闲,郜龙马,郭旭波,何山,尹哲胜,高葆新;移动通信GSM900系统用高温超导滤波器设计与测试[J];低温物理学报;2003年02期
3 郭旭波,曹必松,魏斌,朱美红,何文俊,尹哲胜,何山,高葆新;CDMA系统用高温超导滤波器的设计[J];低温物理学报;2003年S1期
4 胡倾宇;路荣涛;郭玉良;;用三源热共蒸法制备的二十厘米长涂层导体及其显微结构[J];低温物理学报;2005年S1期
5 尹哲胜;魏斌;曹必松;郭旭波;张晓平;何文俊;何山;郜龙马;朱美红;高葆新;;一种800MHz无线通信用高温超导滤波器的研究[J];低温物理学报;2006年03期
6 张强;孟庆端;黄建冬;孙亮;李翡;黎红;何艾生;张雪强;顾长志;罗强;李春光;何豫生;;适用于3G移动通讯的高温超导窄带滤波器[J];低温物理学报;2006年03期
7 李翡;张雪强;孟庆端;李春光;何艾生;李顺洲;黎红;何豫生;罗强;顾长治;;适用于雷达系统的高温超导窄带滤波器[J];低温物理学报;2006年03期
8 袁美萍,罗乐;MOCVD快速沉积的YBCO/Ag厚膜的微结构与超导性能研究[J];低温物理学报;1995年04期
9 高之爽,候志坚,杜宝石,祝长宇,王晨旭,丁式平,刘福绥;YBa_2Cu_3O_(7-x)高温电阻率与氧含量的关系[J];低温与超导;1988年04期
10 杨德林,孟令启,李志成,胡行,郭益群,高之爽;YBa_2Cu_3O_(7-x)的高温氧呼吸特性[J];低温与超导;2001年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王瑞兰,李宏成,J.Geerk;YBa_2Cu_3O_7外延薄膜可重复的电子隧道谱[J];低温物理学报;1990年04期
2 魏旺水,龚尚敏,罗乐,胡素辉;用硝酸盐共分解法所得的超导粉料制备Ag-YBCO复合带材[J];低温物理学报;1992年02期
3 刘东,杨涛,李建平,汪京荣,吴晓祖,王家素,王素玉;YBCO烧结材料R_s-J_e实验曲线中的反比关系[J];科学通报;1992年01期
4 张莉;YBCO掺杂效应研究[J];兰州理工大学学报;2004年01期
5 谢义元,袁凤池,程彬吉,陈继平,钟勇,崔炳燊;动态MOCVD连续制备YBCO/Ag超导带的微观结构[J];低温与超导;1994年01期
6 朱亚彬,周岳亮,王淑芳,刘震,熊季午,陈正豪,吕惠宾,杨国桢,肖玲,任洪涛,焦玉磊,郑明辉;电泳法(EPD)制备YBCO超导涂层的微结构及其性质[J];低温与超导;2004年01期
7 马衍伟,肖立业;第2代高温超导YBCO涂层导体的发展及其应用[J];科学通报;2005年01期
8 杨德林,孟令启,李志成,胡行,郭益群,高之爽;YBa_2Cu_3O_(7-x)的高温氧呼吸特性[J];低温与超导;2001年01期
9 王秋良,安承武,王又青,李再光;脉冲激光淀积高电流密度的YBCO超导带材[J];中国激光;1997年09期
10 马海霞,徐克西;磁场下高温超导YBCO颗粒膜的非平衡微波响应[J];低温物理学报;2000年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵桂荣;赵高扬;张黄莉;;溶胶-凝胶法制备感光性YBCO凝胶薄膜的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
2 陈绍楷;周廉;王克光;吴晓祖;张平祥;冯勇;;添加CeO_2的PMP法YBCO组织结构特征[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 周萍;张永彬;黄火根;蒋春丽;;PLD在SrTiO_3(100)晶面沉积YBCO薄膜性能分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
4 邹小卫;王智河;张宏;;Na掺杂对MTG YBCO钉扎势U(T,H)的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
5 陶伯万;张鹰;陈家俊;刘兴钊;何世明;李言荣;;大面积双面YBCO高温超导簿膜的均匀性分析[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 赵跃;刘敏;董杰;梁锦霞;何嘉;索红利;周美玲;;等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7 高之爽;胡行;刘大军;杨德林;郭郑元;李志成;王忠建;谢耀东;戴思聪;曾建晟;;YBCO纯化技术的工业应用[A];变压吸附设备技术交流会论文集[C];2004年
8 刘敏;刘丹敏;董杰;赵跃;刘星;索红莉;周美玲;;单晶Ag基底上YBCO膜外延机理的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 王三胜;韩征和;陈胜;史锴;杜鹏;裘蕾;王林;;YBCO覆膜导体制备新技术及其进展[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10 王三胜;韩征和;史锴;陈胜;吴锴;孙志勇;刘庆;;全化学溶胶-凝胶方法在Ni金属基带上金属氧化物的制备及其在YBCO覆膜导体制备中的应用研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前9条
1 记者 张孟军;第二代百米高温超导导线问世[N];科技日报;2005年
2 李禾;吕惠宾:让分子无处遁形[N];科技日报;2004年
3 ;超导列车——德国的梦[N];科技日报;2004年
4 本报记者 周芳燕;西北有色金属研究院超导材料研究取得突破性进展[N];中国高新技术产业导报;2002年
5 记者 张可喜;超导产业前景阔[N];新华每日电讯;2000年
6 张怀忠;百米长高温超导带材制成[N];中国矿业报;2000年
7 记者 周文斌;首台GSM移动通信用高温超导滤波器诞生[N];光明日报;2002年
8 本报记者 常丽君;国家电网也追绿色时尚[N];科技日报;2010年
9 本报记者 杨靖;第一根百米高温超导带材[N];科技日报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘娟秀;YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学/辐照特性研究[D];电子科技大学;2010年
2 高锋;化学溶液法制备YBCO超导层及钙钛矿结构导电缓冲层的研究[D];东北大学;2009年
3 杨坚;YBCO涂层导体长带与厚膜制备技术及钉扎机制研究[D];北京有色金属研究总院;2013年
4 金利华;YBCO涂层导体的化学溶液沉积制备技术及超导性能研究[D];陕西科技大学;2013年
5 刘慧舟;实用化YBCO高温超导带材制备与性能研究[D];北京有色金属研究总院;2012年
6 李善文;组份比例及衬底材料影响YBCO外延膜的光辅助MOCVD法生长特性研究[D];吉林大学;2012年
7 张子立;聚合物对超导材料微观结构及超导性能的影响研究[D];北京工业大学;2013年
8 蔡衍卿;高温超导材料液相外延生长过程中的取向控制以及热稳定性能的研究[D];上海交通大学;2008年
9 李英楠;YBaCuO膜及其金属基带和缓冲层的制备与研究[D];东北大学;2010年
10 张黄莉;钇钡铜氧超导薄膜及其微细图形化新方法研究[D];西安理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱东亮;原位外延生长YBCO薄膜及取向控制[D];苏州大学;2010年
2 肖山;直流溅射法制备YBCO带材研究[D];电子科技大学;2010年
3 戴邵康;液相源金属有机物化学气相法制备YBCO高温超导薄膜[D];电子科技大学;2010年
4 刘宇;高温超导YBCO薄膜中纳米氧化物结构的制备与研究[D];南昌大学;2010年
5 严武卫;用化学溶液法快速制备YBCO超导薄膜的研究[D];陕西师范大学;2011年
6 王道云;磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜研究[D];郑州大学;2011年
7 范俊;脉冲激光沉积制备YBCO薄膜:激光诱生大颗粒的消除以及c轴择优外延生长研究[D];苏州大学;2011年
8 赫连豪;YBCO超导材料在天线中的应用研究[D];解放军信息工程大学;2011年
9 黄扬;YBCO超导薄膜快速制备工艺研究[D];西南交通大学;2012年
10 徐亚新;YBCO高温超导薄膜的溅射法快速制备研究[D];电子科技大学;2013年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026