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《吉林大学》 2010年
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ZnO薄膜和纳米结构的制备及其特性研究

高世勇  
【摘要】: 本文采用射频磁控溅射的方法,在抛光的自支撑金刚石膜生长面生长ZnO薄膜。通过优化生长条件,成功地制备了高c轴取向、低应力的ZnO薄膜,系统研究了低温ZnO过渡层厚度对制备ZnO薄膜的影响。 通过在硼掺杂金刚石上面溅射低温ZnO薄膜作为籽晶层,利用水热法在其表面生长了ZnO纳米棒阵列。沿c轴生长的ZnO单晶纳米棒垂直于金刚石晶粒的晶面。制备了n型ZnO纳米棒/p型金刚石异质结,电流?电压测试表明,该器件具有很好的整流特性,并在紫外光照射下,光电流增大。 利用阳极氧化法,将溅射有高纯铝膜的Si衬底表面进行刻蚀,制备出纳米凹坑阵列,通过水热法,在其上面制备出ZnO纳米棒/片复合结构,并研究了其生长机理。对其光致发光性质研究表明,经过退火处理,可显著提高ZnO纳米棒/片的紫外发射,同时抑制了绿光发射。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TB383.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 孙林林;刘宏玉;程文娟;马学鸣;石旺舟;;在Si(100)上以AlN作过渡层低温外延生长ZnO薄膜[J];人工晶体学报;2005年06期
2 陈湘渝,余承杰,何峰;低电压氧化锌压敏电阻器[J];压电与声光;1997年05期
3 刘健敏;夏义本;王林军;苏青峰;赵平;徐闰;彭鸿雁;史伟民;;Preparation of free-standing diamond films for high frequency SAW devices[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2006年S1期
4 赵平;夏义本;王林军;刘健敏;徐闰;彭鸿雁;史伟民;;Effect of working pressure and temperature on ZnO film deposited on free-standing diamond substrates[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2006年S1期
【共引文献】
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1 尚勇,赵庆勋,董国义,董丽芳;表面光滑的金刚石薄膜的合成[J];河北大学学报(自然科学版);2002年03期
2 刘桂珍;王智东;万章国;周建;;微波合成ZnO微米棒的研究[J];湖北工业大学学报;2007年05期
3 陈长琦,朱武,方应翠,干蜀毅,陈贤祥;离子注入和溅射率的蒙特卡罗模拟计算[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2001年06期
4 陈奇;影响幕墙玻璃质量的因素分析[J];合肥工业大学学报(自然科学版);1996年01期
5 陆慧,陆元成,张波,张月兰,潘孝仁;低温生长纳米ZnO薄膜的结构[J];华东理工大学学报;2004年05期
6 秦优琼,孙凤莲,岳喜山;钎焊时压力载荷对金刚石接头残余应力的影响[J];哈尔滨理工大学学报;2004年03期
7 常天海;无屏蔽罩的矩形平面磁控溅射靶的设计[J];华南理工大学学报(自然科学版);2003年01期
8 李莉;;微波PCVD法人工合成金刚石[J];淮南师范学院学报;2006年03期
9 张杨;陈宏;赵淑金;王涛;;ZnO薄膜的制备及其热辐射性能研究[J];红外;2010年03期
10 唐利斌;郑云;吴刚;姬荣斌;宋炳文;黄晖;;一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究[J];红外技术;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 单玉桥;于晓中;李力;田晓飞;;磁控溅射镀钽及其性能的研究[A];2004年全国电子电镀学术研讨会论文集[C];2004年
2 李会斌;陈红;;塑料透明导电膜(ITO)的研制及其应用[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
3 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
4 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
5 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
6 陈荣发;柏乃勇;王笃雄;王亚成;魏力;;移相器微波传输薄膜的研制[A];江苏省真空学会第十届学术交流会论文集[C];2002年
7 郭钟宁;王成勇;刘晓宁;匡同春;;特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中的应用[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
8 陈庆川;童洪辉;崔西蓉;耿漫;王经权;;多功能复合离子镀膜机的研制[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9 郭钟宁;王成勇;刘晓宁;匡同春;;特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中的应用[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
10 李占锋;尚丽平;;薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
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1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
3 苑举君;TiO_2纳米结构及n-型TiO_2纳米结构/p-型金刚石异质结制备、表征及性质研究[D];吉林大学;2011年
4 李强;ZnO、MnO_2、氧化硅纳米结构的合成及其物理化学性能研究[D];合肥工业大学;2011年
5 张波;真空室内壁镀TiZrV吸气剂薄膜的工艺及薄膜相关性能的研究[D];中国科学技术大学;2011年
6 任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
7 余乐;新型固态薄膜电池及性能研究[D];复旦大学;2011年
8 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
9 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
10 刘洁;氧化锌单晶及激光辐照氧化锌单晶的光谱学研究[D];北京工业大学;2011年
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1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
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4 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 惠磊;低压ZnO压敏电阻器的性能优化[D];西安电子科技大学;2011年
6 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
7 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
8 邱巧锐;PVA/ZnO和PS/CaCO_3两种复合材料的制备和性能[D];湖北工业大学;2011年
9 刘金营;ZnO准一维阵列的制备和表征[D];吉林大学;2011年
10 王佳佳;电沉积锌/氧化锌薄膜及生长机理[D];吉林大学;2011年
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1 陈智巧;贺卫卫;李玉平;黄志彬;李杰;;低温一步液相法合成ZnO纳米棒[J];无机化学学报;2007年01期
2 彭坤;金晖;周灵平;胡爱平;唐元洪;;室温稀磁半导体Zn_(0.9)Ni_(0.1)O纳米棒的制备与表征[J];湖南大学学报(自然科学版);2010年01期
3 李育洁;张海明;胡国锋;李晓洁;高波;朱彦君;;ZnO纳米棒的低温制备及表征[J];半导体技术;2009年12期
4 邓崇海;胡寒梅;韩成良;邵国泉;;微波法合成氧化锌纳米棒[J];合成化学;2008年03期
5 邵思飞;吕淑媛;张威虎;贾培军;;一种性能优良的ZnO纳米结构的制备方法[J];铸造技术;2008年09期
6 汪玲玲;;纳米ZnWO_4的水热合成及其光致发光性能研究(英文)[J];上海第二工业大学学报;2009年02期
7 刘志锋;雅菁;鄂磊;;电沉积种子层化学控制生长氧化锌纳米棒和纳米管[J];无机化学学报;2009年06期
8 吕玉珍;郭林;李成榕;汪佛池;;简单溶液法制备氧化锌纳米棒及光学性质[J];发光学报;2009年04期
9 邵铮铮;王晓峰;张学骜;常胜利;;原子力显微技术研究ZnO纳米棒的压电放电特性[J];物理学报;2010年01期
10 陈楚艳;李庆;吴会杰;王译莹;钟小玲;李元;;离子液体中微波辅助制备ZnO纳米棒及光学性能研究[J];功能材料;2010年06期
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1 张玉刚;张立德;;ZnO复杂纳米结构的分级控制生长和性能调控[A];中国颗粒学会超微颗粒专业委员会第五届年会暨海峡两岸纳米颗粒学术研讨会论文集[C];2007年
2 吴兆丰;吴雪梅;;利用射频等离子沉积方法制备Cu掺杂ZnO纳米棒及其磁学性质研究[A];苏州市自然科学优秀学术论文汇编(2008-2009)[C];2010年
3 张青山;;ZnO纳米棒的制备及其光催化抗菌作用的AFM研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
4 韩啸;程轲;张电波;师清;戴树玺;杜祖亮;;ZnO纳米棒阵列/CdS纳米晶复合结构的制备及其光电性质[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年
5 赵婧;闫小琴;张跃;;In掺杂的ZnO纳米棒的共振Raman光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
6 王多发;李金钗;廖蕾;;氧分压对ZnO纳米棒形貌及光学性质的影响[A];中国化学会2005年中西部十五省(区)、市无机化学化工学术交流会论文集[C];2005年
7 王丽伟;刘湘红;张军;吴世华;王淑荣;;ZnO纳米棒的制备及其气敏性研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
8 张铮;黄运华;李萍;廖庆亮;张跃;;基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
9 吴尝;朱克荣;周广东;;ZnO纳米晶的拉曼光谱[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
10 张运炎;范广涵;;MOCVD在ZnO材料生长方面的应用及最新研究进展[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 司瑞;纳米结构的生物矿材料合成取得重要进展[N];科技日报;2003年
2 周清春;第四次科技浪潮由纳米开始[N];中国矿业报;2005年
3 记者 戴恩国 高显洲 通讯员 丁义浩;纳米结构合金钢在东大成功问世[N];中国冶金报;2006年
4 记者 刘霞;英研制新一代纳米化学反应器[N];科技日报;2008年
5 章迪思;上海“纳米军团”领衔三大国家项目[N];解放日报;2007年
6 记者 王彬;张万喜:科研要有市场观[N];协商新报;2007年
7 王立;纳米信息技术市场前景广阔[N];中国知识产权报;2008年
8 本报记者 操秀英;进军多学科前沿交叉新领域[N];科技日报;2010年
9 吴铭;科学家获得光子晶体纳米结构[N];中国石油报;2003年
10 通讯员  喇玉娟 记者  刘芃;DNA “折纸术”绘出中国地图[N];上海科技报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高世勇;ZnO薄膜和纳米结构的制备及其特性研究[D];吉林大学;2010年
2 丁娟;CuA1O_2与ZnO纳米结构制备及其光电化学性质研究[D];吉林大学;2011年
3 杨松林;AlN和ZnO纳米结构的电弧放电法制备及生长机制研究[D];清华大学;2010年
4 曾毅;半导体金属氧化物(ZnO,ZnSnO_3)纳米材料的合成及其气敏性能研究[D];吉林大学;2010年
5 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
6 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
7 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
8 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
9 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
10 李强;ZnO、MnO_2、氧化硅纳米结构的合成及其物理化学性能研究[D];合肥工业大学;2011年
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1 李学红;表面等离子体对纳米结构ZnO膜光致发光性能的调制[D];河南大学;2010年
2 冯立兵;ZnO纳米材料的制备、表征及性能研究[D];山东师范大学;2010年
3 张晶;金属离子掺杂ZnO微/纳米结构的制备及其光催化性质研究[D];陕西师范大学;2011年
4 李静;ZnO酶电极自组装及其葡萄糖生物传感特性研究[D];长春理工大学;2010年
5 刘航;Mg掺杂ZnO纳米薄膜和纳米结构的制备及特性研究[D];山东师范大学;2010年
6 何双虎;电化学法制备ZnO纳米结构及其性能研究[D];上海交通大学;2010年
7 李庆伟;垂直ZnO纳米棒阵列的水溶液法可控生长及N掺杂ZnO薄膜的电学机制研究[D];大连理工大学;2010年
8 王大伟;ZnO纳米棒/MEH-PPV异质结近紫外电致发光性能的改善研究[D];北京交通大学;2010年
9 赵青;Ce掺杂的ZnO纳米球和纳米棒的制备及其发光性质[D];东北师范大学;2010年
10 闫悦;ZnO纳米棒/MEH-PPV异质结太阳能电池性能的研究[D];北京交通大学;2010年
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