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《吉林大学》 2008年
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金刚石对顶砧原位温度测量方法的实验研究

张洪林  
【摘要】: 本论文将薄膜制备和光刻技术与金刚石对顶砧技术相结合,构建了一种在高压下原位温度测量的实验方法。论文采用金属钨和钽薄膜作为热电偶材料,氧化铝薄膜作为绝缘绝热保护层,解决了在DAC中原位测温探头的排布、重金属薄膜光刻图形化和绝热隔离等技术问题,实现了高温高压条件下的原位温度测量。利用此技术对常压、高压下W-Ta热电偶的热电性质做了初步的研究。实验表明,在常压与高压下,热电势随温度的变化关系基本呈线性关系,W-Ta金属薄膜热电偶的热电势不随压力变化,这一研究结果证明了在金刚石对顶砧内实现样品温度原位测量的可行性,使实验温度测量大幅度简化,提高了测试结果的可信度。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TH811

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【引证文献】
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