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《吉林大学》 2009年
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光辅助MOCVD法制备大面积高质量YBa_2Cu_3O_(6.9)高温超导膜

李善文  
【摘要】: 高温超导体YBa2Cu3O6(.9简称YBCO)因具有较高的超导转变温度(Tc 90K)能工作在液氮温度(77K)而受到广泛重视。其应用范围含盖了强电、弱电及抗磁应用。在弱电领域,YBCO外延膜可用来制作高性能的超导微波滤波器。在微波通讯频段内,77K时高温超导材料YBCO的表面电阻(Rs)值比Cu材料的要小2-3个量级,因而用YBCO为材料制作的超导微波滤波器与Cu材料制作的微波滤波器相比具有灵敏度高、抗干扰能力强、承载功率大等特点。 本论文论述了用光辅助MOCVD发制备用于制作高温超导微波滤波器的高质量YBCO双面膜的工艺探索过程。对比了垂直式反应室和倾斜进气口反应室在生长大面积膜时的区别。分析了MOCVD法制备的纯c轴向YBCO外延膜表面山头的形成过程及去除手段。通过两次生长的工艺制备出了两面超导质量都良好的纯c轴向1″YBCO双面膜。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:TM262

【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李善文;组份比例及衬底材料影响YBCO外延膜的光辅助MOCVD法生长特性研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 杨皓宇;单面及双面YBCO高温超导膜的光辅助MOCVD生长特性研究[D];吉林大学;2010年
【参考文献】
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1 胡倾宇;路荣涛;郭玉良;;用三源热共蒸法制备的二十厘米长涂层导体及其显微结构[J];低温物理学报;2005年S1期
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3 杨德林,孟令启,李志成,胡行,郭益群,高之爽;YBa_2Cu_3O_(7-x)的高温氧呼吸特性[J];低温与超导;2001年01期
4 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清;Ba-Y-Cu氧化物液氮温区的超导电性[J];科学通报;1987年06期
5 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,倪泳明,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清,王昌庆;液氮温区的新氧化物超导体[J];科学通报;1987年11期
【共引文献】
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5 胡薇薇;新型单相多铁材料的合成及其磁电性质研究[D];吉林大学;2011年
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7 刘娟;铁基化合物和锰铬化合物的超导电性及磁性的第一性原理研究[D];华中科技大学;2011年
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10 赵宏伟;基于Bogoliubov-de Gennes理论的高温超导涡旋态相变研究[D];上海大学;2011年
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1 许振领;高温超导带材交流传输损耗及失超传播特性研究[D];解放军信息工程大学;2010年
2 张志刚;约瑟夫森结电流特性的研究[D];烟台大学;2010年
3 于淼;MOCVD工艺沉积YBCO超导层实验研究[D];电子科技大学;2011年
4 陈瑶;基于铜(Ⅰ)、7,7,8,8-四氰基对苯二甲烷(TCNQ)复合材料的液相制备[D];浙江大学;2010年
5 彭利琴;改性SrLaAlO_4基陶瓷的结构及微波介电性能[D];浙江大学;2011年
6 李祖娟;Fe_(1.05-x)Cu_xSe_(0.5)Te_(0.5)系统的Cu替代效应研究[D];浙江大学;2011年
7 赵颖;高温超导线圈交流损耗的分析与研究[D];北京交通大学;2011年
8 车玮玮;铁基高温超导体超导电性的研究[D];曲阜师范大学;2011年
9 黄爱群;铁磁畴壁附近稀少巡游电子的结构研究[D];南京大学;2011年
10 姜振国;Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+x)高温超导器件制作及其在太赫兹波段的应用[D];南京大学;2011年
【同被引文献】
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1 左然,张红,刘祥林;径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟[J];半导体学报;2005年05期
2 何文俊,曹必松,张晓平,魏斌,朱美红,张国勇,姚克闲,郜龙马,郭旭波,何山,尹哲胜,高葆新;移动通信GSM900系统用高温超导滤波器设计与测试[J];低温物理学报;2003年02期
3 郭旭波,曹必松,魏斌,朱美红,何文俊,尹哲胜,何山,高葆新;CDMA系统用高温超导滤波器的设计[J];低温物理学报;2003年S1期
4 胡倾宇;路荣涛;郭玉良;;用三源热共蒸法制备的二十厘米长涂层导体及其显微结构[J];低温物理学报;2005年S1期
5 尹哲胜;魏斌;曹必松;郭旭波;张晓平;何文俊;何山;郜龙马;朱美红;高葆新;;一种800MHz无线通信用高温超导滤波器的研究[J];低温物理学报;2006年03期
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7 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清;Ba-Y-Cu氧化物液氮温区的超导电性[J];科学通报;1987年06期
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9 何豫生;高温超导微波器件在移动通信中的应用[J];物理;2002年04期
10 张翠萍 ,汪京荣;高温超导块材的研究进展[J];稀有金属快报;2003年07期
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1 刘敏;刘丹敏;董杰;赵跃;刘星;索红莉;周美玲;;单晶Ag基底上YBCO膜外延机理的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 方秀军;采用光辅助MOCVD方法生长YBCO薄膜和厚膜及其特性研究[D];吉林大学;2008年
2 李国兴;以光辅助MOCVD法制备大面积YBa_2Cu_3O_(7-x)高质量高温超导外延膜的初步研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 彭新村;中红外InAsSb材料的MOCVD生长特性研究[D];吉林大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 何文俊,曹必松,张晓平,魏斌,朱美红,张国勇,姚克闲,郜龙马,郭旭波,何山,尹哲胜,高葆新;移动通信GSM900系统用高温超导滤波器设计与测试[J];低温物理学报;2003年02期
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5 周萍;张永彬;黄火根;蒋春丽;;PLD在SrTiO_3(100)晶面沉积YBCO薄膜性能分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
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10 曾德长;阳宗全;姜明;王永忠;F.R.de Boer;乔桂文;;掺杂Y系超导样品的磁通针扎效应[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
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1 记者 彭德倩;激活超导“铁器时代”[N];解放日报;2011年
2 本报记者 江世亮;超导:充满挑战与发现[N];文汇报;2011年
3 记者 刘纯友;中国科大铁基超导体研究取得重要进展[N];安徽日报;2009年
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4 蔡衍卿;高温超导材料液相外延生长过程中的取向控制以及热稳定性能的研究[D];上海交通大学;2008年
5 彭麟;氧化物超导准多层的磁通钉扎和超导/铁磁异质结的近邻效应[D];上海大学;2010年
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10 吴力军;Bi系和Y系高温超导材料的形成机理、结构与缺陷的研究[D];湖南大学;2002年
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1 李善文;光辅助MOCVD法制备大面积高质量YBa_2Cu_3O_(6.9)高温超导膜[D];吉林大学;2009年
2 黄扬;YBCO超导薄膜快速制备工艺研究[D];西南交通大学;2012年
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4 刘宇;高温超导YBCO薄膜中纳米氧化物结构的制备与研究[D];南昌大学;2010年
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6 王卫卫;YBCO超导薄膜的热处理工艺优化及Cu位微量元素掺杂研究[D];西南交通大学;2011年
7 杨皓宇;单面及双面YBCO高温超导膜的光辅助MOCVD生长特性研究[D];吉林大学;2010年
8 王高峰;Y_2Ba_4CuWO_x掺杂对单畴YBCO块材微观结构及超导性能的影响[D];陕西师范大学;2012年
9 于淼;MOCVD工艺沉积YBCO超导层实验研究[D];电子科技大学;2011年
10 马耀通;拓扑指数法探究掺杂YBCO、MgB2及铁基砷化物超导电性关系[D];西北师范大学;2011年
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