TiN/SiN_x纳米多层膜的制备、表征及其断裂行为研究

【摘要】： 在过去的15年间,超硬涂层的研究得到了迅速发展,研究者制备出大量同时具有优异机械性能和化学性能的超硬涂层,有效提高了材料的强度、表面硬度、耐磨性和高温稳定性等性能,大幅度延长了涂层产品的使用寿命。本文选取TiN/SiN_X纳米多层膜体系作为研究对象,详细地研究了溅射压强、衬底偏压、沉积温度及溅射气体流量比对多层膜的界面结构、相结构及力学性能的影响,在此基础上研究了周期和SiN_X层厚对微结构、力学性能及热稳定性的影响。最后详细研究了多层膜薄膜和衬底的断裂行为。

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3	吕俊霞,马月英,张俊平,曹健林;正入射Mo/B_4C软X射线多层膜[J];光学学报;1998年01期
4	王军华;磁性多层膜的发展概况[J];昌潍师专学报;2000年05期
5	王长征,李胜利,张文强;Fe/Dy非晶多层膜的晶化反应及相演化研究[J];聊城师院学报(自然科学版);2001年01期
6	冯仕猛,赵海鹰,黄梅珍,窦晓鸣;X射线能量分辨率与多层膜测量反射率的关系[J];中国科学G辑;2003年03期
7	邓书康,陈刚,高立刚,陈亮,俞帆,刘焕林,杨宇;离子束溅射制备Si/Ge多层膜的结晶研究[J];人工晶体学报;2005年02期
8	蔡学榆,尹道乐;多层膜超导体的邻近效应[J];物理学报;1981年05期
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10	柯常军,王占山,万重怡,曹健林;18～20nm正入射宽带多层膜的研究[J];中国激光;2000年11期
11	李胜利,王长征,王佩璇;Fe/Dy非晶多层膜晶化反应的热力学及动力学研究[J];中国稀土学报;2000年01期
12	王占山,吴永刚,唐伟星,秦树基,周斌,陈玲燕;软X射线多层膜与衰减膜研究[J];强激光与粒子束;2002年03期
13	郑伟涛,白晓明,安涛;纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展[J];吉林师范大学学报(自然科学版);2004年02期
14	邵淑英,范正修,邵建达;ZrO_2/SiO_2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响[J];物理学报;2005年07期
15	吴自勤;软X射线光学和周期性多层膜[J];物理;1991年11期
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18	刘文汉,伍历文,周凌云,张裕恒,许振嘉;W/Si,WSi_2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性[J];科学通报;1994年07期
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20	邵建达,易葵,范正修,王润文,崔明启;短波长软X射线多层膜高级次峰设计与制备[J];物理学报;1997年11期

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3	周丽梅;薛钰芝;钟金德;张兴寰;;Al/Al_2O_3多层膜的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
4	李戈扬;;纳米多层膜的共格外延生长特征与超硬效应[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
5	魏孔芳;王志光;臧航;卢子伟;姚存峰;盛彦斌;马艺准;申铁龙;庞立龙;朱亚滨;;金属多层膜的重离子辐照效应研究[A];第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2009年
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7	辜敏;姚士冰;周绍民;;Co／Cu多层膜的电化学行为[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集（上集）[C];2005年
8	王元生;;Ag/Ni纳米多层膜的点阵应变现象[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9	郝维昌;王天民;周春兰;魏龙;;慢正电子谱在自组装纳米多层膜研究中的应用[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10	毛旭;周祯来;杨宇;;磁控溅射Ge/Si多层膜的喇曼谱研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年

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1	安涛;TiN/SiN_x纳米多层膜的制备、表征及其断裂行为研究[D];吉林大学;2008年
2	白晓明;沉积条件对Ti/TiN，CrN/SiN_x纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及其热稳定性[D];吉林大学;2006年
3	康恩华;偶氮化合物层状薄膜的制备及其功能[D];吉林大学;2007年
4	孙俊奇;纳米结构三维组装与功能化研究[D];吉林大学;2001年
5	马宁;以嵌段高分子胶束为构筑基元的层状组装：一种分步自组装的新方法[D];吉林大学;2007年
6	王林;聚烯丙胺盐酸盐—葡聚糖微凝胶的制备、组装及复合[D];吉林大学;2008年
7	卢迎习;层状组装聚合物薄膜的室温压印[D];吉林大学;2007年
8	王起峰;基于层状吸附—反应技术的金属磷酸盐薄膜的制备及功能化[D];吉林大学;2009年
9	林园;层层组装蛋白质薄膜及其在改善细胞相容性上的应用[D];吉林大学;2008年
10	邓长春;由金属离子型聚电解质构筑的功能型纳米复合薄膜[D];吉林大学;2008年

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前10条

1	刘慧慧;有机溶剂对基于卤键的层状组装影响及多层膜在溶剂中的稳定性[D];吉林大学;2010年
2	张继双;多酸阴离子/感光高分子纳米复合多层膜的制备、表征和光诱导相互作用研究[D];东北师范大学;2004年
3	李再轲;TbDyFe/Fe多层膜磁致伸缩及其与压电衬底的磁—电转换性能研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
4	王强;溶胶—凝胶法制备La掺杂钛酸铋薄膜和多层膜及其铁电性质研究[D];苏州大学;2004年
5	张力;金属/氧化物多层膜及新型光伏材料的研究[D];大连交通大学;2004年
6	林炳;软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
7	薛亚飞;Cu层厚度和制备条件对Fe_（40）Co_（60）/Cu/Ni自旋阀在不同应力下巨磁电阻的影响[D];首都师范大学;2008年
8	冯文;锰基钙钛矿三明治多层膜和金属颗粒膜的电磁输运行为研究[D];华中科技大学;2004年
9	张发荣;金属/氧化物与半导体/氧化物多层膜及光伏系统[D];大连交通大学;2005年
10	李健;离子注入NiFeCo/Ag非连续多层膜巨磁电阻效应的研究[D];广东工业大学;2002年

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前10条

1	曾毅　刘晶华　沈季;吉林大学：用创新成就明天[N];光明日报;2004年
2	新华社记者　马扬;吉林大学：教授不是“铁饭碗”[N];人民日报;2005年
3	秦抒田园本报记者金姝;叶对根的深情[N];吉林日报;2006年
4	于洪涛;情系学子谱新篇[N];人民邮电;2006年
5	本报通讯员　卜立平　沈季　本报记者　朱振国;以人为本　润物无声[N];光明日报;2005年
6	卜立平;吉林大学医学部：学生可以转专业[N];健康报;2006年
7	记者　刘怀金姝姜楠;吉大庆祝合校六周年建校六十周年[N];吉林日报;2006年
8	卜立平;建精品基地重人才培养[N];中国教育报;2005年
9	王曼;充分利用院图书馆特色文献信息资源[N];中国社会科学院院报;2005年
10	本报记者　曾毅;构建大学的道德磁场[N];光明日报;2006年

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