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等离子体增强化学气相沉积方法制备碳纳米管及其表征

李宗鹏  
【摘要】: 本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD),以金属薄膜作为催化剂,甲烷,氢气为反应气体,制备出多壁碳纳米管。利用SEM、TEM和Raman光谱对制备的碳纳米管进行了表征。研究了实验参数对制备碳纳米管的影响,这些实验参数主要包括催化剂种类、催化剂薄膜的厚度、生长温度、反应气体组成成分、气体压强和生长时间等。通过优化实验参数,我们制备出定向性好的多壁碳纳米管。同时,还制备出了带有结晶分支的非晶碳纳米管,并对其进行了表征,研究了其生长机制。


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