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MOEMS阵列光开关的制作与性能测试

王丹  
【摘要】: 微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical System, MOEMS)是微光学、微机械、微电子技术的融合,由于采用了集成工艺制作技术,具有体积小,响应快,集成定位精确,具有大规模生产能力,价格低廉的特点。它的出现为光开关、光衰减器以及滤波器等光纤通信器件的微小型化、大阵列化和低成本化提供了技术上的可能性。因此微光机电系统(MOEMS)是微电子机械系统(MEMS)的一个很有前途的应用领域。 文章首先介绍了基于微光电子机械系统(MOEMS)技术的MEMS光开关的应用范围、研究现状和一些典型的光开关结构。然后在文中详细叙述了一种基于(110)硅片的8×8微光机械阵列光开关产品的结构设计、实验工艺,并进行了产品的封装及性能测试。所研制的阵列光开关单元的pull-in电压为67.2V,插入损耗小于5dB,开关的下降和恢复时间分别为4.2ms和5.4ms,串话小于-50dB。


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