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《长春理工大学》 2010年
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ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究

张兴来  
【摘要】: ZnO是一种新型的直接带隙宽禁带化合物半导体材料,由于在室温下禁带宽度约3.37eV和其远高于其它宽禁带半导体材料的激子束缚能(60meV)受到了广泛的关注。ZnO具有良好的化学稳定性和热稳定性,可以实现室温紫外激光发射,是制作紫外探测器以及短波长激光器的理想材料,被认为是有望取代GaN的新一代光电子材料。它在太阳能电池、压电器件、压敏器件、气敏元件、液晶显示等领域都已有了很好的应用。本论文阐述了ZnO薄膜的各种生长技术及原理,在石英衬底上采用射频反应磁控溅射的方法沉积了高度C轴择优取向的氧化锌薄膜,并用X射线衍射(XRD)、透射光谱等方法对不同氧氩比、不同溅射电压生长出的ZnO薄膜的结构和性能进行了表征。在此基础上初步设计了Al/ZnO/Al型及p-NiO/n-ZnO型两种探测器结构,并对探测器的一些参数进行了测试,最后给出实验结论。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN304.21;TN23

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李彤;介琼;张宇;王雅欣;倪晓昌;赵新为;;NiO/ZnO薄膜太阳能电池的研究进展[J];材料导报;2013年S1期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 宋凯;氧化锌基阻变器件的构建及其开关特性研究[D];天津理工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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10 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
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4 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
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7 胡宗倩;锂硫电池用改性固态电解质隔膜研究[D];国防科学技术大学;2011年
8 赵涧泽;MOCVD生长Sb掺杂ZnO薄膜的基本特性及ZnO同质结发光器件研究[D];大连理工大学;2011年
9 刘成有;A_xZn_(1-x)O(A:Mg,Cd)薄膜材料与非线性光学性质[D];东北师范大学;2011年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 方来鹏;Al-IB族掺杂ZnO薄膜的制备及第一性原理计算[D];昆明理工大学;2010年
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9 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
10 路婷;ZAO~p/ZAO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究[D];西安工业大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黄寅,徐子亮;铁电存储器技术[J];半导体技术;2000年03期
2 李颖弢;刘明;龙世兵;刘琦;张森;王艳;左青云;王琴;胡媛;刘肃;;基于I-V特性的阻变存储器的阻变机制研究[J];微纳电子技术;2009年03期
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 邓蕊;ZnO基光电薄膜的物性研究及光电器件的设计与制备[D];吉林大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【相似文献】
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1 杨辉,赵德刚,张书明,朱建军,冯志宏,段俐宏,刘素英;GaN基紫外探测器的研究与制备(英文)[J];发光学报;2001年S1期
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4 ;独创界面工程技术成功研制Si基ZnO可见盲紫外探测器原理型器件,为我国光电子技术自主创新研发开辟新路[J];传感器世界;2009年06期
5 赵懿琨;连洁;张飒飒;王公堂;宫文栎;于元勋;卜刚;;ZnO基紫外探测器的研究进展[J];材料导报;2006年01期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 尹顺政;李献杰;蔡道民;刘波;冯志宏;;AlGaN基日盲型紫外探测器的研制[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
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6 王兰喜;陈学康;王云飞;郭晚土;吴敢;曹生珠;尚凯文;;纳米金刚石薄膜紫外探测器研究[A];中国真空学会2008学术年会论文集[C];2008年
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2 谷学汇;聚合物表面修饰对紫外探测器性能影响的研究[D];吉林大学;2014年
3 赵延民;MgZn(Ni)O薄膜制备及垂直结构紫外探测器特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
4 李超群;MgZnO薄膜掺杂及Ga_2O_3/ZnO异质结构紫外探测器研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年
5 韩舜;MgZnO薄膜及其紫外光电探测器制备和特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
6 陈洪宇;Ag表面等离子体四极子增强型MgZnO紫外探测器的设计制备及其特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年
7 张昊翔;硅基GaN薄膜材料及紫外探测器原型器件研究[D];浙江大学;2001年
8 高博;新结构GaN基p-i-n型紫外探测器及其光电特性研究[D];西安电子科技大学;2011年
9 孙晓娟;GaN紫外探测器材料的MOCVD生长及器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵春雷;氧化锌基紫外探测器的制备与研究[D];吉林建筑工程学院;2010年
2 王文杰;氧化钛基光电子器件[D];郑州大学;2010年
3 余思明;日盲型ZnO真空紫外探测器[D];电子科技大学;2012年
4 李杰;MSM结构紫外探测器的性能测试与研究[D];电子科技大学;2010年
5 曹建明;MgZnO日盲紫外探测器的制备和性能研究[D];长春理工大学;2011年
6 杨乐臣;MSM结构紫外探测器制备与性能研究[D];电子科技大学;2012年
7 辛迪迪;NPB/Liq体系有机紫外探测器的研究[D];北京交通大学;2012年
8 祝洪峰;SiC紫外探测器建模及光接收机前端的设计[D];西安电子科技大学;2013年
9 廉海峰;高深紫外量子效率GaN基紫外探测器的研究[D];南京大学;2013年
10 赵永嘉;高性能紫外探测器新结构及其CMOS读出电路研究[D];湘潭大学;2013年
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