收藏本站
《吉林大学》 2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于负型光刻胶SU-8的光开关的研究

高磊  
【摘要】: 光开关在目前全光网络的发展中起着举足轻重的作用,本论文的主要工作是从环氧基紫外负型光刻胶SU-8 2005这种聚合物材料(以下简称SU-8)出发,分别设计制作了热光开关和电光开关,主要工作如下: 1对负型光刻胶SU-8材料进行一系列表征并对其工艺参数进行探索。利用这种紫外可交联的材料设计并成功制作出了1×N系列的多模干涉型(MMI)分束器。 2利用紫外可交联的SU-8聚合物材料,设计并制作了一个2×2的MMI-MZI型热光开关。测试得出该光开关的开关功率是7.5mW,开关时间约为0.4ms。然后我们又对光开关的结构进行了改进,增大MMI区域尺寸和调制区两波导之间的间距,改进后的开关功率降至6.9mW。 3采用不同的电光材料设计了三种电光开关,经过分析选择第三种方案进行试验,通过在SU-8中掺入生色团分散红一(DR1),我们自主合成了DR1/SU-8这种电光材料,结合设计方案我们成功的制作出了电光开关。分别测试得到100KHz、500KHz、1MHz和2MHz的方波信号的响应以及5MHz和10MHz的正弦波响应。测试结果显示开关的上升下降时间分别是36.68ns和66.69ns。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN256

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 赵世民;丛隆元;韩超;赵洪涛;王菲;陈长鸣;孙小强;张大明;;SiO_2/聚合物Y分支波导型热光开关研究[J];光电子.激光;2013年02期
2 王旗;王希斌;孙小强;田亮;王菲;张大明;;基于Norland紫外固化胶的热光开关器件[J];中国光学;2012年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 罗晨晨;微纳光栅的制备及特性研究[D];上海交通大学;2013年
2 王旗;基于NOA材料的柔性热光开关器件的研究[D];吉林大学;2013年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光开关技术进展[J];半导体光电;2001年03期
2 伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇;利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 李雯,谭智敏,薛昕,刘理天;紫外线厚胶光刻技术研究及应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 余辉,江晓清,杨建义,李锡华,王明华;有机聚合物热光器件热场的解析模型[J];半导体学报;2004年08期
5 王章涛,樊中朝,夏金松,陈少武,余金中;SOI热光调制器[J];半导体学报;2004年10期
6 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光网络中的光开关技术[J];电子产品世界;2001年08期
7 马春生,刘式墉;金属包层对脊形波导光学特性的影响[J];电子学报;1989年05期
8 朱军,刘景全,张金娅,陈迪,石磊;环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望[J];高分子材料科学与工程;2004年04期
9 隋志成,姜希军,吴志坚;光开关及其在全光网中的应用[J];光通信技术;2002年03期
10 马慧莲;光开关研究新进展[J];光通信研究;2003年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董孝义;高希才;;电光学及其应用[J];半导体光电;1991年02期
2 周震,黄永清,任晓敏;晶片键合技术及其在垂直腔型器件研制中的应用[J];半导体光电;2003年04期
3 莫太山,张世林,郭维廉,郭辉,郑云光;横向SOI锗硅光电探测器的数值模拟[J];半导体光电;2003年04期
4 孙潇;贾书海;;一种新型梯度电场控制光开关的原理研究[J];半导体光电;2008年01期
5 郑传涛;马春生;闫欣;王现银;张大明;;聚合物脊形波导定向耦合电光开关的电极优化[J];半导体光电;2009年01期
6 刘隐;乔海燕;黄健;朱学军;郑德晟;;Y波导集成光学器件的耦合技术[J];半导体光电;2010年02期
7 许龙芳;张平;吴一辉;刘永顺;;聚合物芯片复型模具的新型制作工艺研究[J];半导体光电;2011年01期
8 朱泳,刘艳红,魏希文,沈光地,陈建新,邹德恕;SiGe材料及其在半导体器件中的应用[J];半导体技术;2001年08期
9 丁齐兵,戴庆元;SiGe技术在蓝牙系统中的应用[J];半导体技术;2002年08期
10 张海鹏,章红芳,吕幼华;Si_(1-x)Ge_x/SOI材料的基本性质与应用前景[J];半导体技术;2004年03期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 赵禹;王菲;郑菊;张大明;马春生;刘式墉;衣茂斌;;铝掩模制作聚合物阵列波导光栅复用器的工艺研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
3 郑洁;周日凯;马洪勇;胡强高;江山;;光开关综述[A];第十届中国科协年会信息化与社会发展学术讨论会分会场论文集[C];2008年
4 邱凤仙;曹国荣;杨冬亚;蒋艳;彭琼;;基于高热稳定性有机聚合物PI/DR1热光性能的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 唐婷婷;负折射率光波导及器件研究[D];电子科技大学;2010年
2 盛振;硅基微纳光波导集成型滤波器与光电探测器研究[D];浙江大学;2010年
3 倪凯;光纤光栅制备及传感应用研究[D];浙江大学;2011年
4 万莹;用于光波导材料的可直接紫外写入的含氟聚合物的研究[D];吉林大学;2011年
5 瞿鹏飞;用于光控相控阵的微波光子移相器的研究[D];吉林大学;2011年
6 王凯;贵金属纳米颗粒阵列的三阶非线性光学特性研究[D];华中科技大学;2011年
7 莫文琴;基于微环谐振器的光学加速度地震检波器的研究[D];华中科技大学;2011年
8 陶青;基于SOI波导非线性效应的光脉冲开关设计及分析[D];华中科技大学;2011年
9 张少梅;LiNbO_3的光波导特性研究和平板光子晶体结构的制备[D];山东大学;2011年
10 谭杨;光学晶体波导中的激光和非线性效应[D];山东大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘奇;基于混合粒子群算法的ZnO镀膜光纤传感器的参数优化[D];南昌航空大学;2010年
2 李青;微型PDMS SPR传感器研究[D];长春理工大学;2010年
3 李岩;亚微米硅基光波导的设计与模式特性研究[D];长春理工大学;2010年
4 郭颖;掺Yb~(3+)双包层光纤激光器理论和实验研究[D];郑州大学;2010年
5 贾胜芳;MEMS引信保险装置的制作及铸层结合强度研究[D];大连理工大学;2010年
6 王启佳;聚合物光刻胶超声时效机理与实验研究[D];大连理工大学;2010年
7 杨伦磊;微尺度相变测试微流控芯片集成设计及应用[D];大连理工大学;2010年
8 高秋瑾;溅射法制备抗菌丝织物及其性能研究[D];江南大学;2010年
9 张振宇;微谐振环辅助马赫—曾德尔波长交错滤波器的研究[D];北京交通大学;2011年
10 李戊军;有机聚合物电光调制器优化设计[D];电子科技大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光开关技术进展[J];半导体光电;2001年03期
2 陈宝钦;赵珉;吴璇;牛洁斌;刘键;任黎明;王琴;朱效立;徐秋霞;谢常青;刘明;;电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用[J];微纳电子技术;2008年12期
3 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光网络中的光开关技术[J];电子产品世界;2001年08期
4 张琨;林罡;刘刚;田扬超;王晓平;;电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用[J];电子显微学报;2006年02期
5 杨建义,江晓清,杨方辉,王明华;有机聚合物热光器件的热学模型[J];光电子·激光;2000年04期
6 马琼芳;黄永清;黄辉;杨长屹;任晓敏;;一种基于多模干涉耦合器的集成光开关研制[J];光电子.激光;2010年09期
7 梁磊;闫云飞;孙小强;马春生;张大明;郑传涛;;低功耗有机/无机混合结构热光开关的研制[J];光电子.激光;2012年07期
8 何世平;叶超;谢永军;付绍军;;一种可控曲面光栅的研制[J];光学精密工程;2006年02期
9 杨建义,江晓清,杨方辉,王明华;Y分支有机聚合物热光开关的研制[J];光学学报;2002年06期
10 郭楚才;叶卫民;袁晓东;张检发;曾淳;季家镕;;亚波长光栅反射特性研究[J];光学学报;2009年12期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 孙小强;基于PMMA的聚合物光开关器件研究[D];吉林大学;2010年
2 衣云骥;聚合物平面光波导集成技术的基础研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 王微;低功耗聚合物Mach-Zehnder热光开关的研制[D];吉林大学;2009年
2 朱冀梁;硅表面微光栅结构的纳秒激光干涉刻蚀研究[D];苏州大学;2009年
3 孟照方;基于光纤光栅的温度不敏感生化传感器及全光开关研究[D];北京邮电大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 耿耀辉;李春鹏;于丹;张颖涛;倪庆凯;赵元元;;多成分掺杂甲基丙烯酸基光致聚合物的制备及其体全息存储稳定性的研究[J];光电子.激光;2014年04期
2 冯松;高勇;;微纳米PIN电光调制器的优化[J];光电子.激光;2014年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 罗晨晨;微纳光栅的制备及特性研究[D];上海交通大学;2013年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田扬超;深度紫外光刻图形精度模拟研究[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2005年03期
2 杨晓红,杜云,吴荣汉,赵榆霞,李兆,周家云,沈玉全;聚合物热光相移器件的研究及其应用[J];半导体学报;2002年01期
3 魏红振,余金中,夏金松,严清峰,刘忠立,房昌水;快速响应SOI马赫曾德热光调制器[J];半导体学报;2002年05期
4 杨建义,江晓清,杨方辉,王明华,Ray T Chen;1×2全内反射型有机聚合物热光开关的研制[J];半导体学报;2002年07期
5 严清峰,余金中;载流子吸收对SOI Mach-Zehnder干涉型电光调制器性能的影响[J];半导体学报;2002年12期
6 杨建义,王明华;光波导弯曲的结构优化[J];光电子·激光;1999年04期
7 杨建义,江晓清,杨方辉,王明华;有机聚合物热光器件的热学模型[J];光电子·激光;2000年04期
8 杨建义,江晓清,王明华;用于光纤通信的光开关研究进展[J];光通信研究;2000年04期
9 张立国,陈迪,杨帆,李以贵;SU-8胶光刻工艺研究[J];光学精密工程;2002年03期
10 尤政,张高飞,林杨,任大海;MEMS固体化学推进器设计与建模研究[J];光学精密工程;2005年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘世杰;厚胶光刻技术研究[D];四川大学;2004年
2 李雄;UV-LIGA技术光刻工艺的研究[D];华中科技大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高艳霞,张华,俊娜,徐世祥;一种新型光开关时间响应特性的研究[J];中国激光;1998年05期
2 罗风光,曹明翠,谢胡,周新军,罗志祥,徐军;4×4自由空间光开关结构及其矩阵分析[J];光学学报;2004年12期
3 杨建华;;家庭节电变光开关[J];河南科技;1987年09期
4 高艳霞,贺渝龙,是度芳;负非线性夹层式光开关原理[J];光学学报;1997年02期
5 曹钟慧,鲍俊峰,袁野,吴兴坤;非硅基底1×4微机电系统光开关[J];光学学报;2003年09期
6 晏辉鸣,万鹏,吴兴坤;光纤直接耦合微加工型1×2光开关[J];光子学报;2004年05期
7 庄婉如,杨培生,孙富荣,石志文,段继宁,邹正中,高俊华;氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关[J];光子学报;1996年02期
8 ;行波电极提高光开关性能[J];激光与光电子学进展;1996年03期
9 魏红振,余金中,张小峰,刘忠立,王启明,史伟,房昌水;多模干涉马赫-曾德尔光开关模型[J];光学学报;2001年03期
10 陈志文1;李宝军;Chaudhari B S;Chua S J;;1·55μmSi Ge 2×3光开关(英文)[J];半导体学报;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
3 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
4 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
5 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
6 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
7 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 李美菊;陈向东;陈芳;何治柯;沈萍;;利用核酸分子“光开关”Ru(phen)_2(dppz)~(2+)检测细菌释放DNA[A];首届中国青年学者微生物遗传学学术研讨会论文摘要集[C];2002年
9 尹桂;徐正;苏国玮;;超分子自组装双卟啉光开关性质的研究[A];大环化学和超分子化学研究进展——中国化学会全国第十二届大环第四届超分子化学学术讨论会论文集[C];2004年
10 王涛;黄德修;;有源光开关中的方向耦合器研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
9 记者 尹一平;彰显魅力 成果丰硕[N];锦州日报;2006年
10 烽火通信科技股份有限公司副总裁 李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
4 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
5 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
6 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
7 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
8 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 李海军;基于光通信应用的MOEMS光学无源器件技术研究[D];吉林大学;2007年
10 吕丁成;单轴晶体材料构成的光纤光栅特性研究[D];兰州大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
2 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
3 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
4 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
5 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
6 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
7 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
8 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
9 高晴;载流子注入型MMI光开关设计[D];浙江大学;2006年
10 张冰娜;数字型集成热光光开关阵列波导研究[D];华中科技大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026