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《吉林大学》 2010年
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双光子聚合加工非球面微透镜的研究

高巍  
【摘要】: 本实验利用飞秒激光双光子聚合加工技术,使用不同倍数的加工物镜在SU-8光刻胶中加工了不同形貌的微透镜。使用软件计算模拟的方法,代替复杂的光线光路计算,讨论了非球面微透镜在成像方面的优势,并使用飞秒激光双光子聚合加工技术,制备了旋转抛物面、旋转双曲面微透镜,与之前加工的相同半径、高度的球面微透镜对比,进行了聚焦测试,与软件计算结果相一致,又进行测成像测试,发现三者在成像过程中视野大小的不同。 为了使用大尺寸微透镜的加工,本实验先通过降低“点云”密度、加工“球壳”的方法减小了单位体积的加工量,后又通过使用低倍数的加工物镜来提高有效加工的范围,先后使用了25X、10X的物镜进行加工试验,分别制备了不同半径的非球面微透镜并对其进行了成像测试。设计并加工了可用于对发散角10°的激光进行准直的微透镜。 在本文的最后对飞秒激光双光子聚合加工技术进行了展望,提出了可对边发射半导体激光器进行光束准直的椭圆形微透镜设计方案,并制作了可用于加工的“点云”数据,这将是对边发射半导体激光器进行光束准直的一个全新概念。
【学位授予单位】:吉林大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN249

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