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纳米伺服电机应用的研究

曲世勃  
【摘要】:本论文从工程的角度上,详细地论述了对位移精度达到纳米级的纳米伺服电机及其驱动的研究、设计及实现过程。本题目主要研究了阴极材料发射均匀性测量中对操作平台的控制运动。采用了德国PI公司的纳米伺服电机为主要设备。 阴极材料发射均匀性测量系统中要求应用位移精度为纳米级的纳米伺服电机,本文主要以PI公司的MC-2100系列纳米伺服电机为主要研究对象,对其外特性以及与其配套使用的C-843卡的特性进行了较为细致的研究。在对电机性能以及硬件分析理解后,为其编写了控制程序,最终成功应用于阴极材料均匀性测量系统中。 纳米伺服电机在国内外的研究和应用都尚为起步阶段。近几年来纳米技术、微机械系统、通讯传感技术、半导体技术、光电子技术、微生物技术以及航空航天技术的迅猛发展,都要求采用高精密的位移驱动装置,以满足其发展的需要,所以,精度为纳米级的电机应运而生,并在各高科技领域内扮演重要角色。 本系统是KB0342项目实际需要出发而设计的,它具有测量精度高,操作简单的突出特点,本研究成果已完全应用于KB0342号科研项目。


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1 曲世勃;纳米伺服电机应用的研究[D];长春理工大学;2006年
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