收藏本站
《吉林大学》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

氧化锌薄膜的制备及性能研究

范希梅  
【摘要】:本研究利用Nd-YAG 激光器(波长为1064nm, 频率为10Hz)做光源,采用纯金属锌靶,以Si(111)和石英玻璃为基体在有氧的气氛中通过激光烧蚀锌靶表面来制备氧化锌薄膜以及锌膜直接退火氧化的方法制备氧化锌薄膜。首次成功地利用1064nm 波长的激光器制备了含有很少液滴的ZnO 薄膜。通过优化激光能量密度、氧气压力和基体温度等工艺参数能成功地在Si(111)基体上制备出(002)择优取向的ZnO 薄膜,以及在低温下在石英玻璃基体上制备出单一的(002)取向的ZnO 薄膜。PL 谱的结果表明该薄膜有强的紫外光发射和弱的深水平发射。首次发现通过锌膜直接退火氧化制备的氧化锌薄膜具有单一紫光发射性能,紫光发射与ZnO 薄膜的内部缺陷有关。
【学位授予单位】:

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李璠;李冬梅;戴江南;王立;蒲勇;方文卿;江风益;;缓冲层厚度对Ti/Si模板上生长ZnO薄膜的影响[J];南昌大学学报(理科版);2007年02期
2 蔡少敏;;阴极电沉积法制备ZnO薄膜[J];山西建筑;2008年24期
3 郑春蕊;;超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究[J];材料导报;2010年S1期
4 张苓;刘杰;侯明东;孙友梅;段敬来;姚会军;莫丹;陈艳峰;;改进的SILAR法制备ZnO薄膜及其表征[J];原子核物理评论;2009年02期
5 易贵华,尹洪禹;沉积ZnO膜的MOCVD装置的研制[J];真空;2001年06期
6 杨留方,赵景畅,吴兴惠;掺杂ZnO臭氧敏感特性研究[J];仪表技术与传感器;2000年12期
7 舒小林,胡望宇,王玲玲,张邦维,黄杨程,宋应东,肖汉宁;掺杂对纳米ZnO粉末晶粒度和结构的影响[J];湖南大学学报(自然科学版);2001年04期
8 方泽波,朋兴平,谭永胜,何志巍,王印月;ZnO∶Tb透明导电薄膜的制备及其特性研究[J];稀有金属;2004年03期
9 贺洪波,范正修,姚振钰,汤兆胜;GaN蓝光材料新型ZnO/Si外延衬底的溅射沉积[J];中国科学E辑;2000年02期
10 井立强,孙晓君,郑大方,徐跃,李万程,蔡伟民;ZnO超微粒子的量子尺寸效应和光催化性能[J];哈尔滨工业大学学报;2001年03期
11 刘文静 ,樊惠玲 ,李春虎 ,郭汉贤;CO对ZnO脱硫行为的影响[J];太原科技;2001年06期
12 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
13 吕敏峰,崔作林,张志焜;Sol-Gel法制备ZnO∶Al透明导电薄膜[J];材料科学与工程;2003年02期
14 刘晓存,李艳君,单连梅;ZnO和CaF_2对C_3S和C_4A_3矿物形成的影响[J];建筑材料学报;2003年01期
15 颜建锋,梁红伟,吕有明,刘益春,李炳辉,申德振,张吉英,范希武;利用P-MBE在Si(111)衬底上生长氧化锌薄膜及其光学性质的研究[J];红外与毫米波学报;2004年02期
16 肖胜根;甘国友;严继康;;浅谈ZnO压敏电阻器低压化[J];佛山陶瓷;2006年05期
17 肖胜根;甘国友;严继康;;ZnO压敏电阻器低压化浅谈[J];中国陶瓷工业;2006年04期
18 范希梅;连建设;;沉积温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响[J];材料热处理学报;2007年01期
19 吴尝;朱克荣;马永青;;固相反应法制备ZnO纳米晶的变温拉曼光谱[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2011年07期
20 郭常新,傅竹西,施朝淑;阴极射线激发下ZnO薄膜室温紫外发光的超线性增长规律[J];发光学报;1998年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周红;隋成华;陈乃波;许晓军;魏高尧;蔡萍根;;在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜的方法及光学性能分析[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
2 阳生红;张日理;汤健;王旭升;;溶胶-凝胶法制备Al-Y共掺杂ZnO薄膜及其性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
3 江浩;顾锋;李春忠;;水含量对溶剂热合成ZnO微结构的影响[A];中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集(上)[C];2008年
4 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化—ZnO薄膜技术[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
5 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化——ZnO薄膜技术[A];2001年全国电子电镀年会论文集[C];2001年
6 王齐;周大成;邱建备;;稀土掺杂ZnO材料的发光特性研究进展[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
7 吴尝;朱克荣;周广东;;ZnO纳米晶的拉曼光谱[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
8 张铮;黄运华;李萍;廖庆亮;张跃;;基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
9 周小芳;;准单晶ZnO薄膜的制备及其光学特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
10 朱瑞;许宏钧;孙杨慧;张敬民;陈莉;徐军;俞大鹏;;原位观察单根ZnO纳米线同质外延生长[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前7条
1 本报记者 梁红兵;关注超高亮度LED产业化[N];中国电子报;2002年
2 本报记者 李宏乾;纳米涂料:大力发展 谨慎宣传[N];中国化工报;2002年
3 张军民高鹏飞;纳米氧化锌在断奶子猪饲料中的应用[N];中国畜牧兽医报;2008年
4 记者 赵伟 通讯员 郑原驰;2008年度全省科技进步奖揭晓[N];长春日报;2008年
5 郑原驰 记者 李林岩;省科学技术进步奖揭晓[N];吉林日报;2008年
6 韩文;韩国使用高效光催化活性剂制造抗菌陶瓷[N];中国包装报;2009年
7 记者魏公铭;氧化锌纳米颗粒杀菌分子机理取得新进展[N];中国食品报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 范希梅;氧化锌薄膜的制备及性能研究[D];吉林大学;2005年
2 胡懿;氧氩比和氢离子注入对ZnO薄膜微结构及光学性能的影响[D];武汉大学;2010年
3 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
4 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
5 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
6 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
7 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
8 李永峰;ZnO薄膜及其光电子器件中的晶格失配与应力问题研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 杨通;P型ZnO薄膜的制备及其结构、光学和电学性质的研究[D];吉林大学;2011年
10 高世勇;ZnO薄膜和纳米结构的制备及其特性研究[D];吉林大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陆何俊;氧化锌薄膜的制备与性能研究[D];吉林大学;2005年
2 锁雅芹;Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及光学性质研究[D];兰州大学;2010年
3 吴定才;Co、Cu共掺杂ZnO薄膜的制备及性质研究[D];四川师范大学;2010年
4 李爽;ZnO薄膜的制备及其光学性质的研究[D];山东建筑大学;2010年
5 范晓玲;磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制[D];山东理工大学;2010年
6 高振杰;射频磁控溅射法制备ZnO:Eu~(3+)薄膜及其发光研究[D];广东工业大学;2011年
7 谢炜;ZnO与TiO_2的光催化及其光电转换耦合性能的比较[D];武汉理工大学;2010年
8 蒋志昂;磁控溅射制备ZnO透明导电薄膜的研究[D];兰州大学;2010年
9 吕金鹏;Al~(3+)掺杂抗静电改性ZnO颜料制备及其质子辐照效应[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 马金雪;ZnO超长微米线的制备及光学性质的研究[D];大连理工大学;2011年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978