收藏本站
《吉林大学》 2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硼碳氮薄膜的制备及性质研究

刘立华  
【摘要】:采用射频磁控溅射和射频反应性磁控溅射两种方法制备了硼碳氮薄膜。 利用X-射线光电子能谱、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、拉曼光谱、X-射线衍射分析(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见-近红外光谱、硬度测试等多种方法对硼碳氮薄膜进行了分析和表征。首次系统地研究了各个沉积参数对硼碳氮薄膜的组分和厚度的影响,其中主要有气体分压比、基底温度、总气压、射频功率、基底偏压等对硼碳氮薄膜的影响。 首次系统地研究了硼碳氮薄膜的电阻率。研究表明,氮气分压比、基底偏压、射频功率、沉积时间对硼碳氮薄膜的电阻率都有影响。在超高真空条件下测量了硼碳氮薄膜的场发射特性。 研究了硼碳氮薄膜的光透射性质。表明射频磁控溅射方法制备的硼碳氮薄膜的透射率较好。 通过优化实验参数,成功地制备了内应力较低、硬度较高的硼碳氮薄膜,为硼碳氮薄膜的实际应用提供了前提条件。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:O484.1

知网文化
【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王健;磁控溅射制备B-C-N薄膜及其表征[D];大连理工大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 岳金顺,贺德衍,陈光华;BCN薄膜的结构及其内应力研究[J];兰州大学学报;2001年01期
2 马锡英,贺德衍,陈光华;沉积温度对BC_2N薄膜的生长和附着性的影响[J];兰州大学学报;2001年05期
3 黄福林,曹传宝,翟华嶂,邱海林,朱鹤孙;硼碳氮纳米管的溶剂热法制备及其表征[J];人工晶体学报;2004年02期
4 唐璧玉,杨国伟,任志昂,蔡孟秋;BCN三元化合物的简单生长模型[J];物理学报;2000年03期
5 马锡英,贺德衍,陈光华;BC_2N薄膜的柱状生长及生长机理[J];物理学报;2001年10期
6 李俊杰,郑伟涛,卞海蛟,吕宪义,姜志刚,白亦真,金曾孙,赵永年;高温退火对非晶CN_x薄膜场发射特性的影响[J];物理学报;2003年07期
7 谢存毅;纳米压痕技术在材料科学中的应用[J];物理;2001年07期
8 顾广瑞,李英爱,陶艳春,何志,殷红,李卫青,赵永年;纳米厚度氮化硼薄膜的场发射特性[J];液晶与显示;2003年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 冯伟;不同衬底上氮化硼薄膜制备与场发射性质研究[D];吉林大学;2004年
2 李英爱;氮化铝薄膜的制备及场发射性质[D];吉林大学;2004年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 伍军,刘鹏,吴潘,张昭;超声波场中硫酸氧钛的水解研究[J];四川有色金属;2003年03期
2 焦真真;张求慧;李建章;揭淑俊;;芦竹苯酚液化工艺的研究[J];安徽农业科学;2008年12期
3 隋普辉;陆雷;张翠玲;;正交试验法研究锂锌铝硅微晶玻璃的热处理工艺[J];兵器材料科学与工程;2009年03期
4 李建丰;李东仓;欧谷平;张福甲;;有机半导体材料蒽薄膜的生长[J];半导体光电;2008年05期
5 张俊宝;杨晓萍;王秀芳;史弼;宋洪伟;;精细退火GCr15钢各相微观组织纳米压痕表征[J];宝钢技术;2008年02期
6 赵东军,鲁安怀,王丽娟,郑喜坤,刘瑞,郭延军;广西下雷锰矿床中锰钾矿的矿物学特征[J];北京大学学报(自然科学版);2005年06期
7 方莹;谢一飞;吴春芬;李镇;;机械力化学效应对水泥熟料物理性能的影响[J];北京工业大学学报;2012年04期
8 胡钢,许淳淳,张新生;304不锈钢在闭塞区溶液中钝化膜组成和结构性能[J];北京化工大学学报(自然科学版);2003年01期
9 徐瑞芬,许淳淳,欧阳维真,姜宝文;奥氏体不锈钢的马氏体相变对耐蚀性的影响[J];北京化工大学学报(自然科学版);1998年02期
10 胡军,宋剑华,胡军,胡永平,王淀佐;浮选药剂BET在煤与黄铁矿表面作用的ESCA分析[J];北京科技大学学报;2002年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 马辉;虎燕;王水锋;郭敬华;;北京部分地区植物叶面滞尘的XRD研究[A];北京高教学会实验室工作研究会2007年学术研讨会论文集[C];2007年
2 邓静;吴兰鹰;;光驱头悬丝的结构成分和力学性能分析[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
3 关铭;高祀建;朱永昌;刘峻;;含Sm硼硅酸盐玻璃XPS结构研究[A];2005中国硅酸盐学会特种玻璃分会学术研讨会会议论文集[C];2005年
4 许红亮;卢红霞;徐猛;王海龙;张锐;;以碳酸氢铵为沉淀剂制备纳米氧化锌粉体[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(6)[C];2007年
5 江民红;顾正飞;成钢;;<311>轴向取向超磁致伸缩合金的制备与磁致伸缩性能[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
6 唐会毅;王华;张玉碧;张立新;罗维凡;;SiC热电偶保护套管的微观组织对其服役寿命的影响分析[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
7 王锐;周敬;李文竹;黄磊;;X射线衍射法织构测定参数的探讨[A];第七届(2009)中国钢铁年会论文集(下)[C];2009年
8 吴成昌;肖夏;赵新为;张生才;;纳米晶体硅量子点场发射冷阴极的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
9 王翠玲;黄小文;刘秀波;张军;王延敏;杨智宁;柳宏;计亚平;谷亦杰;;温度对LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2晶粒大小的影响[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
10 郭永恒;李波;;铝土矿定量方法的探讨[A];有色金属工业科技创新——中国有色金属学会第七届学术年会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高健;活性半焦低温催化氧化脱除烟气中NO的研究[D];中国海洋大学;2010年
2 韩国才;几种典型Dy~(3+)激活磷酸盐基材料的制备及真空紫外发光性质研究[D];兰州大学;2010年
3 李兵云;粉单竹SCMP漂白中木素结构变化及生物酶改善漂白性能的研究[D];华南理工大学;2010年
4 章闻奇;几种微电子材料的制备、表征与性能研究[D];南京大学;2011年
5 何胜;燃煤烟气汞催化氧化的试验和机理研究[D];浙江大学;2009年
6 冯林永;大洋多金属结核合成锂离子筛与吸附基础研究[D];昆明理工大学;2009年
7 陈亮维;大变形叠轧制备超细晶铜材织构组织演变规律研究[D];昆明理工大学;2009年
8 胡园园;含氟丙烯酸酯聚合物共混乳液自组织形成梯度结构膜研究[D];武汉理工大学;2010年
9 杨平;常压等离子体聚合共轭聚合物荧光纳米颗粒的研究[D];东华大学;2010年
10 张新卫;直接乙醇燃料电池新型阳极催化剂的研究[D];北京交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 牛方;磷酸酯粘结剂诱导生成羟基磷灰石晶体的实验研究[D];郑州大学;2010年
2 王建军;镍钛合金堵闭器钽镀层的制备与性能研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 管昌雨;反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜[D];大连理工大学;2010年
4 李强;水合肼液相还原法制备纳米铜粉的研究[D];大连理工大学;2010年
5 王萍;改性活性半焦脱除烟气中NO_X的研究[D];中国海洋大学;2010年
6 于亚芹;钒酸铋光催化材料的制备及其光催化性能的研究[D];中国海洋大学;2010年
7 陈强;热循环条件下热障涂层断裂韧性和残余应力的测试分析[D];湘潭大学;2010年
8 吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
9 韩立娟;SiO_2对小麦面筋蛋白膜物理性能的影响及机理研究[D];河南工业大学;2010年
10 高良秋;溶胶—凝胶法制备NiCuZn铁氧体薄膜和粉体的研究[D];兰州大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 徐淑艳;马欣新;孙明仁;;磁控溅射制备BCN薄膜纳米力学和摩擦磨损行为的研究[J];摩擦学学报;2006年06期
2 谢存毅;纳米压痕技术在材料科学中的应用[J];物理;2001年07期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 管昌雨;反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜[D];大连理工大学;2010年
2 吴占玲;磁控溅射法制备的Al-Mg-B薄膜的研究[D];大连理工大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 雷明凯,袁力江,张仲麟,马腾才;等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究[J];无机材料学报;1999年01期
2 马锡英,岳金顺,贺德衍,陈光华;立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究[J];物理学报;1998年05期
3 丁邦建,王维彪;阳极氧化条件对多孔硅冷阴极场发射特性的影响[J];液晶与显示;2000年04期
4 顾广瑞,何志,李英爱,王翠,冯伟,赵永年;氮化硼薄膜的场致发射特性[J];液晶与显示;2002年01期
5 姚振华,朱长纯,程敏,刘君华;碳纳米管高温热稳定性与结构的关系[J];液晶与显示;2002年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王玉新;郑亚茹;宋哲;冯克成;;射频功率对硼碳氮薄膜的组分和厚度的影响[J];辽宁师范大学学报(自然科学版);2008年02期
2 王玉新;郑亚茹;王晓玉;王晓雪;董李娜;宋哲;;氮气分压比对硼碳氮薄膜的组分及光学带隙的影响[J];辽宁师范大学学报(自然科学版);2011年01期
3 王玉新;郑亚茹;宋哲;冯克成;赵永年;;FTIR法研究BCN薄膜的内应力[J];光谱学与光谱分析;2008年07期
4 龚恩乐;刘镒;方之颢;于杰;;工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶度的影响(英文)[J];世界科技研究与发展;2008年06期
5 王玉新;郑亚茹;宋哲;冯克成;;沉积参量对硼碳氮薄膜光透过性质的影响[J];功能材料;2008年06期
6 王玉新;冯克成;张先徽;王兴权;赵永年;;射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜[J];功能材料;2007年06期
7 王玉新;冯克诚;吴云;赵永年;;硼碳氮薄膜的内应力研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2006年01期
8 冯先进;马瑾;葛松华;计峰;王永利;杨帆;马洪磊;;蓝宝石衬底SnO_2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质[J];物理学报;2007年08期
9 郭庆林;崔永亮;陈剑辉;张金平;怀素芳;刘保亭;陈金忠;;磁控溅射沉积薄膜实验参数优化光谱诊断[J];光谱学与光谱分析;2010年12期
10 赵梦遥;李明标;;溅射气压对射频磁控溅射制备ZnO薄膜结构的影响[J];渤海大学学报(自然科学版);2011年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 童俊军;刘秋香;蒋艳萍;唐新桂;;气氛对射频磁控溅射NiFe_2O_4薄膜性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
2 杨利;庄惠照;魏芹芹;孙振翠;郭兴龙;董志华;高海永;薛成山;;氨化磁控溅射Ga_2O_3膜在Si(111)衬底上制备GaN纳米棒[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3 任雪勇;谢泉;杨吟野;肖清泉;杨创华;曾武贤;梁艳;;溅射功率对Ca_2Si薄膜性质的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
4 亢原彬;吴景波;邓湘云;李德军;;工作气压对ZrB_2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
5 邵利民;;双线性矩阵类型数据的TFA结果与组分化学性质的关系研究[A];中国化学会第27届学术年会第15分会场摘要集[C];2010年
6 郑树凯;王天民;王聪;郝维昌;潘锋;;射频磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
7 莫尚军;张继华;;应用于DRAM的高性能钛酸锶钡薄膜的制备研究[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
8 张天舒;刘文清;高闽光;徐亮;;开放光路FTIR痕量气体多组分监测方法研究[A];中国气象学会2006年年会“大气成分与气候、环境变化”分会场论文集[C];2006年
9 张学华;曹猛;杨瑾;刘桐;王明霞;李德军;邓湘云;;Ar/N_2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
10 唐海军;杨传仁;陈宏伟;张继华;冯术成;;后处理工艺对BST薄膜残余应力的影响的分析[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 李大庆;字画真假:科技也能说了算[N];科技日报;2004年
2 吕工;药物仪器分析方法的应用与展望[N];中国医药报;2001年
3 本报记者 张家驹;而今迈步从头越[N];中国机电日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘立华;硼碳氮薄膜的制备及性质研究[D];吉林大学;2006年
2 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
3 孙明波;聚合物/粘土/碱金属离子插层复合物结构与性能研究[D];山东大学;2005年
4 贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
5 樊攀峰;RF磁控溅射及LSMCD法制备铁电薄膜的研究[D];天津大学;2005年
6 冯先进;高质量SnO_2薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2008年
7 张栋文;GaSe晶体太赫兹时域光谱及差频产生太赫兹辐射源研究[D];国防科学技术大学;2008年
8 张锡健;MgZnO薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2006年
9 张浴晖;射频磁控溅射法制备FC/ZnO有机—无机杂化材料及其结构与性能研究[D];东华大学;2008年
10 郑朝丹;铁酸铋系列多铁材料的制备及电性能研究[D];华中科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董志华;硅基SiC中间层辅助法合成GaN薄膜和纳米线的研究[D];山东师范大学;2005年
2 林方婷;纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究[D];华东师范大学;2005年
3 祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
4 高海永;ZnO薄膜的制备及氨化Ga_2O_3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究[D];山东师范大学;2005年
5 梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
6 唐鹏举;纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究[D];华中科技大学;2007年
7 刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
8 李娇;氧化锌纳米结构与薄膜的制备及光学特性研究[D];大连理工大学;2008年
9 彭家根;PZT热释电薄膜材料的研究[D];电子科技大学;2005年
10 赵莉;钛酸锶钡非线性铁电薄膜的尺寸效应研究[D];电子科技大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026