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《长春理工大学》 2010年
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图形化衬底LED芯片的技术研究

朱贺  
【摘要】: 本文的主要研究内容涉及图形化衬底对GaN基LED发光二极管光电性能的影响。实验中制作了表面图形直径和周期不同的GaN图形衬底。再利用MOCVD材料生长设备侧向外延生长了GaN基LED外延片(其主要结构包括:n-GaN、量子阱和p-GaN)。通过这种方式可以实现一次性生长具有不同结构的量子阱层。之后对外延片进行了LED工艺加工的后续工艺。对不同结构的图形化衬底外延片进行了光致发光的光谱测试。研究不同尺寸和结构的图形衬底引起的量子阱结构不同所致的对LED发光特性的影,同一层上不同结构的量子阱会产生两种波长的光。另外,对不同结构的图形化衬底的LED芯片也进行了电致发光的光谱测试。文中对不同的图形衬底对发光波长的影响也进行了讨论。此外本论文在大量的LED工艺试验的基础上还着重研究了LED芯片的制作工艺流程,解决了工艺过程中的一些关键问题,制作出性能良好的LED芯片。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN312.8

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张跃宾;基于水冷的LED阵列散热研究[D];燕山大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前4条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前6条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【相似文献】
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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7 刘木林;硅衬底氮化镓基蓝光LED发光特性研究[D];南昌大学;2012年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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3 陈珍霞;LED用低熔点发光玻璃的研究[D];武汉理工大学;2010年
4 吴越;用于大功率LED冷却的微槽群相变换热技术的理论与实验研究[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2010年
5 王明明;磁场和LED光照对小菜蛾生物学特性的影响[D];扬州大学;2010年
6 王云松;一种电荷泵多通道恒流白光LED驱动设计[D];复旦大学;2010年
7 郑世鹏;大功率LED产品光强分布的快速高精度测试方法研究[D];重庆大学;2010年
8 严叶挺;9W白光LED恒流驱动芯片设计[D];杭州电子科技大学;2010年
9 林雪琴;大功率白光LED道路照明系统的设计与实现[D];华南理工大学;2010年
10 刘澎;一种宽输入范围、高调光比白光LED恒流驱动芯片的设计[D];电子科技大学;2010年
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