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《吉林大学》 2005年
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新型TiO_2紫外探测器的研制

刘彩霞  
【摘要】:本论文的主要研究工作是以TiO_2薄膜为基体材料的金属-半导体-金属(MSM)结构的光导型紫外探测器。首先,我们利用溶胶—凝胶法制备了纳米晶TiO_2薄膜材料,通过XRD、AFM、XPS等表征手段对不同热处理温度下的薄膜材料的性质进行研究,了解其结构和光学性质的变化规律,从而选择适宜的条件制备符合设计要求的基体材料。然后,利用射频磁控溅射法在TiO_2薄膜上溅射金属Al形成欧姆接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。对TiO_2基紫外探测器的一些光电特性作了初步的测试,发现探测器在230-280nm的紫外波段有较好的响应。在250nm波长处我们测量了响应度和外加偏压的关系,响应度随外加偏压的增加而近似线性增加,在5V时达到饱和。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TN23

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【参考文献】
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