收藏本站
《吉林大学》 2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

沉积条件对Ti/TiN,CrN/SiN_x纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及其热稳定性

白晓明  
【摘要】:本文详细研究了沉积参数如溅射压强、衬底偏压和衬底温度对CrN/Si_3N_4和Ti/TiN纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响,并通过多层膜在真空炉中不同温度2小时退火和确定温度如900℃退火不同时间2-4小时研究其热稳定性。通过XRD对多层膜的微观结构进行了分析,通过XRR对多层膜的周期结构和界面结构进行了分析,利用AFM获得了多层膜的表面粗糙度信息,利用连续刚度法在纳米压痕仪上测量了纳米多层膜的硬度和弹性模量。在CrN/Si_3N_4纳米多层膜中通过变化Si_3N_4层的厚度来模拟Cr-Si-N纳米复合膜中的Si_3N_4界面,探讨Si_3N_4层厚对多层膜微观结构、热稳定性和硬度的影响;在Ti/TiN纳米多层膜中引入Si_3N_4间层以改善其热稳定性。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TB383.1

手机知网App
【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘东光;纳米结构碳氮基薄膜的设计与机械性能[D];浙江大学;2011年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高绍璞,陈彦,张震东;现代生物显微技术的现状与发展趋势[J];安徽农业科学;2003年02期
2 王家楫,唐凌;深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜[J];微纳电子技术;2002年02期
3 苏景云;原子力显微镜微悬臂变形位移的理论计算[J];微纳电子技术;2004年12期
4 傅惠南,王宏霞,区仲荣;扫描探针制备技术的研究现状及发展[J];微纳电子技术;2005年05期
5 林炜;马瑞新;;高温超导YBCO薄膜及其制备[J];微纳电子技术;2006年08期
6 常同钦;;纳米材料的测试与表征[J];微纳电子技术;2006年10期
7 万军鹏;;玻璃表面镀膜方法简介[J];玻璃;2009年11期
8 傅明喜,李岩,查燕青,宗华,卢永惠;工艺参数对Ti和NdFeB薄膜形态的影响[J];表面技术;2005年05期
9 周兰英;和庆娣;程平;;基体表面形貌对膜基结合强度影响规律的研究[J];表面技术;2006年02期
10 梅芳;弓满锋;李玲;;溅射技术在SiC薄膜沉积中的应用和工艺研究进展[J];表面技术;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 董晓坤;方勇纯;周娴玮;张玉东;;基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
2 张玉东;方勇纯;董晓坤;周娴玮;;基于预测轨迹逆控制的AFM扫描方法[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
3 董晓坤;方勇纯;张玉东;;一种基于临近点集数据融合的AFM动态成像方法[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
4 王志红;周宇;沈博侃;陈琨;;TbFe磁性薄膜的磁力显微镜成像研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(3)[C];2007年
5 钱建强;李渊;华宝成;李英姿;;火星探测原子力显微镜几个关键技术的研究[A];中国宇航学会深空探测技术专业委员会第六届学术年会暨863计划“深空探测与空间实验技术”重大项目学术研讨会论文集[C];2009年
6 张继凯;朱昌;苏俊宏;;气体流量控制对磁控溅射Al_2O_3薄膜的影响[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
7 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;;掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
8 俞晓正;沈志刚;;磁控溅射在空心微珠颗粒表面制备不同金属膜的研究[A];颗粒学前沿问题研讨会——暨第九届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
2 付永忠;基于AFM和硫系相变材料的超高密度数据存储机理研究[D];江苏大学;2010年
3 王亚珍;基于热力耦合的界面摩擦机理的研究[D];华南理工大学;2010年
4 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
5 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
6 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
7 宋静;小分子化合物J2作用于大鼠角膜细胞的体外及体内实验研究[D];中国人民解放军军医进修学院;2011年
8 岳红云;柔性衬底薄膜光伏电池相关材料制备及性能[D];大连理工大学;2011年
9 赵婧;基于金纳米颗粒构建新型生物传感器的研究[D];南京大学;2011年
10 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周书刚;真空阴极弧制备纳米复合Zr-C-N薄膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
3 张萍;激光合成波长干涉技术的信号处理方法研究[D];浙江理工大学;2010年
4 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
5 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
6 孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
7 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
8 张心怡;基于稳定固溶体合金团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-Mo三元薄膜[D];大连理工大学;2010年
9 王巍;环保型三价铬电镀实验研究[D];大连理工大学;2010年
10 李坤明;陶瓷薄膜(涂层)材料力学性能评价技术研究[D];中国建筑材料科学研究总院;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杜会静;田永君;;超硬纳米多层膜致硬机理研究[J];无机材料学报;2006年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
2 郑冰;非晶碳、非晶碳氮材料以及纳米金刚石的理论研究[D];吉林大学;2006年
3 王晓姹;碳氮基纳米复合薄膜的微观结构和性质[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王晓姹;非晶态碳氮薄膜的微观结构与力学性质[D];天津大学;2005年
2 李瑞玲;磁控溅射CrN/W_2N多层薄膜和Ti/a-C复合薄膜的结构调控及摩擦学性能[D];浙江大学;2010年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 童六牛,何龙庆,鹿牧;Co/Pb多层膜的磁电阻与磁光克尔效应[J];华东冶金学院学报;1999年01期
2 许小红,杨治广,武海顺;[CoPt/Ag]_n纳米多层膜的结构和磁性能[J];中国科学E辑;2005年03期
3 顾卓明;不锈钢多层膜的XTEM研究[J];理化检验.物理分册;1997年12期
4 黄正国,程龙,孙勤枢,刘柏峰,董绍俊;杂多酸-聚(二烯丙基二甲基氯化铵)多层膜在4-氨基硫酚修饰金电极上的组装和电化学行为[J];分析化学;2000年11期
5 张通和 ,吴瑜光;离子束多层膜制备技术和应用(上)[J];机械工人.热加工;2005年06期
6 姚舜晖,苏演良,高文显,刘醇鸿;磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究[J];摩擦学学报;2005年03期
7 张留城,张之栋;共挤出法多层聚合物膜和片材[J];塑料工业;1983年01期
8 安兵,张同俊,袁超,崔崑;一种测量金属固-固相界面自由能的新方法[J];材料科学与工程学报;2003年05期
9 马忠元,韩培高,黄信凡,隋妍萍,陈三钱波,李伟,徐岭,徐骏,陈坤基;快速热退火对a_Si:H/SiO_2多层膜光致发光的影响[J];南京大学学报(自然科学版);2005年01期
10 孙智勇,郑鹉,王艾玲,姜宏伟;NiFeSiMnMo/Cu/NiFeSiMnMo多层膜的非线性巨磁阻抗效应[J];金属功能材料;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 毛旭;周祯来;杨宇;;磁控溅射Ge/Si多层膜的喇曼谱研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 张广安;王立平;吴志国;王君;闫鹏勋;;Al/AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
3 孙一新;任科峰;竺磊泽;计剑;;电化学控制多层膜膜厚和粘弹性的研究[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
4 周丽梅;薛钰芝;钟金德;张兴寰;;Al/Al_2O_3多层膜的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
5 李戈扬;;纳米多层膜的共格外延生长特征与超硬效应[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
6 魏孔芳;王志光;臧航;卢子伟;姚存峰;盛彦斌;马艺准;申铁龙;庞立龙;朱亚滨;;金属多层膜的重离子辐照效应研究[A];第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2009年
7 王勇;杨宏卫;周卫;张怀若;杨宇;;Ge/Si多层膜的低角X射线衍射研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8 辜敏;姚士冰;周绍民;;Co/Cu多层膜的电化学行为[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集(上集)[C];2005年
9 王元生;;Ag/Ni纳米多层膜的点阵应变现象[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
10 郝维昌;王天民;周春兰;魏龙;;慢正电子谱在自组装纳米多层膜研究中的应用[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 曾毅 刘晶华 沈季;吉林大学:用创新成就明天[N];光明日报;2004年
2 本报通讯员 卜立平 沈季 本报记者 朱振国;以人为本 润物无声[N];光明日报;2005年
3 新华社记者 马扬;吉林大学:教授不是“铁饭碗”[N];人民日报;2005年
4 卜立平;吉林大学医学部:学生可以转专业[N];健康报;2006年
5 秦抒 田园 本报记者 金姝;叶对根的深情[N];吉林日报;2006年
6 记者 刘怀 金姝 姜楠;吉大庆祝合校六周年建校六十周年[N];吉林日报;2006年
7 于洪涛;情系学子谱新篇[N];人民邮电;2006年
8 卜立平;建精品基地 重人才培养[N];中国教育报;2005年
9 王曼;充分利用院图书馆特色文献信息资源[N];中国社会科学院院报;2005年
10 本报记者  曾毅;构建大学的道德磁场[N];光明日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 白晓明;沉积条件对Ti/TiN,CrN/SiN_x纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及其热稳定性[D];吉林大学;2006年
2 安涛;TiN/SiN_x纳米多层膜的制备、表征及其断裂行为研究[D];吉林大学;2008年
3 康恩华;偶氮化合物层状薄膜的制备及其功能[D];吉林大学;2007年
4 孙俊奇;纳米结构三维组装与功能化研究[D];吉林大学;2001年
5 马宁;以嵌段高分子胶束为构筑基元的层状组装:一种分步自组装的新方法[D];吉林大学;2007年
6 王林;聚烯丙胺盐酸盐—葡聚糖微凝胶的制备、组装及复合[D];吉林大学;2008年
7 侯长民;ZnO薄膜的取向、缺陷、结构及光学性质的研究[D];吉林大学;2006年
8 王起峰;基于层状吸附—反应技术的金属磷酸盐薄膜的制备及功能化[D];吉林大学;2009年
9 卢迎习;层状组装聚合物薄膜的室温压印[D];吉林大学;2007年
10 林园;层层组装蛋白质薄膜及其在改善细胞相容性上的应用[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘慧慧;有机溶剂对基于卤键的层状组装影响及多层膜在溶剂中的稳定性[D];吉林大学;2010年
2 张继双;多酸阴离子/感光高分子纳米复合多层膜的制备、表征和光诱导相互作用研究[D];东北师范大学;2004年
3 李再轲;TbDyFe/Fe多层膜磁致伸缩及其与压电衬底的磁—电转换性能研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
4 王强;溶胶—凝胶法制备La掺杂钛酸铋薄膜和多层膜及其铁电性质研究[D];苏州大学;2004年
5 张力;金属/氧化物多层膜及新型光伏材料的研究[D];大连交通大学;2004年
6 林炳;软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
7 薛亚飞;Cu层厚度和制备条件对Fe_(40)Co_(60)/Cu/Ni自旋阀在不同应力下巨磁电阻的影响[D];首都师范大学;2008年
8 冯文;锰基钙钛矿三明治多层膜和金属颗粒膜的电磁输运行为研究[D];华中科技大学;2004年
9 张发荣;金属/氧化物与半导体/氧化物多层膜及光伏系统[D];大连交通大学;2005年
10 李健;离子注入NiFeCo/Ag非连续多层膜巨磁电阻效应的研究[D];广东工业大学;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026