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《吉林大学》 2009年
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光辅助MOCVD法制备大面积高质量YBa_2Cu_3O_(6.9)高温超导膜

李善文  
【摘要】: 高温超导体YBa2Cu3O6(.9简称YBCO)因具有较高的超导转变温度(Tc 90K)能工作在液氮温度(77K)而受到广泛重视。其应用范围含盖了强电、弱电及抗磁应用。在弱电领域,YBCO外延膜可用来制作高性能的超导微波滤波器。在微波通讯频段内,77K时高温超导材料YBCO的表面电阻(Rs)值比Cu材料的要小2-3个量级,因而用YBCO为材料制作的超导微波滤波器与Cu材料制作的微波滤波器相比具有灵敏度高、抗干扰能力强、承载功率大等特点。 本论文论述了用光辅助MOCVD发制备用于制作高温超导微波滤波器的高质量YBCO双面膜的工艺探索过程。对比了垂直式反应室和倾斜进气口反应室在生长大面积膜时的区别。分析了MOCVD法制备的纯c轴向YBCO外延膜表面山头的形成过程及去除手段。通过两次生长的工艺制备出了两面超导质量都良好的纯c轴向1″YBCO双面膜。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:TM262

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李善文;组份比例及衬底材料影响YBCO外延膜的光辅助MOCVD法生长特性研究[D];吉林大学;2012年
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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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3 郭旭波,曹必松,魏斌,朱美红,何文俊,尹哲胜,何山,高葆新;CDMA系统用高温超导滤波器的设计[J];低温物理学报;2003年S1期
4 胡倾宇;路荣涛;郭玉良;;用三源热共蒸法制备的二十厘米长涂层导体及其显微结构[J];低温物理学报;2005年S1期
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8 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,倪泳明,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清,王昌庆;液氮温区的新氧化物超导体[J];科学通报;1987年11期
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【二级参考文献】
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