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《长春理工大学》 2010年
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900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究

赵缨慰  
【摘要】: 针对光学仪器的使用要求,在10*1.8mm的K9基底镀制抗激光损伤的高反射薄膜,能够同时满足半导体激光器和YAG激光器作为光源的特殊应用。 本文根据薄膜干涉原理和使用技术要求进行膜料的选择、利用TFC软件进行膜系设计。采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和监控方法减小了膜厚误差。选择TiO2和SiO2作为高低折射率材料,解决了薄膜的光学损耗和抗激光损伤等问题。 制备出的抗激光高反射薄膜,当激光以45°角入射时,在900nm-1100nm波段间的P光与S光的反射率大于99.95%;并且通过环境检验,膜层能够工作于恶劣的空间环境和承受强激光光源的照射,满足使用要求。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:O484.41

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 宁晓阳;用于激光防护的梯度折射率薄膜技术研究[D];西安工业大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李东海;短脉冲激光对材料的作用及破坏机理研究[D];中国工程物理研究院;2010年
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3 曹自然;大型板类零件孔形位尺寸检测系统[D];长春理工大学;2010年
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6 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
7 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
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10 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李珊;905nm窄带滤光片的设计与制备[D];长春理工大学;2010年
2 张霄;PEVCD技术制作减反膜研究[D];西安工业大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【相似文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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7 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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7 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
8 覃冬菊;重组人促红细胞生成素对兔视网膜激光损伤保护作用机理的实验研究[D];中南大学;2006年
9 黄才华;多孔薄膜激光诱导损伤机制研究[D];武汉理工大学;2010年
10 赵刚;飞秒脉冲激光对固体材料热损伤的研究[D];四川大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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2 李荣;光学介质薄膜的激光损伤特性研究[D];西安工业大学;2010年
3 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
4 段利华;光学薄膜激光损伤及散射检测研究[D];重庆大学;2005年
5 章春来;SiO_2/ZrO_2化学膜膜间渗透与激光辐照损伤的研究[D];电子科技大学;2009年
6 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
7 陈松林;ZrO_2薄膜生长及其工艺对微结构的影响[D];四川大学;2004年
8 叶景峰;类金刚石薄膜抗激光辐照性能实验研究[D];国防科学技术大学;2004年
9 侯晓秋;高功率半导体激光器腔面镀膜研究[D];长春理工大学;2007年
10 师薇;光学薄膜激光损伤的判识研究[D];西安工业大学;2012年
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