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《长春理工大学》 2012年
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微通道板打拿极二次电子发射特性研究

乔伟男  
【摘要】:微通道板(micro channel plate,MCP)是一种二维的连续电子倍增器件,由很多个具备连续电子倍增特性的孔状结构依据某种特定的形状排列而成。硅微通道阵列因其具有特殊性结构而在很多方面诸如硅微通道板、微型化工仪器、微型生物芯片、微全分析仪等发挥其重要作用。硅微通道结构其有着十分广阔的应用前景及研究价值,吸引了越来越多科研人员的足够重视。 本文根据MCP电子增益及二次电子发射的相关理论研究,对Si-MCP打拿极的结构进行了设计,提出了SiO2(发射层)/PolySi(导电层)/SiO2/Si的打拿极结构。采用热氧化工艺、LPCVD技术制备了打拿极的各层材料,得到具有一定性能的Si-MCP样品,对打拿极各层薄膜的参数及Si-MCP的电子增益进行了测试。 在MCP打拿极制备及性能测试完成后,最后采取实验模拟方法对二次电子特性进行进一步深入研究。对以SiO2薄膜做打拿极的条件下依据二次电子发射机理,通过模拟实验,力求在理论上有新的突破。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:O462.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 姜德龙;富丽晨;李野;卢耀华;田景全;王桂芬;孟素英;;先进技术微通道板 (AT-MCP)[J];长春光学精密机械学院学报;1996年03期
2 张淑琴;电子倍增器微通道板(MCP)在微光夜视技术中的应用[J];山西电子技术;2003年04期
3 彭国贤;二次电子发射系数的测量及应用[J];现代显示;1999年02期
4 潘京生;微通道板及其主要特征性能[J];应用光学;2004年05期
5 高秀敏,蔡春平;微通道板玻璃的二次电子发射系数[J];应用光学;1998年04期
6 王立,秦晓刚;空间材料二次电子发射特性测试[J];真空与低温;2002年01期
7 任红霞,沈强,郑德修,孙鉴;AC PDP介质保护膜材料的选择[J];真空电子技术;1997年05期
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1 顾燕;电子散射对微光像增强器分辨力的影响研究[D];南京理工大学;2009年
【共引文献】
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1 谢爱根;郭胜利;李传起;裴元吉;;测量氧化镁的二次电子发射系数[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年06期
2 闫金良;微机械连续薄膜变形反射镜[J];半导体光电;2005年03期
3 严俊;陈向东;李辉;苏凤;罗雪松;;新型MEMS气体传感器及其理论模型[J];半导体技术;2008年05期
4 王远,廖瑞华;纳米电子技术在军事领域的应用[J];微纳电子技术;2003年11期
5 肖国华;付铁利;郑珏琛;唐兰香;;GaN/SiO_2刻蚀选择比的研究[J];微纳电子技术;2009年04期
6 周蓉,岳素格,秦卉芊,张玉才,胡思福;半导体桥(SCB)的研究[J];半导体学报;1998年11期
7 陈东生,陈翀,李尚政;非等温旋转曲面温度场的在线监测[J];兵工自动化;2002年06期
8 刘磊,常本康,李蔚;微光夜间驾驶仪探测距离研究[J];兵工学报;2003年03期
9 张琦锋,刘惟敏,薛增泉,吴锦雷;内场助结构Ag-O-Cs光电发射薄膜真空制备研究[J];北京大学学报(自然科学版);2001年03期
10 王晓冬;卫斌;张隐奇;刘志民;吉元;;铝和铜互连线的晶粒结构及残余应力研究[J];北京工业大学学报;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 缪坤治;宁进;;降低微通道板固定图案噪声的途径与实践[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2 杨夏熹;张晓兵;雷威;史永正;李驰;侯凯;;纳米氧化锌的制备及其场发射性能的研究[A];江苏省真空学会第十一届学术交流会论文集[C];2007年
3 向嵘;陈立;李野;吴奎;姜德龙;王新;田景全;;二维电子倍增器件特性测试和系统模拟的新方法[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
4 王莎莎;陈兢;张海霞;;不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 潘金艳;朱长纯;;一种全印刷CNT-FED驱动电路的研制[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
6 罗春平;梁汉东;孙东旭;;微通道板表面涂层的TOF-SIMS分析[A];2007年全国质谱学会无机质谱、同位素质谱、质谱仪器和教育学专业委员会学术交流会论文集[C];2007年
7 姜燕冰;严惠民;张秀达;汪龙;李燕;羊华军;;脉冲累积法激光雷达中光电器件二值化特性的应用研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(A 光电系统总体技术专题)[C];2006年
8 石艳霞;蔡辉;姜娜;;弹载红外成像制导技术若干问题分析[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
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1 苏成志;瞄准具传光能力评价及测试方法的研究[D];长春理工大学;2010年
2 梅向阳;真空定向凝固法去除硅中金属杂质和晶体生长控制的研究[D];昆明理工大学;2010年
3 莫文琴;基于微环谐振器的光学加速度地震检波器的研究[D];华中科技大学;2011年
4 牛军;变掺杂GaAs光电阴极特性及评估研究[D];南京理工大学;2011年
5 李野;便携式低强度X射线实时成像系统关键技术研究[D];长春理工大学;2011年
6 赵文彬;冲击电压下半导体材料表面闪络现象与机理的研究[D];西安交通大学;2007年
7 朱祥龙;300mm硅片超精密磨床设计与开发[D];大连理工大学;2011年
8 徐驰;基于摩擦力在线测量的化学机械抛光终点检测技术研究[D];大连理工大学;2011年
9 丁立健;真空中绝缘子沿面预闪络和闪络现象的研究[D];华北电力大学;2001年
10 刘贵喜;多传感器图像融合方法研究[D];西安电子科技大学;2001年
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1 王永;消防单兵综合信息采集系统研究[D];山东科技大学;2010年
2 高桂超;场渗透对n型硅场发射电子能谱的影响[D];中国海洋大学;2010年
3 向莉;H桥功率驱动电路设计及其BCD工艺平台开发[D];电子科技大学;2011年
4 刘懿;电泳法制备碳纳米管冷阴极及其场发射特性研究[D];电子科技大学;2011年
5 舒钰;高性能SiGe HBT结构设计与制造技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 金国强;硅基应变与弛豫材料的CVD生长动力学模型研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 董洁琼;硅基应变材料表面生长动力学模型研究[D];西安电子科技大学;2011年
8 王船宝;基于CFD的硅基应变材料生长动力学研究[D];西安电子科技大学;2011年
9 王大军;基于微机电系统的硅压力传感器性能改进研究[D];淮北师范大学;2011年
10 侯瑞丽;GaAlAs/GaAs(100)(2×4)光阴极表面模型与势能计算[D];南京理工大学;2011年
【二级参考文献】
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1 刘生峰,白廷柱,丁琨;像管极限分辨力客观测试评价方法的研究[J];光学技术;2005年05期
2 姜德龙,吴奎,王国政,李野,富丽晨,端木庆铎,田景全;基于BCG-MCP的四代微光像增强技术[J];红外技术;2003年06期
3 黄钧良;微道板技术进展(一)[J];红外技术;1995年01期
4 陶禹,张智诠,郭新军;像管中电子轨迹的运动方程法求解[J];红外与激光工程;2003年02期
5 杨国伟,关永贵;电子枪与像管等真空电子束器件的辅助设计[J];计算物理;1991年02期
6 杨国伟,关永贵;静电偏转型摄像管聚焦偏转系统设计(Ⅱ)——电子轨迹的追迹计算[J];计算物理;1993年03期
7 傅文红,常本康;一种新型低噪声MCP的研究[J];南京理工大学学报(自然科学版);2002年01期
8 程耀进;向世明;师宏立;;三代微光像增强器分辨力计算理论模型[J];应用光学;2007年05期
9 陈庆佑;微光夜视技术进展简介[J];真空电子技术;2001年01期
10 童林夙;睢江程;;一个新的测量二次电子发射系数的实验方法[J];真空科学与技术;1984年06期
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1 傅文红;MCP扩口工艺的理论、实验与测试技术研究[D];南京理工大学;2006年
【相似文献】
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1 檀慧明;;近贴聚焦开口式微通道板象增强器调制传递函数的近似计算[J];应用光学;1990年01期
2 李可华;微通道板电子倍增器在真空紫外光谱技术上的应用[J];核聚变与等离子体物理;1983年04期
3 张驰;;弯曲通道式微通道板[J];应用光学;1985年04期
4 陈廷杨,徐其高,高景华,徐江涛,艾克聪,高耀龙,张永丰,汪金祥;微通道板光电倍增管在高能物理实验中的应用前景[J];核电子学与探测技术;1994年05期
5 Н.Ъ.Дёонв;А.М.Тютикоь;К.А.Ёзикова;周佩芬;顾铭言;;微通道板的固有噪声[J];应用光学;1991年01期
6 白蔚海;;φ25mm二代微通道板增益性能改进[J];应用光学;1991年03期
7 常增虎;微通道板皮秒选通特性的数值模拟[J];光子学报;1995年04期
8 程伟龄;;微通道板面电阻率对Ⅱ代倒象微光管亮度均匀性影响的研究[J];应用光学;1989年01期
9 程伟龄;;微通道板与Ⅱ代倒象微光管亮度匹配关系的研究[J];应用光学;1989年06期
10 孙忠文;黄永刚;贾金升;黄英;刘淑慈;刘辉;李国恩;;酸蚀对微通道板电性能的影响[J];应用光学;2008年02期
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1 李燕红;陈小梅;丛晓庆;周建勋;;微通道板增益变化与噪声因子关系研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 乐务时;陈楠;龙高群;;微通道板真空烘烤氢还原工艺[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
3 罗春平;梁汉东;孙东旭;;微通道板表面涂层的TOF-SIMS分析[A];2007年全国质谱学会无机质谱、同位素质谱、质谱仪器和教育学专业委员会学术交流会论文集[C];2007年
4 陈向军;徐克尊;杨炳忻;庞文宁;;(e,2e)电子动量谱仪位置灵敏探测器[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(二)[C];1994年
5 缪坤治;宁进;;降低微通道板固定图案噪声的途径与实践[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 端木庆铎;田景全;姜德龙;李野;卢耀华;富丽晨;;用半导体工艺制作硅微通道板[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
7 张爱兵;袁庆智;王世金;;一种测量MCP输出信号幅度的方法[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议论文集(下册)[C];2006年
8 金德义;李树德;陈文奎;于红梅;;微通道板电子倍增器综合参数测试装置的研制[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(一)[C];1994年
9 杨国栋;周荣楣;;光电倍增管的现状与抉择[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
10 杨国栋;周荣楣;;光电倍增管的现状与抉择[A];江苏省真空学会第十一届学术交流会论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前8条
1 ;专利复审委员会审查决定选登[N];中国知识产权报;2002年
2 步泽君 陶传辉 丰西金;军事上的夜视技术[N];科技日报;2004年
3 王小英;科技之眼化夜为昼光明之旅强军利民[N];中国企业报;2004年
4 华光;隐身红外照明弹:夜战魔灯[N];解放军报;2001年
5 本报记者 祖铁楠;长春注重发展光电子产业[N];中国电子报;2001年
6 山西省机电工业行业管理办公室主任 文小平;加速结构调整 实现跨越发展[N];中国电子报;2002年
7 赵珍 高建军 辛义生;做大电子信息产业 山西有戏[N];山西日报;2003年
8 记者 刘肖勇;在线监控飞行时间质谱仪实现产业化[N];广东科技报;2011年
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1 戴莉;微通道内的气液两相流动与传质研究[D];天津大学;2010年
2 张颂红;微通道内固体脂质纳米粒的成形与传质机理研究[D];浙江大学;2010年
3 高延军;二维电子倍增器及其新技术研究[D];长春理工大学;2008年
4 李旭;方孔微通道板极紫外波段成像性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
5 闫金良;MCP防离子反馈膜及其对Ⅲ代微光管分辨力特性影响研究[D];北京理工大学;1998年
6 杨文正;ICF用MCP选通软X射线皮秒分幅相机动态时空特性及新型多时间分辨诊断技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2008年
7 张兴华;紫外光子计数成像系统关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2009年
8 卢其亮;高速离子诱发二次电子发射的模拟研究[D];复旦大学;2003年
9 孙光智;低速非金属负离子在Al_2O_3微孔膜中的输运[D];兰州大学;2009年
10 白晓红;用于ICF诊断的高时空分辨分幅成像关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年
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1 朱亚明;微通道板噪声因子测试技术研究[D];南京理工大学;2011年
2 秦志楠;微通道板防离子反馈膜电子散射对像管的性能影响[D];长春理工大学;2011年
3 步庆杰;MgO二次电子发射特性及薄膜制备技术[D];长春理工大学;2010年
4 卜绍芳;极紫外波段微通道板光子计数位置灵敏阳极成像探测器性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 乔伟男;微通道板打拿极二次电子发射特性研究[D];长春理工大学;2012年
6 谭昊;体积导电微通道板的结构设计与特性模拟[D];南京理工大学;2009年
7 张博;二维电子倍增技术研究[D];长春理工大学;2006年
8 邹峰;微通道板行波选通分幅相机动态特性的Monte-Carlo模拟[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2007年
9 潘建华;微通道板扩口工艺及图像检测技术研究[D];南京理工大学;2004年
10 张正君;微通道板化学处理工艺研究[D];南京理工大学;2008年
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