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《吉林大学》 2008年
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SnO_2甲烷气体传感器的优化设计与试制

宋毅华  
【摘要】: 本文作者长期从事气体传感器的研发和产业化生产实践工作,具有较扎实的理论基础和较强的技术开发能力,并积累了较丰富实践经验。本论文介绍了一种基于金属氧化物半导体材料—二氧化锡气体传感器的设计思路与实施方案。利用二氧化锡制备的气体传感器,具有灵敏度适中,选择性较好、使用寿命长,价格低廉等优点。可以广泛应用于可燃气体的检测、监控、报警等各个领域,是一种性价比较高,并具有较好发展前景的经济型气体传感器。 本文在对金属氧化物半导体气体传感器的工作机理、结构进行探讨的基础上,以旁热式金属氧化物气体传感器生产工艺和先进的测试设备为依托,开展包括SnO_2原料筛选、结构助剂和电子助剂掺杂影响、烧结温度影响等实验。经对实验结果进行全面分析后获得的SnO_2原料、结构助剂和电子助剂、烧结温度对SnO_2气体传感器气敏特性影响的规律与数据。并在实验基础上,对SnO_2气体传感器的敏感机理的部分问题进行探讨。最终获得一种SnO_2甲烷气体传感器优化的配方和生产工艺及工艺参数,在批量试制生产条件下主要指标达到实用化水平。所以,以实验与理论有机结合研发新型SnO_2气体传感器的技术路线是可行的。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TP212

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